ATE电源测试通道扩展结构及其测试应用方法技术

本发明专利技术公开了一种ATE电源测试通道扩展结构，电源扩展支路包括的过流保护电路在测试过程中用于检测对应的电源扩展支路的电流大小，在电流扩展支路的电流正常时保持电源扩展支路和被测器件的连接；在电流扩展支路过流时断开电源扩展支路和被测器件的连接，防止过流的电流扩展支路将对应的电源测试通道的输出电压拉低从而影响连接同一电源测试通道的其它电源扩展支路的测试。过流保护电路还在上电启动过程中用于设置各电源扩展支路的通断状态。本发明专利技术还公开了一种ATE电源测试通道扩展结构的测试应用方法。本发明专利技术具有过流隔离功能，能防止多支路共享电源测试通道时由过流引起的测试过杀，还能节省支路选择开关。

【技术实现步骤摘要】
ATE电源测试通道扩展结构及其测试应用方法
本专利技术涉及半导体集成电路制造领域，特别是涉及一种集成电路自动测试机(ATE，AutoTestEquipment)电源测试通道扩展结构；本专利技术还涉及一种ATE电源测试通道扩展结构的测试应用方法。
技术介绍
如图1所示，是现有ATE电源测试通道扩展结构的结构图；ATE的测试电源通道102(PowerSupply，PS)在固定配置下数量是有限的，图1中虚线框101表示ATE中配置的总的测试电源通道102，包括有多个，图1中显示了2个测试电源通道102，为了分别这两个测试电源通道102，在图1中还分别用PS1和PS2表示对应的测试电源通道102。为了提高被测器件104(DeviceUnderTest，DUT)测试同测数，通常会在ATE以外对测试电源通道102进行扩展，图1所示结构为现有常见的扩展方案：主要是一个测试电源通道102的输出端并不直接连接被测器件104，而是将每个测试电源通道102的输出端都同时连接多个电源扩展支路，在电源扩展支路中包括一个支路选择开关103，电源扩展支路的输出端连接对应的被测器件104。图1中，为了区分不同支路上本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种ATE电源测试通道扩展结构，其特征在于，包括：多个电源测试通道，各所述电源测试通道包括多个电源扩展支路，各所述电源扩展支路的输入端连接对应的所述电源测试通道的输出端，各所述电源扩展支路的输出端连接一个被测器件；各所述电源扩展支路包括过流保护电路；所述过流保护电路在测试过程中用于检测对应的所述电源扩展支路的电流大小，在所述电流扩展支路的电流正常时保持所述电源扩展支路的导通以及所述电源扩展支路和所述被测器件的连接；在所述电流扩展支路过流时使所述电源扩展支路断开以及断开所述电源扩展支路和所述被测器件的连接，防止过流的所述电流扩展支路将对应的所述电源测试通道的输出电压拉低从而影响连接同一所述电源测...

【技术特征摘要】
1.一种ATE电源测试通道扩展结构，其特征在于，包括：多个电源测试通道，各所述电源测试通道包括多个电源扩展支路，各所述电源扩展支路的输入端连接对应的所述电源测试通道的输出端，各所述电源扩展支路的输出端连接一个被测器件；各所述电源扩展支路包括过流保护电路；所述过流保护电路在测试过程中用于检测对应的所述电源扩展支路的电流大小，在所述电流扩展支路的电流正常时保持所述电源扩展支路的导通以及所述电源扩展支路和所述被测器件的连接；在所述电流扩展支路过流时使所述电源扩展支路断开以及断开所述电源扩展支路和所述被测器件的连接，防止过流的所述电流扩展支路将对应的所述电源测试通道的输出电压拉低从而影响连接同一所述电源测试通道的其它所述电源扩展支路的测试；所述过流保护电路在上电启动过程中用于设置各所述电源扩展支路的导通和断开状态。2.如权利要求1所述的ATE电源测试通道扩展结构，其特征在于：所述过流保护电路包括：过流检测电阻、过流检测比较器和过流保护开关；所述过流检测电阻和所述过流保护开关串联连接，所述过流检测电阻在所述电源扩展支路的输入端和输出端之间形成一个电压降，所述过流检测比较器检测所述过流检测电阻的电压降的大小并根据所述过流检测电阻的电压降形成一个和参考电压比较的信号，所述过流检测比较器的输出端输出一个根据比较结果形成的控制信号到所述过流保护开关，所述过流保护开关在所述控制信号的控制下导通或断开；当所述电源扩展支路过流时所述过流检测电阻的电压降会超范围，所述控制信号使所述过流保护开关断开，从而使所述电源扩展支路断开以及断开所述电源扩展支路和所述被测器件的连接；当所述电源扩展支路的电流正常时所述过流检测电阻的电压降在正常范围，所述控制信号使所述过流保护开关保持导通，从而保持所述电源扩展支路的导通以及所述电源扩展支路和所述被测器件的连接。3.如权利要求2所述的ATE电源测试通道扩展结构，其特征在于：所述过流检测比较器的正相输入端连接所述电源扩展支路的输出端，所述过流检测比较器的反相输入端连接参考电压；所述过流保护开关为低电平常开型开关；当所述过流检测电阻的电压降在正常范围时，所述过流检测比较器的正相输入端的电压大于所述参考电压，所述控制信号为1，所述过流保护开关导通；当所述过流检测电阻的电压降在超范围时，所述过流检测比较器的正相输入端的电压小于所述参考电压，所述控制信号为0，所述过流保护开关断开。4.如权利要求3所述的ATE电源测试通道扩展结构，其特征在于：所述参考电压的公式为：Vref＝Vcc-ΔVcc，Vref为所述参考电压，Vcc为所述电源测试通道的输出电压，ΔVcc为可容许误差，即在Vcc至Vcc-ΔVcc的范围内所述被测器件能进行正常测试；所述过流检测电阻的最小值的公式为：Rmin＝ΔVcc/Itrig；所述过流检测电阻的最大值的公式为：Rmax＝ΔVcc/Imax；所述过流检测电阻的电阻大小在Rmin和Rmax之间皆可；其中，Rmin为所述过流检测电阻的最小值，Rmax为所述过流检测电阻的最大值，Itrig为过流触发值，Imax为各所述被测器件在各种测试条件下的电流规格的最大值，Itrig大于Imax。5.如权利要求4所述的ATE电源测试通道扩展结构，其特征在于：Itrig为Imax的3倍～5倍。6.如权利要求3所述的ATE电源测试通道扩展结构，其特征在于：在ATE的初始化过程中，当对应的所述电源扩展支路在初始化时为应断开时，所述过流检测比较器的反相输入端连接第一初始化电压，所述第一初始化电压大于等于所述电源测试通道的输出电压，所述第一初始化电压使所述过流检测比较器的输出端输出大小为0的所述控制信号并使所述过流保护开关断开，从而使所述电源扩展支路在初始化时断开；当对应的所述电源扩展支路在初始化时为应导通时，所述过流检测比较器的反相输入端连接第二初始化电压，所述第二初始化电压小于0V，使初始化过程中所述过流检测比较器的输出端输出大小为1的所述控制信号并使所述过流保护开关导通，从而使所述电源扩展支路在初始化时导通；初始化完成后，初始化时导通的所述电源扩展支路对应的所述过流检测比较器的反相输入端连接到所述参考电压，初始化时断开的所述电源扩展支路对应的所述过流检测比较器的反相输入端的电压保持为所述第一初始化电压。7.如权利要求1所述的ATE电源测试通道扩展结构的测试应用方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤一、将被测器件连接到各所述电源扩展支路的输出端并建立失效被测器件的编号列表，在进行各所述被测器件的第一项测试项目之前初始化所述编号列表；步骤二、进入当前测试项目，根据所述编号列表设置所述过流保护电路的初始化参数，所述过流保护电路的初始化参数使上电后初始化时所述编号列表中的编号对应所述被测器件所对应的各所述电源扩展支路为断开状态，以及使非...

【专利技术属性】
技术研发人员：曾志敏，
申请(专利权)人：上海华虹宏力半导体制造有限公司，
类型：发明
国别省市：上海,31