液体的纯化方法、药液或清洗液的制造方法、过滤介质及过滤装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供使用了聚酰亚胺及/或聚酰胺酰亚胺多孔质膜的液体的纯化方法、使用了该纯化方法的药液或清洗液的制造方法、由该多孔质膜形成的过滤介质以及包含该多孔质膜的过滤装置，所述聚酰亚胺及/或聚酰胺酰亚胺多孔质膜对金属等杂质的除去性能优异，优选还可同时实现优异的流速，而且应力、断裂伸长率等也优异。本发明专利技术涉及一种液体的纯化方法，所述液体的纯化方法包括下述步骤：利用差压使所述液体的一部分或全部从具有连通孔的聚酰亚胺及/或聚酰胺酰亚胺多孔质膜的一侧向另一侧透过。

Method for purifying liquid, method for producing liquid medicine or cleaning liquid, filtering medium and filtering device

The present invention provides the use of polyimide and / or polyamide imide porous membrane liquid purification method, using the method of purification of liquid medicine or cleaning liquid manufacturing method, the porous membrane formed by the filter medium and contains the porous membrane filtration device, the polyimide and / or polyamide imide porous membrane on metal impurity removal performance, preferably also can achieve excellent flow, but also should be excellent stress and elongation at break. The invention relates to a purification method of liquid, the liquid purification method comprises the following steps: using the differential pressure so that a portion of the liquid or all from one side of a communicating hole with polyimide and / or polyamide imide porous membrane to the other side through.

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】液体的纯化方法、药液或清洗液的制造方法、过滤介质及过滤装置
本专利技术涉及使用了聚酰亚胺及/或聚酰胺酰亚胺多孔质膜的液体的纯化方法、使用了该纯化方法的药液或清洗液的制造方法、由该聚酰亚胺及/或聚酰胺酰亚胺多孔质膜形成的过滤介质以及包含该聚酰亚胺及/或聚酰胺酰亚胺多孔质膜的过滤装置。
技术介绍
对于半导体装置而言，随着对高性能·高功能化、低电力消耗化的要求增高，电路图案的微细化正在发展，随之而来的是，将会引起制造成品率下降的污染金属除去的需求变得非常高。因此，在用于向基板赋予疏水性的保护膜形成用药液、硅晶片的清洗液等药液中不含铁、锌等污染金属是令人期望的。对于在半导体装置的制造工序中使用的上述那样的药液而言，为了预先将铁、锌等污染金属除去，可利用过滤装置等进行净化。过滤装置通常具有使用了多孔质膜的过滤介质。为了除去金属离子等杂质，纳米粒子等微小物质也可被除去的多孔质膜是令人期望的。作为可从在半导体装置等用途中使用的药液、树脂材料中除去杂质的过滤膜，通常为尼龙、聚乙烯、聚丙烯、PTFE等，例如，已知通过使用尼龙等过滤膜也可将有机系的杂质除去(例如，专利文献1)。现有技术文献专利文献专利文献1：日本专利第4637476号公报
技术实现思路
专利技术所要解决的课题然而，由尼龙形成的膜的耐酸性弱，因此，存在难以用酸清洗、难以将混入或附着于过滤器本身的杂质除去这样的问题。另外，由聚乙烯形成的膜存在对必须从用于半导体装置制造工序的药液中除去的铁、锌等杂质的除去率低的问题。对于可用于过滤介质的多孔质膜而言，在工业上要求能以一定程度的流速进行处理，但若加快流速，则存在对金属等杂质的除去性能变差的倾向，同时实现优异的流速和杂质除去性能是不容易的。对于由聚乙烯形成的膜等而言，若加快流速，则还存在膜发生破裂这样的问题。另外，过滤介质由于在工业上被多次反复使用，因此具有耐久性(应力、断裂伸长率高等)的多孔质膜是优选的。本专利技术是鉴于上述情况而作出的，目的在于提供使用了聚酰亚胺及/或聚酰胺酰亚胺多孔质膜的液体的纯化方法、使用了该纯化方法的药液或清洗液的制造方法、由该多孔质膜形成的过滤介质以及包含该多孔质膜的过滤装置，所述聚酰亚胺及/或聚酰胺酰亚胺多孔质膜对金属等杂质的除去性能优异，优选还可同时实现优异的流速，而且应力、断裂伸长率等也优异。用于解决课题的手段本申请的专利技术人发现，具有连通孔的聚酰亚胺及/或聚酰胺酰亚胺多孔质膜不会损害由聚酰亚胺及/或聚酰胺酰亚胺带来的应力、断裂伸长率等，而且至少通过其多孔质结构而使得对金属等杂质的除去性能优异，即使加快流速也能维持杂质除去性能，从而完成了本专利技术。本专利技术的第一方式是一种液体的纯化方法，所述液体的纯化方法包括下述步骤：利用差压使上述液体的一部分或全部从具有连通孔的聚酰亚胺及/或聚酰胺酰亚胺多孔质膜的一侧向另一侧透过。本专利技术的第二方式是一种药液或清洗液的制造方法，所述方法使用了本专利技术的第一方式的液体的纯化方法。本专利技术的第三方式是一种过滤介质，其是由在本专利技术的第一方式的液体的纯化方法中使用的上述聚酰亚胺及/或聚酰胺酰亚胺多孔质膜形成的。本专利技术的第四方式是一种过滤装置，其包含在本专利技术的第一方式的液体的纯化方法中使用的上述聚酰亚胺及/或聚酰胺酰亚胺多孔质膜。专利技术的效果通过本专利技术，可提供使用了聚酰亚胺及/或聚酰胺酰亚胺多孔质膜的液体的纯化方法、使用了该纯化方法的药液或清洗液的制造方法、由该多孔质膜形成的过滤介质以及包含该多孔质膜的过滤装置，所述聚酰亚胺及/或聚酰胺酰亚胺多孔质膜的金属除去性能优异，优选还可同时实现优异的流速，而且应力、断裂伸长率等也优异。具体实施方式以下，对本专利技术的实施方式进行详细说明，但本专利技术不受以下的实施方式的任何限制，可在本专利技术的目的的范围内进行适当变更而实施。本说明书中，例如像“聚酰亚胺及/或聚酰胺酰亚胺”等这样为“P及/或Q”的记载、以及例如像“羧基、盐型羧基及/或-NH-键”等这样为“P、Q及/或R”的记载分别是指，“选自由P及Q组成的组中的至少一者”、“选自由P、Q及R组成的组中的至少一者”，使用了“及/或”的其他记载也以此为准。此处，P、Q及R为任意的术语。[液体的纯化方法]作为本专利技术的第一方式的液体的纯化方法包括下述步骤：利用差压使该液体的一部分或全部从具有连通孔的聚酰亚胺及/或聚酰胺酰亚胺多孔质膜的一侧向另一侧透过。<聚酰亚胺及/或聚酰胺酰亚胺多孔质膜>本专利技术的液体的纯化方法中使用的聚酰亚胺及/或聚酰胺酰亚胺多孔质膜具有连通孔。连通孔是由向聚酰亚胺及/或聚酰胺酰亚胺多孔质膜赋予多孔性的各个孔(以下，有时单纯简称为“孔”。)形成的，所述孔优选为后述的在内表面具有曲面的孔，更优选为后述的近球状孔。聚酰亚胺及/或聚酰胺酰亚胺多孔质膜中，所述各个孔彼此相邻地形成的部分成为连通孔，所述孔具有相互连通的结构，通常优选的是，多个所述孔连接而成为整体从而形成了被纯化的液体的流路。“流路”通常是通过各个“孔”及/或“连通孔”相接连而形成的。各个孔可以说是通过在后述的聚酰亚胺系树脂多孔质膜的制造方法中将存在于聚酰亚胺系树脂-微粒复合膜中的各个微粒经由后续工序除去而形成的孔。另外，连通孔也可以说是通过在后述的聚酰亚胺系树脂多孔质膜的制造方法中、在存在于聚酰亚胺系树脂-微粒复合膜中的各个微粒彼此接触的部分将该微粒经由后续工序除去而形成的相邻的各个孔。本专利技术中的聚酰亚胺及/或聚酰胺酰亚胺多孔质膜优选具有下述这样的连通孔：在该多孔质膜的外部表面具有开口的连通孔与该多孔质膜的内部连通，且在多孔质膜的相反侧(背面侧)的外部表面也具有开口，由此确保了从该多孔质膜通过的流体的流路。例如可通过Gurley透气度来表示本专利技术中的聚酰亚胺及/或聚酰胺酰亚胺多孔质膜具有所述的连通孔，作为Gurley透气度，例如可以是30～1000秒。本专利技术中的聚酰亚胺及/或聚酰胺酰亚胺多孔质膜的Gurley透气度例如可以为1000秒以内，优选为600秒以内，进一步优选为500秒以内，最优选为300秒以内。由于越低越好，因而不特别地设定下限，但从在将从聚酰亚胺及/或聚酰胺酰亚胺多孔质膜通过的流体的流速维持为一定程度的高值的同时高效地进行金属除去等处理的方面考虑，例如优选为30秒以上。若Gurley透气度为1000秒以内，则多孔性的程度足够高，因此，可提高本专利技术中液体的纯化的效果。本专利技术中的聚酰亚胺及/或聚酰胺酰亚胺多孔质膜优选包含孔径为1～200nm的连通孔。所述连通孔的孔径优选为3～180nm，更优选为5～150nm，进一步优选为10～130nm。所述连通孔的孔径为连通孔的直径。单个连通孔可利用后述的制造方法、通常由2个相邻的粒子形成，因此，该直径例如有时是指：将构成连通孔的各个孔的两部分连续的方向作为长度方向时，与该长度方向垂直的方向上的直径。对于所述连通孔的孔径而言，在向聚酰亚胺及/或聚酰胺酰亚胺多孔质膜赋予多孔性的各个孔的孔径的分布宽时，存在所述各个孔彼此相邻地形成的连通孔本身的直径变小的倾向，另外，从缩小连通孔的孔径的观点考虑，多孔质膜的孔隙率例如为60～90％，优选为60～80％，更优选为70％左右的范围。另外，在不进行后述的酰亚胺键开环工序的情况下，也存在连通孔的孔径变小的倾向。由于本专利技术中的聚酰亚本文档来自技高网...

【技术保护点】
液体的纯化方法，所述液体的纯化方法包括下述步骤：利用差压使所述液体的一部分或全部从具有连通孔的聚酰亚胺及/或聚酰胺酰亚胺多孔质膜的一侧向另一侧透过。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2015.02.23 JP 2015-033425;2016.02.03 JP 2016-019171.液体的纯化方法，所述液体的纯化方法包括下述步骤：利用差压使所述液体的一部分或全部从具有连通孔的聚酰亚胺及/或聚酰胺酰亚胺多孔质膜的一侧向另一侧透过。2.如权利要求1所述的液体的纯化方法，其中，利用所述多孔质膜，将所述液体中含有的包含在常温下为固体的元素的杂质的一部分或全部从所述液体中除去。3.如权利要求1或2所述的液体的纯化方法，其中，所述差压是利用选自由液流压、真空、及基于非活性气体或非反应性气体的正压组成的组中的至少1种而施加的。4.如权利要求1～3中任一项所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：高嶋勇人，中岛孝雄，菅原司，越山淳，
申请(专利权)人：东京应化工业株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP