一种用于半导体管道加热器的温度控制器制造技术

本发明专利技术公开一种用于半导体管道加热器的温度控制器，包括按键组、微控制单元、显示屏、温度传感器、电源接口、交流‑直流转换器、电流采集器、安全继电器、三端双向交流开关以及控制继电器。本发明专利技术通过按键组方便设置加热温度值；通过显示屏实时显示设定的温度值及温度传感器探测的加热温度；针对不同的半导体管道加热器，微控制单元根据电流采集器采集的电流大小控制三端双向交流开关、控制继电器的动作，从而完成控制模式的灵活转换；通过RS485通讯模块实现温度控制器与控制主机的数据通讯，实时监控加热过程。

【技术实现步骤摘要】
一种用于半导体管道加热器的温度控制器
本专利技术涉及半导体管道加热领域，尤其涉及一种用于半导体管道加热器的温度控制器。
技术介绍
目前，半导体管道加热已广泛应用于许多半导体生产工艺中。由于许多半导体生产工艺中有大量的可凝生成物生成，对半导体管道的加热可以避免此类生成物在管道内壁上的沉积，从而避免管道的堵塞，以保证半导体生产设备的正常运行。在对半导体管道加热时，对于加热温度的控制至关重要，然而，传统用于半导体管道加热器的温度控制器还普遍存在如下不足：一、大部分不可以设定温度，即使可以人为设定温度，设定操作也比较繁琐，人机交互效果差；二、温控的精度低，抗干扰能力差；三、无法实时显示温度数值和设定温度；四、无法与控制主机进行通讯，实时监控状态等信息。
技术实现思路
本专利技术的目的在于通过一种用于半导体管道加热器的温度控制器，来解决以上
技术介绍
部分提到的问题。为达此目的，本专利技术采用以下技术方案：一种用于半导体管道加热器的温度控制器，其包括按键组、微控制单元(MicrocontrollerUnit，MCU)、显示屏、温度传感器、电源接口、交流-直流转换器、电流采集器、安全继电器、三端双向交流本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于半导体管道加热器的温度控制器，其特征在于，包括按键组、微控制单元、显示屏、温度传感器、电源接口、交流‑直流转换器、电流采集器、安全继电器、三端双向交流开关以及控制继电器；所述按键组与微控制单元连接；所述微控制单元与显示屏、温度传感器连接；所述电源接口的一端连接电源，另一端连接交流‑直流转换器、电流采集器；所述电流采集器与微控制单元连接；所述安全继电器的一端连接电流采集器，另一端连接三端双向交流开关、控制继电器；所述微控制单元与安全继电器连接；所述三端双向交流开关、控制继电器连接微控制单元。

【技术特征摘要】
1.一种用于半导体管道加热器的温度控制器，其特征在于，包括按键组、微控制单元、显示屏、温度传感器、电源接口、交流-直流转换器、电流采集器、安全继电器、三端双向交流开关以及控制继电器；所述按键组与微控制单元连接；所述微控制单元与显示屏、温度传感器连接；所述电源接口的一端连接电源，另一端连接交流-直流转换器、电流采集器；所述电流采集器与微控制单元连接；所述安全继电器的一端连接电流采集器，另一端连接三端双向交流开关、控制继电器；所述微控制单元与安全继电器连接；所述三端双向交流开关、控制继电器连接微控制单元。2.根据权利要求1所述的用于...

【专利技术属性】
技术研发人员：顾幼范，谢龙，
申请(专利权)人：无锡新辉龙科技有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32