一种能够实现下抛光盘无理数转动的机构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种能够实现下抛光盘无理数转动的机构包括上抛光盘、下抛光盘、安装座、支撑座和转动轴，还包括第一行星轮系、第二行星轮系、万向轴节和驱动电机，所述驱动电机固定不动，驱动电机通过万向轴节连接第一行星轮系并带动第一行星轮系的运动，所述第一行星轮系与第二行星轮系串联连接，所述第二行星轮系连接所述转动轴的顶端；本实用新型专利技术结构简单紧凑，生产成本低，可以从研磨加工运动学原理上解决了加工轨迹线循环闭合的科学问题，在加工精度上相比传统的有理转速的驱动装置有很大的提高；同时可以实现下抛光盘转动时不同倍数的无理数，极大提高了本装置的适用范围。

Mechanism capable of realizing irrational rotation of projection disk

The utility model discloses a polishing mechanism can realize under the irrational rotation of the upper polishing disk, including polishing disk, mounting seat, a supporting seat and a rotating shaft, also includes a first planetary gear train, second planetary gear train, the cardan shaft and the drive motor, the drive motor is fixed, the drive motor through a universal coupling connection the first planetary gear train and drives the first planetary gear train movement, the first planetary gear train with second planetary gears are connected in series, the second planetary gear train is connected with the rotating shaft of the top; the utility model has simple structure, low production cost, can from the grinding principle of kinematics solve scientific problems processing line closed loop in the machining accuracy, compared with the traditional rational drive speed is greatly improved; at the same time can be realized under different polishing disc rotation The irrational number of multiples greatly improves the applicable range of the device.

【技术实现步骤摘要】
一种能够实现下抛光盘无理数转动的机构
本技术涉及平面抛光
，更具体的说，尤其涉及一种能够实现下抛光盘无理数转动的机构，主要应用于电子、通信、计算机、激光、航空航天等

技术介绍
研磨加工已经成为高精密机械、航空航天、光电信息等领域不可或缺的一种精密加工方式，随着产品的不断升级，这些领域对工件表面加工精度和表面质量的要求也愈来愈高。平面研磨加工须确保平面度、表面粗糙度、表层及亚表层位错形态和残余应力等，研磨加工已经成为后续抛光和特种加工获取超光滑表面的必备工序，而抛光加工主要用于降低工件表面粗糙度，但是抛光时间过长会容易导致平面度降低、抛光表面形成波纹等缺陷，小于100um厚度的超薄晶片对时间要求更高，否则容易出现碎片现象。所以解决这些难题的重要手段是不断提高研磨加工后晶片表面形状精度，直至达到抛光前的技术要求。如何实现高效率、高精度控形的平面研磨加工是当前的主要技术瓶颈。随着晶体衬底尺寸的增大，研磨均匀性的控制变得越来越困难，研磨轨迹的均匀性已经成为研究的热点。因此，平面研磨加工运动学方法的创新，对获取高精度、超光滑的工件表面具有非常重要的理论意义和科学价值。公开号为C本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种能够实现下抛光盘无理数转动的机构，包括下抛光盘(9)、安装座(11)和转动轴(10)，所述下抛光盘(9)套装在转动轴(10)的上端，所述下抛光盘(9)安装在安装座(11)内；其特征在于：还包括第一行星轮系、第二行星轮系、行星架(7)和驱动电机(8)，所述驱动电机(8)竖直固定在安装座(11)内；所述第一行星轮系包括输入直齿锥齿轮(6)、直齿锥齿轮机架(5)和行星架(4)，所述直齿锥齿轮机架(5)固定不动，输入直齿锥齿轮(6)与直齿锥齿轮机架(5)相啮合，输入直齿锥齿轮(6)通过行星架(7)连接驱动电机(8)，驱动电机(8)通过行星架(7)带动输入直齿锥齿轮(6)转动时带动输入直齿锥齿轮(6...

【技术特征摘要】
1.一种能够实现下抛光盘无理数转动的机构，包括下抛光盘(9)、安装座(11)和转动轴(10)，所述下抛光盘(9)套装在转动轴(10)的上端，所述下抛光盘(9)安装在安装座(11)内；其特征在于：还包括第一行星轮系、第二行星轮系、行星架(7)和驱动电机(8)，所述驱动电机(8)竖直固定在安装座(11)内；所述第一行星轮系包括输入直齿锥齿轮(6)、直齿锥齿轮机架(5)和行星架(4)，所述直齿锥齿轮机架(5)固定不动，输入直齿锥齿轮(6)与直齿锥齿轮机架(5)相啮合，输入直齿锥齿轮(6)通过行星架(7)连接驱动电机(8)，驱动电机(8)通过行星架(7)带动输入直齿锥齿轮(6)转动时带动输入直齿锥齿轮(6)绕直齿锥齿轮机架(5)转动；所述行星架(4)的一端与输入直齿锥齿轮(6)的中心轴固定连接；所述第二行星轮系包括圆柱直齿行星齿轮(1)、圆柱直齿齿轮机架(2)和圆柱直齿输出齿轮(3)，所述圆柱直齿齿轮机架(2)固定在支撑座上，圆柱直齿输出齿轮(3)设置在圆柱直齿齿轮机架(2)内部，圆柱直齿行星齿轮(1)同时与圆柱直齿齿轮机架(2)的内齿轮和圆柱直齿输出齿轮(3)的外齿轮啮合，圆柱直齿输出齿轮(3)与转动轴(10)的底部固定连接，圆柱直齿行星齿轮(1)转动时绕圆柱直齿齿轮机架(2)的内圈转动并带动圆柱直齿输出齿轮(3)转动；所述行星架(4)的另一端与圆柱直齿行星齿轮(1)的中心轴固定连接；所述驱动电机(8)、直齿锥齿轮机架(5)、圆柱直齿齿轮机架(2)、圆柱直齿输出齿轮(3)、转动轴(10)和下抛光盘(9)的轴...

【专利技术属性】
技术研发人员：章少杰，陈珍珍，文东辉，金明生，杨杰，
申请(专利权)人：浙江工业大学，
类型：新型
国别省市：浙江,33