The present invention provides a heating body structure for rectangular sapphire single crystal. It includes the combination of a pair of rectangular copper electrode connecting plate, the longitudinal diameter of different diameter tungsten rods, transverse tungsten rod fixing structure, connecting the transverse and longitudinal diameter tungsten tungsten and molybdenum tungsten rod fixed longitudinal diameter screw, one of copper electrode connecting plate with a through hole and the inner diameter of tungsten rod matching, and fillet design at the corner. According to the demand of the market for rectangular sapphire material, the growth of rectangular sapphire single crystal has the characteristics of stable thermal field, reasonable temperature gradient, and suitable for growing rectangular sapphire crystal.
【技术实现步骤摘要】
一种长方形蓝宝石单晶用加热体结构
本专利技术涉及一种蓝宝石单晶炉的加热体结构,具体涉及一种泡生法生长长方形蓝宝石单晶用加热体结构。
技术介绍
人造蓝宝石(Al2O3)又称刚玉,透明,是一种物理特性、机械特性和化学特性三者独特组合的优良材料。优质蓝宝石材料具有硬度大、耐高温、耐腐蚀、光透性好、电绝缘性能优良等特性。且被广泛应用于激光器的窗口,半导体硅的外延基片,航天工业作红外透光材料,半导体氮化镓的外延衬底材料等一系列高科技领域。随着市场上消费类电子产品(如手机屏、平板电脑等)的需求不断增加,传统泡生法生长的梨形晶体在消费类电子产品的出材率方面表现出明显劣势。长方形蓝宝石单晶既满足了消费类电子产品对晶块的需求,同时也提高了在LED衬底方面的出材率。长方形蓝宝石单晶加工便利,能减少加工过程中的人、机、物料等方面的消耗,成功降低制造成本。然而,目前生长长方形蓝宝石单晶常常因晶体四角处应力大、炉内温度梯度不合理、长晶难度高等一系列问题,导致晶体成品率明显降低,可见长方形加热体结构的合理设计显得至关重要。
技术实现思路
本专利技术根据市场对长方形蓝宝石材料的需求,为生长长方形蓝宝石单晶,研发设计一种新型的、热场稳定、温度梯度合理、适于生长长方形蓝宝石单晶的一种长方形蓝宝石单晶用加热体结构。本专利技术的目的是这样实现的:它包括组合在一起呈长方形的一对铜制电极连接板、直径不同的纵向变径钨棒、横向钨棒固定结构、连接横向与纵向变径钨棒的钨丝及固定纵向变径钨棒的钼顶丝,其中一对铜电极连接板内圈有与钨棒直径相匹配的通孔,并在拐角处进行倒圆角设计;纵向变径钨棒的两端分别插入电极连接板 ...
【技术保护点】
一种长方形蓝宝石单晶用加热体结构,其特征在于它包括组合在一起呈长方形的一对铜制电极连接板、直径不同的纵向变径钨棒、横向钨棒固定结构、连接横向与纵向变径钨棒的钨丝及固定纵向变径钨棒的钼顶丝,其中一对铜电极连接板内圈有与钨棒直径相匹配的通孔,并在拐角处进行倒圆角设计;纵向变径钨棒的两端分别插入电极连接板长边和短边的通孔内,并在底部交汇处进行倒角,四个拐角处的钨棒弯成波浪形,整体组合成长方形鸟笼状,由侧面的钼顶丝固定在电极连接板上;鸟笼状结构底部共分上下三层,中间留有可供支柱通过的方孔;侧面排布横向钨棒,用钨丝绑紧固定,保证每根纵向变径钨棒之间的间距均匀。
【技术特征摘要】
1.一种长方形蓝宝石单晶用加热体结构,其特征在于它包括组合在一起呈长方形的一对铜制电极连接板、直径不同的纵向变径钨棒、横向钨棒固定结构、连接横向与纵向变径钨棒的钨丝及固定纵向变径钨棒的钼顶丝,其中一对铜电极连接板内圈有与钨棒直径相匹配的通孔,并在拐角处进行倒圆角设计;纵向变径钨棒的两端分别插入电极连接板长边和短边的通孔内,并在底部交汇处进行倒角,四个拐角处的钨棒弯成波浪形,整体组合成长方形鸟笼状,由侧面的钼顶丝固定在电极连接板上;鸟笼状结构底部共分上下三层,中间留有可供支柱通过的方孔;侧面排布横向钨棒,用钨丝绑紧固定,保证每根纵向变径钨棒之间的间距均匀。2.根据权利要求1所述的一种长方形蓝宝石单晶用加热体结构,其特征在于所述的一对铜电极连接板内圈尺寸为300~340mm×350~380mm,厚度为30~60mm,内圈有60~94个与钨棒直径匹配的圆形通...
【专利技术属性】
技术研发人员:左洪波,杨鑫宏,李铁,周德印,
申请(专利权)人:哈尔滨奥瑞德光电技术有限公司,
类型:发明
国别省市:黑龙江,23
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。