药液除气装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开如下的药液除气装置：能够将高粘度药液内包含的气泡有效地分离而去除，从而预防工艺不良，并且在移送高粘度药液时，能够减少压差的产生，据此可以使药液被顺利地移送而被供应。为了实现上述目的，本实用新型专利技术包括：除气膜，具有能够使被包含于药液的气体通过的大小的孔隙，并且在内部被施加真空；腔室，收纳所述除气膜而使除气对象药液被供应到所述除气膜的外部，并且构成为将被包含于所述腔室内的药液中的气体从所述除气膜的外表面吸入到所述除气膜的内部而进行除气处理。

Liquid medicine degassing device

The utility model discloses the liquid degassing device can be effectively separated containing high viscosity liquid bubbles within the removal process, thereby preventing the bad, and in the transfer of high viscosity liquid, can reduce the pressure difference, which can make the liquid is smoothly transferred by supply. In order to achieve the above purpose, the utility model comprises a degassing membrane, can be included in the gas liquid through the pore size, and is applied in the internal vacuum chamber; holding the gas membrane and the external gas liquid is supplied to the object in the film, and a gas liquid will be included in the cavity of the gas from the outer surface to the inner membrane of the suction degassing membrane and degassing treatment.

【技术实现步骤摘要】
药液除气装置
本技术涉及一种药液除气装置，尤其涉及一种能够通过将高粘度药液内包含的气体有效地分离并去除而预防基板处理工艺不良的药液除气装置。
技术介绍
在平板基板上以预定的厚度均匀地涂覆药液的基板涂覆供工艺可被应用于多种领域，为了制造LCD等平板显示屏而在玻璃基板的表面喷射感光性树脂等(以下称为“药液”)而进行涂覆的基板涂覆工艺也是其中之一。在如上所述的基板涂覆工艺中，通常利用氮气而将药液压送到排出喷嘴，在压送药液的过程中，如果药液在包含气体的状态下向基板的表面喷射，则会导致工艺不良，因此需要在药液被供应到排出喷嘴的前一步骤中将药液中包含的气体除气而抑制气泡的产生。作为关于实现上述目的的药液除气装置的现有技术的一例，图1示出了韩国授权专利第10-0454539号中公开的利用中空纤维膜模块(module)1而进行除气处理的药液除气处理装置。所述中空纤维膜模块1被安装于配备药液入口14、药液出口15及排气口16的容器体17内而被使用。从氮气供应排管20供应氮气到存储于药液槽18的药液19，并将氮气的压力用作驱动力而将药液通过药液供应排管21供应到中空纤维膜模块1。药液19从容器体17的药本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种药液除气装置，其特征在于，包括：除气膜，具有能够使被包含于药液的气体通过的大小的孔隙，并且在内部被施加真空；腔室，收纳有所述除气膜，且使除气对象药液被供应到所述除气膜的外部，所述药液除气装置将被包含于所述腔室内的药液中的气体从所述除气膜的外表面吸入到所述除气膜的内部而进行除气处理。

【技术特征摘要】
2016.11.29 KR 10-2016-01597811.一种药液除气装置，其特征在于，包括：除气膜，具有能够使被包含于药液的气体通过的大小的孔隙，并且在内部被施加真空；腔室，收纳有所述除气膜，且使除气对象药液被供应到所述除气膜的外部，所述药液除气装置将被包含于所述腔室内的药液中的气体从所述除气膜的外表面吸入到所述除气膜的内部而进行除气处理。2.如权利要求1所述的药液除气装置，其特征在于，在所述腔室的中央配备有药液供应管，在所述药液供应管的周围配备有以同心结构布置的多个除气膜。3.如权利要求2所述的药液除气装置，其特征在于，所述多个除气膜由缠绕成螺旋形的多个中空纤维膜束形成。4.如权利要求2所述的药液除气装置，其特征在于，所述多个除气膜沿着半径方向相隔地布置，在所述多个除气膜之间配备有隔板，所述隔板用于在所述腔室内以之字形方向转换药液的流路。5.如权利要求4所述的药液除气装置，其特征在于，所述药液供应管贯通所述腔室的上部而延伸到所述腔室的下部，从而使药液从所述腔室的下部排出，从所述药液供应管排出的药液经由位于所述隔板的内侧的第一除气膜而向上流动的同时被一次除气；通过所述第...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵康一，
申请(专利权)人：KC科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：韩国,KR