筒长无限的显微物镜光学系统技术方案

一种筒长无限的显微物镜光学系统，是一种折反射式光学系统，沿其光轴方向依次包括第一透镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜、第五透镜、第六透镜和第七透镜，第一透镜、第二透镜和第三透镜具有负光焦度，并弯向物面；第四透镜和第五透镜是双凹负透镜；第六透镜是双凸正透镜；第七透镜具有正光焦度，并弯向物面；孔径光阑位于第三透镜的前表面位置，物面位于所述筒长无限的显微物镜的后焦面位置。本发明专利技术采用折反射式结构，实现最大数值孔径为0.93，最短焦距为2.15mm，而且成像质量接近完善成像；透镜数量少，结构紧凑，体积小，重量轻；完全满足用于深紫外检测显微镜的技术要求。

An optical system with infinitely long cylindrical microscope objectives

A long tube infinite micro lens optical system is a catadioptric optical system along the optical axis direction comprises a first lens, a second lens, the third lens, the fourth lens, the fifth lens, the sixth lens and the seventh lens, the first lens, the second lens and the third lens has a negative refractive power, and bend the surface; the fourth lens and the fifth lens is a negative biconcave lens; the sixth lens is a positive biconvex lens; seventh lens having a positive refractive power, and bent to the surface; the front surface of the aperture in the position of the third lens, the back focal plane position micro lens surface is positioned in the cylinder of infinite length. The invention adopts the reflective structure, to achieve the maximum numerical aperture of 0.93, the short focal length is 2.15mm, and the imaging quality is close to perfect imaging lens; small number, compact structure, small volume, light weight; fully meet the requirements for microscope technology of deep UV detection.

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及显微物镜光学系统，特别涉及一种用于深紫外检测显微镜的筒长无限的显微物镜光学系统。
技术介绍
深紫外检测显微镜在物理、化学、材料科学、生命科学等各领域具有重大的应用价值，尤其在半导体工业和光电子工业领域，深紫外检测显微镜是一种十分重要的检测装备，它可以用于硅片（或掩模版）上的光刻图形在曝光、显影、刻蚀等之后的检测，可以用于快速观测硅片（或掩模版）上光刻图形的整体效果，可以用于测量光刻图形线宽（CD）以及缺陷检测等。例如，根据国际半导体技术路线图（ITRS），90nm结点技术的掩模版的关键指标是：邻近效应校正（OPC）掩模版上铬线的特征宽度为106nm，缺陷的特征尺寸为72nm。90nm结点技术的硅片上曝光图形的关键指标是：密集线的线宽为90nm，密集接触孔的宽度为115nm。为了掌握硅片（或掩模版）上的光刻图形的曝光效果，需要一种具有高分辨率的深紫外检测光学显微镜。奥林巴斯公司的深紫外检测系统（U-UVF248）就是此类显微镜，其最高分辨率为80nm，采用24本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种筒长无限的显微物镜光学系统，沿其光轴方向依次包括第一透镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜、第五透镜、第六透镜和第七透镜，其特征在于，所述的第一透镜、第二透镜和第三透镜具有负光焦度，并弯向物面；第四透镜和第五透镜是双凹负透镜；第六透镜是双凸正透镜；第七透镜具有正光焦度，并弯向物面；孔径光阑位于第三透镜的前表面位置，物面位于所述筒长无限的显微物镜的后焦面位置。

【技术特征摘要】
1.一种筒长无限的显微物镜光学系统，沿其光轴方向依次包括第一透镜、第二
透镜、第三透镜、第四透镜、第五透镜、第六透镜和第七透镜，其特征在于，所述
的第一透镜、第二透镜和第三透镜具有负光焦度，并弯向物面；第四透镜和第五透
镜是双凹负透镜；第六透镜是双凸正透镜；第七透镜具有正光焦度，并弯向物面；
孔径光阑位于第三透镜的前表面位置，物面位于所述筒长无限的显微物镜的后焦面
位置。
2.如权利要求1所述的筒长无限的显微物镜光学系统，其特征在于，所述的第
一至第七透镜构成一种折反射式光学系统。
3.如权利要求2所述的筒长无限的显微物镜光学系统，其特征在于，按照反向
光...

【专利技术属性】
技术研发人员：蔡燕民，王向朝，黄惠杰，
申请(专利权)人：中国科学院上海光学精密机械研究所，
类型：发明
国别省市：上海;31