一种实验与检测使用的三维变化步长电动载物台制造技术

本发明专利技术公开了一种实验与检测使用的三维变化步长电动载物台，属于实验仪器领域。本发明专利技术包括载物平台、支座Ⅰ、步进驱动机构组Ⅰ、步进驱动机构组Ⅱ、支座Ⅱ、底座，所述载物平台固定在支座Ⅰ上方，支座Ⅰ与步进驱动机构组Ⅰ上端相连，步进驱动机构组Ⅰ下端与步进驱动机构组Ⅱ的上端相连，步进驱动机构组Ⅱ的下端与支座Ⅱ连接，支座Ⅱ固定在底座上。该装置可以精确确定载物台三个维度移动的距离，实现非整数倍移动步长的位置确定，实现不同步长的组合，可实现快速与慢速两种移动要求。也可以根据实验需要组装不同步长和高度载物台。

【技术实现步骤摘要】
一种实验与检测使用的三维变化步长电动载物台
本专利技术涉及一种实验与检测使用的三维变化步长电动载物台，主要应用于实验与检测中被测物品或测量仪器的固定和移动，属于实验仪器领域。
技术介绍
在微位移或者是物体表面纳米尺度形貌测量的实验中，需要被测物体的位置或者测量装置进行精确移动。近年来随着高分辨步进电机的发展，各种维度的电动载物台被应用到现实测量技术中，实现了被测物体的位置或者测量装置的位置的精确移动。但是，目前普遍使用的电动载物台均采用固定步长移动，从而给实验中需要非整数倍移动步长的位置确定带来困难，影响测量结果。
技术实现思路
本专利技术的目的是为了解决现有电动载物台中仅能固定步长移动，无法实现非整数倍移动步长的位置确定的技术问题。本专利技术采用的技术方案是：一种实验与检测使用的三维变化步长电动载物台，包括载物平台1，支座Ⅰ3，步进驱动机构组Ⅰ9，步进驱动机构组Ⅱ13，支座Ⅱ14，底座22；所述载物平台1固定在支座Ⅰ3上方，支座Ⅰ3与步进驱动机构组Ⅰ9上端相连，步进驱动机构组Ⅰ9下端与步进驱动机构组Ⅱ13的上端相连，步进驱动机构组Ⅱ13的下端与支座Ⅱ14连接，支座Ⅱ14固定在底座22上本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种实验与检测使用的三维变化步长电动载物台，其特征在于：包括载物平台（1）、支座Ⅰ（3）、步进驱动机构组Ⅰ（9）、步进驱动机构组Ⅱ（13）、支座Ⅱ（14）和底座（22）；所述载物平台（1）固定在支座Ⅰ（3）上方，支座Ⅰ（3）与步进驱动机构组Ⅰ（9）上端相连，步进驱动机构组Ⅰ（9）下端与步进驱动机构组Ⅱ（13）的上端相连，步进驱动机构组Ⅱ（13）的下端与支座Ⅱ（14）连接，支座Ⅱ（14）固定在底座（22）上；所述步进驱动机构组Ⅰ（9）包括X轴步进驱动机构Ⅰ（6）、Y轴步进驱动机构Ⅰ（7）和Z轴步进驱动机构Ⅰ（8），X轴步进驱动机构Ⅰ（6）、Y轴步进驱动机构Ⅰ（7）和Z轴步进驱动机构Ⅰ（8）分别与...

【技术特征摘要】
1.一种实验与检测使用的三维变化步长电动载物台，其特征在于：包括载物平台（1）、支座Ⅰ（3）、步进驱动机构组Ⅰ（9）、步进驱动机构组Ⅱ（13）、支座Ⅱ（14）和底座（22）；所述载物平台（1）固定在支座Ⅰ（3）上方，支座Ⅰ（3）与步进驱动机构组Ⅰ（9）上端相连，步进驱动机构组Ⅰ（9）下端与步进驱动机构组Ⅱ（13）的上端相连，步进驱动机构组Ⅱ（13）的下端与支座Ⅱ（14）连接，支座Ⅱ（14）固定在底座（22）上；所述步进驱动机构组Ⅰ（9）包括X轴步进驱动机构Ⅰ（6）、Y轴步进驱动机构Ⅰ（7）和Z轴步进驱动机构Ⅰ（8），X轴步进驱动机构Ⅰ（6）、Y轴步进驱动机构Ⅰ（7）和Z轴步进驱动机构Ⅰ（8）分别与X轴步进电机驱动控制器Ⅰ（23）、Y轴步进电机驱动控制器Ⅰ（24）、Z轴步进电机驱动控制器Ⅰ（25）连接；所述步进驱动机构组Ⅱ（13）包括X轴步进驱动机构Ⅱ（10）、Y轴步进驱动机构Ⅱ（11）和Z轴步进驱动机构Ⅱ（12），X轴步进驱动机构Ⅱ（19）、Y轴步进驱动机构Ⅱ（20）、Z轴步进驱动机构Ⅱ（21）分别与X轴步进电机驱动控制器Ⅱ（26）、Y轴步进电机驱动控制器Ⅱ（27）、Z轴步进电机驱动控制器Ⅱ（28）连接；所述X轴步进电机驱动控制器Ⅰ（23）、Y轴步进电机驱动控制器Ⅰ（24）、Z轴步进电机驱动控制器Ⅰ（25）、X轴步进电机驱动控制器Ⅱ（26）、Y轴步进电机驱动控制器Ⅱ（27）、Z轴步进电机驱动控制器Ⅱ（28）与外部计算机相连。2.根据权利要求1所述的实验与检测使用的三维变化步长电动载物台，其特征在于：所述载物平台（1）通过固定螺柱（2）固定在支座Ⅰ（3）上方，支座Ⅰ（3）通过固定螺栓（4）和垫圈（5）与步进驱动机构组Ⅰ（9）上端相连，步进驱动机构组Ⅰ（9）下端通过固定螺栓（4）和垫圈（5）...

【专利技术属性】
技术研发人员：宋庆和，刘志强，
申请(专利权)人：昆明理工大学，
类型：发明
国别省市：云南,53