The utility model relates to a combined high precision mass flow control system is connected with the air supply inlet pipe, measuring instrument and precision pressure regulator valve, a pressure sensor, a temperature sensor is arranged at the inlet of the inlet pipe, through three way parallel connection of wide range flow high precision mass flow controller, small range high-precision flow mass flow controller large range, high precision flow valve; mass flow controller, small range high-precision flow mass flow controller and a valve are respectively provided with independent entrance valve, using high precision mass flow controller of two groups of different range and a group of high sensitivity needle combination, large measuring range, high accuracy, can regulate the flow of small flow.
【技术实现步骤摘要】
组合式高精度质量流量控制系统
本技术涉及一种用于气体流量计量装置的组合式高精度质量流量控制系统。
技术介绍
现有技术中的对气体流量的控制一般通过单一性能的测量装置实现,只能针对特定技术参数进行监控,气体流量控制具有较大的局限性,量程范围小,不能兼顾不同的量程,精度不高,特别是微小流量的情况下难以精确控制,流量调节困难;而直接使用气体减压阀调节流量,也存在流量调节不准确、耗时较长、可测量程范围窄等问题,并且影响微小气体流量计量的准确性。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题是,提供一种能够精确测量气体流量,量程范围大,测量精度高的组合式高精度质量流量控制系统。本技术的组合式高精度质量流量控制系统,与气源连接有进气管路,进气管路经过一组计量仪器后,连接到后续检测装置上;所述一组计量仪器为三路并联的流量计量装置;所述三路并联的流量计量装置为并联连接的大量程流量高精度质量流量控制器、小量程流量高精度质量流量控制器、针阀;所述大量程流量高精度质量流量控制器、小量程流量高精度质量流量控制器、针阀入口处分别设置有独立球阀,气源入口的进气管部分设置有精密调压阀、压力传感器、温度传感器;所述气源前端入口处还设置有精密过滤器;所述大量程流量高精度质量流量控制器测量范围为0~500sccm,小量程流量高精度质量流量控制器测量范围为0~50sccm,大量程流量高精度质量流量控制器、小量程流量高精度质量流量控制器的准确度都为±1%FS。本技术的组合式高精度质量流量控制系统,采用两组量程范围不同的高精度质量流量控制器和一组高灵敏度针阀并联组合,扩展了微小流量计量装置的可测流量范围;使用 ...
【技术保护点】
一种组合式高精度质量流量控制系统,与气源连接有进气管路,进气管路经过一组计量仪器后,连接到后续检测装置上;所述一组计量仪器为三路并联的流量计量装置;所述三路并联的流量计量装置为并联连接的大量程流量高精度质量流量控制器、小量程流量高精度质量流量控制器、针阀;所述大量程流量高精度质量流量控制器、小量程流量高精度质量流量控制器、针阀入口处分别设置有独立球阀,气源入口的进气管部分设置有精密调压阀、压力传感器、温度传感器。
【技术特征摘要】
1.一种组合式高精度质量流量控制系统,与气源连接有进气管路,进气管路经过一组计量仪器后,连接到后续检测装置上;所述一组计量仪器为三路并联的流量计量装置;所述三路并联的流量计量装置为并联连接的大量程流量高精度质量流量控制器、小量程流量高精度质量流量控制器、针阀;所述大量程流量高精度质量流量控制器、小量程流量高精度质量流量控制器、针阀入口处分别设置有独立球阀,气源入口的进气管部分设置有精密调压阀、压...
【专利技术属性】
技术研发人员:肖晖,周轶,赵作广,董芳,孙彩虹,
申请(专利权)人:镇江市计量检定测试中心,
类型:新型
国别省市:江苏,32
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