用于设备故障复原的方法及装置、系统制造方法及图纸

本公开提供一种用于设备故障复原的方法及装置、系统。该用于设备故障复原的方法包括：建立机器设备的虚拟模型；获取所述机器设备的历史运行数据中的故障参数；根据所述故障参数驱动所述虚拟模型运动。本公开可以通过机器设备运行历史数据还原出该机器设备发生故障时，机器设备的虚拟模型的运行动画，从而能够提高故障分析的直观性和效率。

Method, device and system for equipment fault recovery

The present invention provides a method, device and system for equipment failure recovery. The apparatus for fault restoration method includes: virtual model machine; fault parameter history data obtained by the machine in; according to the fault parameters driving the virtual motion model. This disclosure can be used to run the animation of the virtual model of the machine and equipment, which can improve the visibility and efficiency of the fault analysis.

【技术实现步骤摘要】
用于设备故障复原的方法及装置、系统
本公开涉及计算机
，具体而言，涉及一种用于设备故障复原的方法及装置、系统。
技术介绍
现有技术中大多数的故障分析都是通过分析故障数据以达到故障定位的目的。对于一些运行比较复杂的设备，其运行数据会随之增加，通过数据分析故障不是很现实。例如产线的曝光机、sputter(溅射)、PECVD(PlasmaEnhancedChemicalVaporDeposition，等离子体增强化学气相沉积法)等运动零件比较多的设备，相应的设备每个周期运行数据也是比较多的，并且数据分析没有故障直观性可言。因此，现有技术中的技术方案还存在有待改进之处。需要说明的是，在上述
技术介绍
部分公开的信息仅用于加强对本公开的背景的理解，因此可以包括不构成对本领域普通技术人员已知的现有技术的信息。
技术实现思路
本公开的目的在于提供一种用于设备故障复原的方法及装置、系统，进而至少在一定程度上克服由于相关技术的限制和缺陷而导致的一个或者多个问题。本公开的其他特性和优点将通过下面的详细描述变得清晰，或者部分地通过本公开的实践而习得。根据本公开的一个方面，提供一种用于设备故障复原的方法，包括本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于设备故障复原的方法，其特征在于，包括：建立机器设备的虚拟模型；获取所述机器设备的历史运行数据中的故障参数；根据所述故障参数驱动所述虚拟模型运动。

【技术特征摘要】
1.一种用于设备故障复原的方法，其特征在于，包括：建立机器设备的虚拟模型；获取所述机器设备的历史运行数据中的故障参数；根据所述故障参数驱动所述虚拟模型运动。2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：以三维可视化的方式在虚拟现实或者增强现实系统中显示所述机器设备故障时的运行状态。3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，建立机器设备的虚拟模型包括：设置所述机器设备的虚拟模型的父关节和子关节；设置各关节在运动周期内的关节模型参数。4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，根据所述故障参数驱动所述虚拟模型运动包括：通过脚本驱动的方式，根据所述故障参数驱动所述虚拟模型的关节运动。5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述故障参数包括关节运行参数，其中所述通过脚本驱动的方式，根据所述故障参数驱动所述虚拟模型的关节运动包括：所述脚本为每一个运动周期内遍历标记...

【专利技术属性】
技术研发人员：薛鸿臻，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：北京,11