吸附遮挡装置及具有该装置的蒸镀设备制造方法及图纸

本发明专利技术公开一种吸附遮挡装置及具有该装置的蒸镀设备，吸附遮挡装置包括盒体、多片翻转片以及连动机构。盒体一面具有开口。多片翻转片相互平行地排列于开口，每片翻转片的正面设有吸附膜。联动机构设于盒体且连接于各翻转片，用以驱动各翻转片同步翻转，使吸附遮挡装置在一吸附状态和一遮挡状态之间转换。吸附状态下，各翻转片的正面朝外，并封闭开口，遮挡状态下，各翻转片的反面朝外，并封闭开口。本发明专利技术吸附状态下，各翻转片的正面朝外且封闭盒体的开口，以利用翻转片正面的吸附膜吸附有机材料粉末。遮挡状态下，各翻转片的反面朝外且封闭盒体的开口，以将吸附状态下吸附到的有机材料粉末遮挡在盒体中，避免有机材料粉末的飞升。

Adsorption shielding device and evaporation equipment having the same

The invention discloses an adsorption shielding device and a vapor deposition device with the device, wherein the adsorption shielding device comprises a box body, a plurality of flip sheets and a linkage mechanism. The box body has an opening at one side. The plurality of flip sheets are arranged parallel to each other in the opening, and the front face of each slice is provided with an adsorption film. The linkage mechanism is arranged in the box body and is connected with each turning plate, and is used for driving the turning sheets to synchronously turn over, so that the adsorption shielding device is switched between an adsorption state and a shielding state. Under the adsorption state, the front faces of each turning plate face outwards, and the opening is closed; under the shielding condition, the reverse side of each turning sheet faces outwards and closes the opening. Under the adsorption state of the invention, the front face of each turning sheet faces outwards and closes the opening of the box body to adsorb the organic material powder by the adsorption film on the front surface of the turning sheet. Under the shielding condition, the reverse side of each turning plate is outward facing and closes the opening of the box body to shield the organic material powder adsorbed in the adsorption state into the box body, so as to avoid the soaring of the organic material powder.

【技术实现步骤摘要】
吸附遮挡装置及具有该装置的蒸镀设备
本专利技术涉及蒸镀设备
，具体而言，涉及一种吸附遮挡装置及具有该装置的蒸镀设备。
技术介绍
在有机材料的蒸镀过程中，有机材料会沉积在蒸镀腔的腔壁上。在抽气充气的过程，这些沉积在腔壁上的有机材料粉末将再次悬浮，形成杂质颗粒，影响器件的性能。传统方式是添加带有涂层的遮挡板，定期进行更换，但是仍然不能有效的防止沉积材料粉末的飞升。
技术实现思路
本专利技术的一个主要目的在于克服上述现有技术的至少一种缺陷，提供一种能够有效吸附有机材料粉末并防止其飞升的吸附遮挡装置。本专利技术的另一个主要目的在于克服上述现有技术的至少一种缺陷，提供一种具有上述吸附遮挡装置的蒸镀设备。为实现上述目的，本专利技术采用如下技术方案：根据本专利技术的一个方面，提供一种吸附遮挡装置，包括盒体、多片翻转片以及连动机构。所述盒体一面具有开口。多片所述翻转片相互平行地排列于所述开口，每片所述翻转片的正面设有吸附膜。所述联动机构设于所述盒体且连接于各所述翻转片，用以驱动各所述翻转片同步翻转，使所述吸附遮挡装置在一吸附状态和一遮挡状态之间转换。吸附状态下，各所述翻转片的正面朝外，并封闭所述开口，遮挡状态下，各所述翻转片的反面朝外，并封闭所述开口。根据本专利技术的其中一个实施方式，所述联动机构包括两条齿条、多个齿轮以及驱动组件。两条所述齿条平行间隔地设于所述开口。多个齿轮分别成对地设于多片所述翻转片的两侧，每对所述齿轮分别与两条所述齿条啮合。所述驱动组件连接于所述齿条，用以驱动所述齿条移动，而使所述齿条带动各所述翻转片同步翻转。根据本专利技术的其中一个实施方式，所述驱动组件包括记忆合金弹片以及加热装置。所述记忆合金弹片连接于所述盒体与所述齿条的一端部之间。所述加热装置用以加热所述记忆合金弹片。其中，所述加热装置能够加热所述记忆合金弹片使其伸长，所述加热装置不工作时，所述记忆合金弹片回复为原始长度，所述记忆合金弹片通过伸缩带动所述齿条移动。根据本专利技术的其中一个实施方式，所述记忆合金弹片的最大伸长长度等于所述齿轮的周长的一半。根据本专利技术的其中一个实施方式，所述驱动组件包括分别连接于两条所述齿条的至少两个记忆合金弹片，所述加热装置同时加热两个所述记忆合金弹片，以使两个所述记忆合金弹片的温度同步转变，而使两条所述齿条同步移动。根据本专利技术的其中一个实施方式，所述记忆合金弹片呈片状结构或螺旋状结构；和/或，所述记忆合金弹片的材质为铜锌铝合金。根据本专利技术的其中一个实施方式，所述吸附膜朝向于所述翻转片的一面为壁虎绒毛仿生膜；和/或，所述吸附膜反向于所述翻转片的一面为PI绒毛薄膜。根据本专利技术的其中一个实施方式，所述吸附遮挡装置在吸附状态下和遮挡状态下，每两个相邻的所述翻转片部分重叠。根据本专利技术的另一个方面，提供一种蒸镀设备，包括蒸镀腔，所述蒸镀腔内设有以上实施方式所述的吸附遮挡装置。其中，所述蒸镀设备进行蒸镀作业时，所述吸附遮挡装置转换为吸附状态，所述蒸镀设备完成蒸镀作业时，所述吸附遮挡装置转换为封闭状态。根据本专利技术的其中一个实施方式，所述吸附遮挡装置的所述盒体由所述蒸镀腔的腔壁凹陷形成。由上述技术方案可知，本专利技术提出的吸附遮挡装置及具有该装置的蒸镀设备的优点和积极效果在于：本专利技术提出的吸附遮挡装置，通过连动机构带动多片翻转片同步翻转的设计，使吸附遮挡装置能够在吸附状态和遮挡状态之间转换。吸附状态下，各翻转片的正面朝外且封闭盒体的开口，以利用翻转片正面的吸附膜吸附有机材料粉末。遮挡状态下，各翻转片的反面朝外且封闭盒体的开口，以将吸附状态下吸附到的有机材料粉末遮挡在盒体中，避免有机材料粉末的飞升。本专利技术提出的蒸镀设备，通过将本专利技术提出的吸附遮挡装置设置在蒸镀设备的蒸镀腔内，能够在蒸镀作业时，利用吸附遮挡装置吸附作业过程中的有机材料粉末，同时在完成蒸镀作业时，利用吸附遮挡装置将吸附到的有机材料粉末遮挡在盒体内，避免有机材料粉末在蒸镀设备的其他制程中飞升而造成二次污染。进一步地，在本专利技术的其中一个实施方式中，当采用相互配合的齿条和齿轮组成联动机构时，能够实现多片翻转片的同步翻转，且结构简单，便于布置和维护。进一步地，在本专利技术的其中一个实施方式中，当采用记忆合金弹片和加热装置组成驱动组件时，能够利用记忆合金弹片受热形变的特性和加热装置的加热，实现驱动齿条移动的功能。附图说明通过结合附图考虑以下对本专利技术的优选实施方式的详细说明，本专利技术的各种目标、特征和优点将变得更加显而易见。附图仅为本专利技术的示范性图解，并非一定是按比例绘制。在附图中，同样的附图标记始终表示相同或类似的部件。其中：图1是根据一示例性实施方式示出的一种吸附遮挡装置的主视图；图2是图1示出的吸附遮挡装置的侧视图；图3是图1示出的吸附遮挡装置的一片翻转片的立体结构图。其中，附图标记说明如下：100.盒体；200.翻转片；210.PI绒毛薄膜；220.壁虎绒毛仿生膜；310.齿条；320.齿轮；331.记忆合金弹片。具体实施方式体现本专利技术特征与优点的典型实施例将在以下的说明中详细叙述。应理解的是本专利技术能够在不同的实施例上具有各种的变化，其皆不脱离本专利技术的范围，且其中的说明及附图在本质上是作说明之用，而非用以限制本专利技术。在对本专利技术的不同示例性实施方式的下面描述中，参照附图进行，所述附图形成本专利技术的一部分，并且其中以示例方式显示了可实现本专利技术的多个方面的不同示例性结构、系统和步骤。应理解，可以使用部件、结构、示例性装置、系统和步骤的其他特定方案，并且可在不偏离本专利技术范围的情况下进行结构和功能性修改。而且，虽然本说明书中可使用术语“上端部”、“下端部”、“之间”、“侧”等来描述本专利技术的不同示例性特征和元件，但是这些术语用于本文中仅出于方便，例如根据附图中所述的示例的方向。本说明书中的任何内容都不应理解为需要结构的特定三维方向才落入本专利技术的范围内。吸附遮挡装置实施方式参阅图1，图1中代表性地示出了能够体现本专利技术的原理的吸附遮挡装置的主视图。在该示例性实施方式中，本专利技术提出的吸附遮挡装置是以应用于蒸镀设备为例，进一步地，是以用于在蒸镀设备中吸附并遮挡有机材料粉末为例进行说明的。本领域技术人员容易理解的是，为将该吸附遮挡装置应用于其他设备，或将该吸附遮挡装置用于吸附并遮挡其他物质，而对下述的具体实施方式做出多种改型、添加、替代、删除或其他变化，这些变化仍在本专利技术提出的吸附遮挡装置的原理的范围内。如图1所示，在本实施方式中，本专利技术提出的吸附遮挡装置主要包括盒体100、多片翻转片200以及连动机构。配合参阅图2和图3，图2中代表性地示出了吸附遮挡装置的侧视图，图3中代表性地示出了吸附遮挡装置的一片翻转片200(包括翻转片200两侧的齿轮320)的立体结构图。以下结合上述附图，对本专利技术提出的吸附遮挡装置的个主要组成部分的结构、连接方式和功能关系进行详细说明。如图1所示，在本实施方式种，盒体100一面具有开口。其中，在本实施方式中，开口完全涵盖盒体100该面的全部位置，即盒体100的该面为开放结构。据此，以图1示出的盒体100该面大致呈长方形为例，开口的形状即大致呈长方形。在其他实施方式中，盒体100该面亦可设计为其他形状，即开口的形状亦可为相对应的其他形状。再者，开口的形状并不限于与盒体100该面的形状完全相同，本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种吸附遮挡装置，包括：盒体，一面具有开口；多片翻转片，相互平行地排列于所述开口，每片所述翻转片的正面设有吸附膜；以及联动机构，设于所述盒体且连接于各所述翻转片，用以驱动各所述翻转片同步翻转，使所述吸附遮挡装置在一吸附状态和一遮挡状态之间转换；吸附状态下，各所述翻转片的正面朝外，并封闭所述开口，遮挡状态下，各所述翻转片的反面朝外，并封闭所述开口。

【技术特征摘要】
1.一种吸附遮挡装置，包括：盒体，一面具有开口；多片翻转片，相互平行地排列于所述开口，每片所述翻转片的正面设有吸附膜；以及联动机构，设于所述盒体且连接于各所述翻转片，用以驱动各所述翻转片同步翻转，使所述吸附遮挡装置在一吸附状态和一遮挡状态之间转换；吸附状态下，各所述翻转片的正面朝外，并封闭所述开口，遮挡状态下，各所述翻转片的反面朝外，并封闭所述开口。2.根据权利要求1所述的吸附遮挡装置，其特征在于，每片翻转片的两侧分别设有齿轮，所述联动机构包括：两条齿条，平行间隔地设于所述开口；多个齿轮，分别成对地设于多片所述翻转片的两侧，每对所述齿轮分别与两条所述齿条啮合；以及驱动组件，连接于所述齿条，用以驱动所述齿条移动，而使所述齿条带动各所述翻转片同步翻转。3.根据权利要求2所述的吸附遮挡装置，其特征在于，所述驱动组件包括：记忆合金弹片，连接于所述盒体与所述齿条的一端部之间；以及加热装置，用以加热所述记忆合金弹片；其中，所述加热装置能够加热所述记忆合金弹片使其伸长，所述加热装置不工作时，所述记忆合金弹片回复为原始长度，所述记忆合金弹片通过伸缩带动所述齿条移动。4.根据权利要求3所述的吸附遮挡装置，其特征...

【专利技术属性】
技术研发人员：罗程远，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：北京,11