具有在离散数量的位置处被支撑的膜片的声学设备制造技术

一种声学设备，该声学设备包括背板、膜片和至少一个柱。所述膜片和所述背板彼此间隔开设置。至少一个柱被构造成跨越距离至少暂时地连接所述背板和所述膜片。与不存在该柱时的膜片的刚度相比，膜片的刚度增加。当膜片被电偏置并且在膜片被所述至少一个柱支撑的位置处提供有固支边界时，所述至少一个柱提供固支边界条件。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】具有在离散数量的位置处被支撑的膜片的声学设备相关申请的交叉引用本专利根据35U.S.C.§119(e)要求2014年10月13日提交的题为“AcousticApparatuswithDiaphragmclampedataDiscreetNumberofLocations”的美国临时申请No.62/063183的权益，其内容通过引用整体并入本文。
本专利技术涉及声学装置，并且更具体地，涉及MEMS麦克风。
技术介绍
多年来，已经使用了不同类型的声学装置。一种类型的装置是麦克风。在微机电系统(MEMS)麦克风中，MEMS管芯包括膜片和背板。MEMS管芯由基底支撑并由壳体(例如，具有壁的杯或盖)包封。端口可以延伸穿过基底(对于底部端口装置)或者穿过壳体的顶部(对于顶部端口装置)或者穿过壳体的侧面(对于侧部端口装置)。在任何情况下，声能穿过端口，使膜片变形并在膜片与背板之间产生变化的电容，从而产生电信号。麦克风被部署在诸如个人计算机、蜂窝电话和平板电脑的各种类型的装置中。一种类型的MEMS麦克风采用自由板膜片。偏置的自由板膜片通常位于沿着膜片的周边定位的支撑杆上。支撑杆限制膜片的运动。自由板本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种声学设备，所述声学设备包括：背板；膜片，所述膜片和所述背板被彼此间隔开设置并且分离一距离；至少一个柱，所述至少一个柱被构造成至少暂时地连接所述背板和所述膜片；从而使得与不存在所述柱时的膜片的刚度相比，所述膜片的刚度增加，并且使得当所述膜片被电偏置并且在所述膜片被所述至少一个柱支撑的位置处提供有固支边界时，所述至少一个柱提供固支边界条件。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2014.10.13 US 62/063,1831.一种声学设备，所述声学设备包括：背板；膜片，所述膜片和所述背板被彼此间隔开设置并且分离一距离；至少一个柱，所述至少一个柱被构造成至少暂时地连接所述背板和所述膜片；从而使得与不存在所述柱时的膜片的刚度相比，所述膜片的刚度增加，并且使得当所述膜片被电偏置并且在所述膜片被所述至少一个柱支撑的位置处提供有固支边界时，所述至少一个柱提供固支边界条件。2.根据权利要求1所述的声学设备，其中，所述膜片大致为圆形，所述膜片具有垂直于所述膜片的中心延伸并穿过所述背板的轴线。3.根据权利要求2所述的声学设备，其中，围绕所述轴线形成柱，并且所述柱被构造成至少暂时地连接所述背板和所述膜片。4.根据权利要求1所述的声学设备，其中，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：S·帕尔，桑·博克·李，
申请(专利权)人：美商楼氏电子有限公司，
类型：发明
国别省市：美国,US