转印装置以及基板处理装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种转印装置。转印装置具备：版保持部，其对转印版进行保持，该转印版具有由规定厚度的多孔质材料形成的多孔质板、以及形成于该多孔质板的一方的面侧的转印用的图案层；对象物保持部，其对能够供上述转印版的图案层转附的对象物以使得该对象物与转印版的一方的面密接或接近的方式进行保持；以及流体供给部，其从多孔质板的另一方的面侧向一方的面侧供给规定压力的流体。

Transfer device and substrate processing device

The invention provides a transfer device. The transfer device includes a version of the holding part, keep on transfer version, the transfer version has a porous plate, forming a porous material by the specified thickness and forming a transfer surface on the porous plate side with a pattern layer; the object of the holding part, can offer the version of the transfer pattern layer attached to the object to make the object and transfer version of one surface contact or close to the way to keep; and the fluid supply department, the pressure from the supply side of the porous plate provided on the other side of the lateral side of the fluid surface.

【技术实现步骤摘要】
转印装置以及基板处理装置本申请是申请日为2015年1月30日、申请号为201380040811.8、专利技术名称为“转印装置以及基板处理装置”的申请的分案申请。
本专利技术涉及转印装置以及基板处理装置。本申请基于2012年8月6日申请的日本特愿2012－173983号而主张优先权，并在此引用其内容。
技术介绍
作为构成显示器装置等显示装置的显示元件，公知有例如液晶显示元件、有机电致发光(有机EL)元件、在电子纸中使用的电泳元件等。作为制作上述元件的手法之一，公知有例如被称为辊对辊(rolltoroll)方式(以下，仅记为“辊式”)的手法(例如，参照专利文献1)。辊式手法是将卷绕于基板供给侧的辊的一张片状的基板送出，并且一边利用基板回收侧的辊对送出的基板进行卷取一边输送基板，在基板被送出到被卷取的期间，在基板上依次形成显示电路、驱动电路等的图案(pattern)。近年来，例如大型的显示器装置等的需求很多，从而要求在基板上的广阔范围高效地形成图案的技术。作为这样的技术之一，公知有例如将预先形成于转印版的图案层转印到基板的转印法(转附法)。专利文献1：国际公开第2006/100868号然而本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种转印方法，其特征在于，包括：在由规定厚度的多孔质材料形成的多孔质板的一方的面侧由液状或者凝胶状的功能性材料形成转印用的图案层的步骤；使能够供所述图案层转附的对象物与所述多孔质板的所述一方的面侧密接或接近的步骤；以及以使规定压力的气体从所述多孔质板的另一方的面侧向所述一方的面侧通过的方式供给所述气体，由此利用所述气体的压力使由所述功能性材料形成的所述图案层从所述多孔质板的所述一方的面侧剥离并转附于所述对象物的步骤。

【技术特征摘要】
2012.08.06 JP 2012-1739831.一种转印方法，其特征在于，包括：在由规定厚度的多孔质材料形成的多孔质板的一方的面侧由液状或者凝胶状的功能性材料形成转印用的图案层的步骤；使能够供所述图案层转附的对象物与所述多孔质板的所述一方的面侧密接或接近的步骤；以及以使规定压力的气体从所述多孔质板的另一方的面侧向所述一方的面侧通过的方式供给所述气体，由此利用所述气体的压力使由所述功能性材料形成的所述图案层从所述多孔质板的所述一方的面侧剥离并转附于所述对象物的步骤。2.根据权利要求1所述的转印方法，其特征在于，所述多孔质板的形成所述图案层的部分具有相对于所述功能性材料具有疏液性的分子构造。3.根据权利要求2所述的转印方法，其特征在...

【专利技术属性】
技术研发人员：铃木智也，
申请(专利权)人：株式会社尼康，
类型：发明
国别省市：日本,JP