一种太阳能电池制程金属离子污染检测方法及装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种太阳能电池制程金属离子污染检测方法，该方法为：将待检测电池片放置于反应容器内，并向所述反应容器内通入HF酸蒸气，使所述待检测电池片与所述HF酸蒸气充分接触预定时间。通过该检测方法可以确认硅片表面被金属离子污染的位置，同时可以追溯至出现金属离子污染的工序，从而为后续的生产提供指导，这有利于太阳能电池片工艺制程中异常问题的分析和解决。本发明专利技术还设计一种能够实现上述检测方法的太阳能电池制程金属离子污染检测装置。

【技术实现步骤摘要】
一种太阳能电池制程金属离子污染检测方法及装置
本专利技术涉及力太阳能电池制备
，特别涉及一种太阳能电池制程金属离子污染检测方法及装置。
技术介绍
晶体硅电池片是太阳能组件(或称光伏组件)的主要组成构件，将硅片制成电池片的过程主要包括制绒、扩散、刻蚀、镀膜、印刷和烧结。在电池片的工艺制程中，可能由于设备或者人为因素引入金属离子，金属离子会污染硅片的表面，形成少子的复合中心，这会影响电池的少子寿命，存在金属离子污染的硅片所制成的电池会出现效率较低的问题，这会严重影响电池的后续的光电转化效率。金属离子实际为微观存在，肉眼条件下不可见，因此电池存在金属离子污染时无法直接确认存在问题的工序环节，如何能够准确的确定硅片上金属离子污染的位置以及确定存在金属离子污染的工序环节是目前本领域技术人员亟需解决的技术问题。
技术实现思路
本专利技术的目的之一是提供一种太阳能电池制程金属离子污染检测方法，以便能够确定硅片上金属离子污染的位置以及确定存在金属离子污染的工序环节。本专利技术的另一目的还在于提供一种太阳能电池制程金属离子污染检测装置。为达到上述目的，本专利技术所提供的太阳能电池制程金属离子污染检测本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种太阳能电池制程金属离子污染检测方法，其特征在于，将待检测电池片放置于反应容器内，并向所述反应容器内通入HF酸蒸气，使所述待检测电池片与所述HF酸蒸气充分接触并持续预定时间。

【技术特征摘要】
1.一种太阳能电池制程金属离子污染检测方法，其特征在于，将待检测电池片放置于反应容器内，并向所述反应容器内通入HF酸蒸气，使所述待检测电池片与所述HF酸蒸气充分接触并持续预定时间。2.根据权利要求1所述的太阳能电池制程金属离子污染检测方法，其特征在于，所述HF酸蒸气通过动力气体携带通入所述反应容器中。3.根据权利要求2所述的太阳能电池制程金属离子污染检测方法，其特征在于，所述动力气体为N2，或惰性气体。4.根据权利要求2所述的太阳能电池制程金属离子污染检测方法，其特征在于，所述动力气体的流量为0.5～5升/min。5.根据权利要求1所述的太阳能电池制程金属离子污染检测方法，其特征在于，所述HF酸蒸气通过加热HF酸溶液制得，且所述HF酸溶液的浓度为40％～60％。6.根据权利要求1所述的太阳能电池制程金属离子污染检测方法，其特征在于，所述预定时间为30min～60min。7.根据权利要求1所述的太阳能电池制程金属离子污染检测方法，其特征在于，在达到所述预定时间后，还包括废气吹扫步骤，所述废气吹扫步骤为：向所述反应容器内通入吹扫气体，所述吹扫气体的流量为2～20升/min。8.根据权利要求7所述的太阳能电池制程金属离子污染检测方法，其特征在于，所述吹扫气体为N2。9.一种太阳能电池制程金属离子污染检测装置，其特征在于，包括：反应容器(1)，所述反应容器(1)设置有HF酸进气口和废气排放口，且所述反应容器(1)内设置有用于安放待检测电池片(4)的安装部；HF酸蒸气供应总成(2)，所述HF酸蒸气供应总成(2)的HF酸排出口与所述反应容器的HF酸进气口相连。10.根据权利要求9所述的太阳能电池制程金属离子污染检测装置，其特征在于，...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄纪德，金井升，张昕宇，金浩，
申请(专利权)人：浙江晶科能源有限公司，晶科能源有限公司，
类型：发明
国别省市：浙江,33