用于测量聚合物膜的金属离子渗透率的方法和用于测量聚合物膜的金属离子渗透率的装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及用于测量聚合物膜的金属离子渗透率的方法以及用于测量聚合物膜的金属离子渗透率的装置，所述方法包括以下步骤：向所述聚合物膜施加电压，同时使所述聚合物膜的至少一侧与包含金属离子、有机溶剂和水性溶剂的电解液接触；以及在施加电压后，测量所述聚合物膜随时间的电阻变化率或电流变化率。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】用于测量聚合物膜的金属离子渗透率的方法和用于测量聚合物膜的金属离子渗透率的装置
相关申请的交叉引用本申请要求在2015年1月29日向韩国知识产权局提交的韩国专利申请第10-2015-0014306号和在2015年1月29日向韩国知识产权局提交的韩国专利申请第10-2015-0014307号的权益，其公开内容通过全文引用并入本文。本专利技术涉及用于测量聚合物膜的金属离子渗透率的方法和用于测量聚合物膜的金属离子渗透率的装置，更具体地，涉及这样的用于测量聚合物膜的金属离子渗透率的方法和用于测量聚合物膜的金属离子渗透率的装置：可以更容易且准确地测量用于半导体装置等的聚合物膜的金属离子渗透率，并且可以减少测量所需的时间并提高效率。
技术介绍
用于半导体装置或显示装置的聚合物膜的金属离子渗透率是确保所使用的材料或最终产品可靠性的重要因素。然而，能够直接测量聚合物膜的金属离子渗透率的方法并不广为人知，并且根据先前已知的测量方法，应进行复杂的多级过程，而且所得到的聚合物膜的金属离子渗透率的测量结果的可靠性不太高。例如，先前使用这样的方法：将待测聚合物膜导入金属离子溶液并加热，然后计算吸附至所述聚合物本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于测量聚合物膜的金属离子渗透率的方法，包括以下步骤：向所述聚合物膜施加电压，同时使所述聚合物膜的至少一侧与包含金属离子、有机溶剂和水性溶剂的电解液接触；以及在施加电压后，测量所述聚合物膜随时间的电阻变化率或电流变化率。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2015.01.29 KR 10-2015-0014306;2015.01.29 KR 10-2011.一种用于测量聚合物膜的金属离子渗透率的方法，包括以下步骤：向所述聚合物膜施加电压，同时使所述聚合物膜的至少一侧与包含金属离子、有机溶剂和水性溶剂的电解液接触；以及在施加电压后，测量所述聚合物膜随时间的电阻变化率或电流变化率。2.根据权利要求1所述的方法，其中在施加电压后，测量所述聚合物膜随时间的电阻变化率或电流变化率的步骤包括以下步骤：测量在施加电压后，直至所述随时间的电流变化率或电阻变化率保持恒定的第一时间(T)的时间。3.根据权利要求2所述的方法，其中所述随时间的电流变化率或电阻变化率保持恒定的所述第一时间为：其中所述随时间的电流变化率或电阻变化率包括在所述随时间的电流变化率或电阻变化率的平均值的25％以内的范围内的时点的所述第一时间，或者在经过随时间的电流变化或电阻变化的拐点之后，所述随时间的电流或电阻变化的差值的变化率变为0的所述第一时间。4.根据权利要求2所述的方法，其中将所述聚合物膜的金属离子渗透率定义为在所述第一时间(T)之后随时间的平均电流变化率或平均电阻变化率。5.根据权利要求2所述的方法，其中在施加电压后，直至所述随时间的电流变化率或电阻变化率保持恒定的所述第一时间(T)的所述时间为8小时或更短。6.根据权利要求5所述的方法，其中在施加电压后，直至所述随时间的电流变化率或电阻变化率保持恒定的所述第一时间(T)的所述时间在室温、大气压和10V的施加电压下进行测量。7.根据权利要求1所述的方法，其中基于100重量份的所述水性溶剂，所述电解液包含20重量份至200重量份的所述有机溶剂。8.根据权利要求1所述的方法，其中所述电解液中包含的所述有机溶剂的沸点高于向所述聚合物膜施加电压的步骤的温度。9.根据权利要求1所述的方法，其中所述电解液中包含的所述有机溶剂包括亚砜有机溶剂。10.根据权利要求9所述的方法，其中所述亚砜有机溶剂包括碳数为1至3的二烷基亚砜。11.根据权利要求1所述的方法，其中所述电解液中包含的所述金属离子的浓度为0.1ppmw至2000ppmw。12.根据权利要求1所述的方法，其中所述金属离子包括选自以下的一种或更多种金属的离子：铜、金、铂、银、铁、汞、钾、钙、钠、铝、镍和铬。13.根据权利要求1所述的方法，其中向所述聚合物膜施加电压，同时使所述聚合物膜的至少一侧与包含金属离子、有机溶剂和水性溶剂的电解液接触的步骤包括以下步骤：施加电压，同时使所述聚合物膜的一侧与包含所述金属离子的所述电解液接触。14.根据权利要求13所述的方法，其中施加电压，同时使所述聚合物膜的一侧与包含所述金属离子的所述电解液接触的步骤包括以下步骤：向第一电极和第二电极施加电压，所述第一电极与所述第二电极相对并且与所述电解液接触，并且所述第二电极与所述聚合物膜的另一侧相接触。15.根据权利要求1所述的方法，其中施加电压，同时使所述聚合物膜的至少一侧与包含所述金属离子的所述电解液接触的步骤包括以下步骤：向所述聚合物膜施加电压，同时使所述聚合物膜的一侧与包含所述金属离子的第一...

【专利技术属性】
技术研发人员：金荣国，金丁鹤，金熹正，金塞拉，曹正镐，李光珠，南承希，韩智浩，
申请(专利权)人：株式会社LG化学，
类型：发明
国别省市：韩国,KR