切断装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种切断装置，在该切断装置中能够选择不同尺寸的切割环并使其固定在工作台上。将工作台(47)保持在通过交叉滚轮轴承(41)转动自如的基环(43、44)上。在工作台(47)上隔着弹性板(52)安装第1切割环(51)。此外，代替弹性板(52)和第1切割环(51)，在工作台上设置保护定位板(53)，在其中央部分设置弹性板(54)，安装第2切割环(55)。环收容单元(60)可以更换不同尺寸的按压臂(64、67)，配合切割环的尺寸选择性地安装按压臂。

Cutting device

The invention relates to a cutting device, in which a cutting ring of different sizes can be selected and fixed on a worktable. The work table (47) is maintained on a base ring (43, 44) that is freely rotatable through the cross roller bearings (41). A first cutting ring (51) is installed on the worktable (47) through an elastic plate (52). In addition, in addition to the elastic plate (52) and the first cutting ring (51), a protective positioning plate (53) is arranged on the worktable, an elastic plate (54) is arranged in the central portion thereof, and a second cutting ring (55) is installed. The ring holding unit (60) can replace a press arm (64, 67) of different sizes, and selectively install the press arm in accordance with the size of the cutting ring.

【技术实现步骤摘要】
切断装置
本专利技术涉及一种对经由粘接材料安装在切割环的脆性材料基板进行切断的切断装置，特别涉及一种能够在工作台上选择性地设置尺寸不同的多个种类的切割环的切断装置。
技术介绍
在专利文献1中示出了将设有半导体晶片的切割环保持在工作台上、从其上部压下切断条来进行切断的切断装置。在这种切断装置中，在工作台上的切割环所保持的半导体晶片预先格子状地形成有刻划线。在将基板切断成格子状的情况下，沿1条刻划线压下切断条来进行切断。然后使工作台在固定方向上平行移动，依次沿多条刻划线切断半导体晶片。接着使工作台旋转约90°，沿与完成切断的刻划线正交的刻划线同样依次压下切断条来进行切断，并使工作台在固定方向上平行移动。这样依次沿多条刻划线切断半导体晶片。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2014-83821号公报。专利技术要解决的课题半导体晶片当前正不断从8英寸向12英寸扩大尺寸，处理大尺寸的切割环所装载的半导体晶片的必要性正在增加。在现有的切断装置中，在变更切割环的尺寸的情况下，需要采用与各尺寸对应的工作台。因此存在不仅更换工作台和其周围部件很麻烦、而且更换后的精度调整需要很多的时间和工作量、成本变高的问题。
技术实现思路
本专利技术是鉴于这样的问题而完成的，其目的在于提供一种共同使用工作台、并且能够容易地变更切割环的尺寸的切断装置。用于解决课题的方案为了解决该课题，本专利技术的切断装置具有：工作台，其保持成为分割对象的脆性材料基板；以及转动单元，其使所述工作台旋转，在所述工作台上选择性地安装第1切割环及尺寸比其小的至少1个第2切割环，对保持在所述任一个切割环的脆性材料基板进行切断，其中，所述转动单元具有：环状的保护定位板，其具有比所述第2切割环大的外径，在内侧具有圆形开口；环收容单元，其通过转动自如的按压臂将所述第1或第2切割环保持在所述工作台上；第1弹性板，其在使用所述第1切割环时而被使用，设置在所述工作台和所述第1切割环之间；以及第2弹性板，其在使用所述第2切割环时而被使用，被保持在所述保护定位板的开口内并被设置在所述工作台和所述第2切割环之间。在此，所述环收容单元的按压臂可以安装保持所述第1切割环的第1按压臂和保持所述第2切割环的第2按压臂中的一种。专利技术效果根据具有这样的特征的本专利技术，能够容易地切换在工作台上隔着第1弹性板保持第1切割环的第1状态和取下第1切割环及第1弹性板、隔着保护定位板和设置在其贯穿孔内的第2弹性板保持第2切割环的第2状态。通过将环收容单元的臂变更为与尺寸对应的按压臂，从而能够容易地将不同尺寸的切割环保持在共同工作台上。因此即使在使用不同尺寸的切割环的情况下，也可得到无需变更工作台而能用同一切断装置进行切断的效果。附图说明图1是本专利技术的实施方式的切断装置的概略立体图。图2是本实施方式的旋转机构的工作台部分的俯视图。图3是示出本实施方式的旋转机构的立体图。图4是将本实施方式的旋转机构的上部区块和下部区块分开表示的立体图。图5是本实施方式的旋转机构的下部区块的组装结构图。图6是示出本实施方式的旋转机构的上部区块的细节的组装结构图。图7是本实施方式的旋转机构的侧视图。图8是示出将工作台固定在本实施方式的旋转机构的上基环的状态的局部立体图。图9是示出本实施方式的旋转机构的环收容单元和其周围部分的立体图(其1)。图10是示出本实施方式的旋转机构的环收容单元和其周围部分的立体图(其2)。图11是示出在本实施方式的切断装置中更换切割环的过程的俯视图(其1)。图12是示出在本实施方式的切断装置中更换切割环的过程的俯视图(其2)。图13是示出在本实施方式的切断装置中更换切割环的过程的俯视图(其3)。图14是示出在本实施方式的切断装置中更换切割环的过程的俯视图(其4)。图15是示出在本实施方式的切断装置中更换切割环的过程的俯视图(其5)。图16是示出本实施方式的切断装置的概略图的侧视图。图17是示出本实施方式的切断装置的控制器的框图。具体实施方式接着对本专利技术的实施方式的切断装置10进行说明。切断装置10具有可以向图1所示的y轴的正方向及负方向移动的载物台11。在载物台11的下方设有Y轴移动机构12，该Y轴移动机构12使载物台11沿其面在y轴方向上移动，进一步使载物台11沿其面旋转。载物台11的上部设有“コ”字状的水平固定构件13，其上部保持有伺服电动机14。在伺服电动机14的旋转轴直接连接有滚珠丝杠15，滚珠丝杠15的下端以滚珠丝杠15能够旋转的方式被其它的水平固定构件16支承。上移动构件17在中央部具有与滚珠丝杠15螺合的阴螺纹18，从上移动构件17的两端部向下方具有支承轴19a，19b。支承轴19a，19b贯穿水平固定构件16的一对贯穿孔并与下移动构件20连结。在下移动构件20的下表面安装有图中未示出的切断条。切断条是细长的平板并使顶端尖锐的金属制的刃具状构件，以顶端部分处于下方的方式与载物台11的面垂直地安装在下移动构件20。这样的话，在通过伺服电动机14使滚珠丝杠15旋转的情况下，上移动构件17和下移动构件20成整体而上下移动，切断条也同时上下移动。在此，伺服电动机14和水平固定构件13，16、上下的移动构件17，20构成使切断条升降的升降机构。接着对设置在载物台11的旋转机构30进行说明。图2是旋转机构30的俯视图，图3是其立体图，图4是表示将其上部区块和下部区块分开的状态的立体图。此外，图5是下部区块的组装结构图。如图5所示，在下部的基座31设有圆形的有阶梯的贯穿孔31a和侧方的缺口31b。如图4所示，基座31的侧方安装有圆弧状的托架32和线缆链33(也称为线缆导管，包含线缆拖链(cableveyor)(注册商标))。线缆链33为柔软的构件，用于向后述的环收容单元供电。此外，在基座31的缺口31b安装有驱动单元34，在该驱动单元34设有用于使工作台旋转的电机、齿轮。接着图6是示出图4所示的上部区块的细节的分解立体图。在上部区块的最下部设有作为环状轴承的交叉滚轮轴承41，其上部设有环42。交叉滚轮轴承41经由轴承连结有内轮和外轮，通过固定外轮从而能够减少摩擦而使内轮自由地旋转。交叉滚轮轴承41插入在基座31的贯穿孔31a内，其下部被保持在阶梯部分。环42通过从上部夹住交叉滚轮轴承41的外轮并螺丝固定在基座31从而固定交叉滚轮轴承41的外轮。下基环43是环状的环和向下方突出的直径稍小的突出环部分一体化而成的构件，下部的突出部插入在交叉滚轮轴承41的内轮的内侧，通过上部而被固定在内轮。此外，在下基环43的上部固定上基环44。上基环44是环状的环44a和向其上方突出的直径小的环44b一体化而成的构件，在上部的突出环44b在四方设有缺口44c～44f。在上基环44的上部的突出环44b的外周部分安装有齿轮45。如图所示齿轮45是在全周形成有齿的环状齿轮，与驱动单元34的驱动齿轮相咬合。在上基环44安装有另一个环46。在环46的内侧形成有阶梯，透明玻璃制的工作台47嵌入并被保持在该阶梯的内侧。工作台47为保持要切断的基板的圆形构件，具有与切割环几乎相同的直径，在这里采用约12英寸的直径。接着图7是示出该旋转机构整体的侧视图，示出除去托架32的状态。如本图所示，在基座31上设置有线缆链33，在线缆链33的上部设置有本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种切断装置，具有：工作台，其保持成为分割对象的脆性材料基板；以及转动单元，其使所述工作台旋转，在所述工作台上选择性地安装第1切割环及尺寸比其小的至少1个第2切割环，对保持在所述任一个切割环的脆性材料基板进行切断，其中，所述转动单元具有：环状的保护定位板，其具有比所述第2切割环大的外径，在内侧具有圆形开口；环收容单元，其通过转动自如的按压臂将所述第1或第2切割环保持在所述工作台上；第1弹性板，其在使用所述第1切割环时而被使用，被设置在所述工作台和所述第1切割环之间；以及第2弹性板，其在使用所述第2切割环时而被使用，被保持在所述保护定位板的开口内并被设置在所述工作台和所述第2切割环之间。

【技术特征摘要】
2016.01.22 JP 2016-0104751.一种切断装置，具有：工作台，其保持成为分割对象的脆性材料基板；以及转动单元，其使所述工作台旋转，在所述工作台上选择性地安装第1切割环及尺寸比其小的至少1个第2切割环，对保持在所述任一个切割环的脆性材料基板进行切断，其中，所述转动单元具有：环状的保护定位板，其具有比所述第2切割环大的外径，在内侧具有圆形开口；环收...

【专利技术属性】
技术研发人员：三谷卓朗，郝鹏飞，
申请(专利权)人：三星钻石工业株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP