在衬底上印刷图案的方法和设备技术

技术编号:15883959 阅读:61 留言:0更新日期:2017-07-28 14:24
本发明专利技术包括用于在衬底上印刷图案的方法和设备。所述方法包括:采集具有多个印刷轨迹的衬底表面的图像;以及识别在多个印刷轨迹上的印刷轨迹部分的位置。所述方法进一步包括:通过比较印刷轨迹部分的位置与预定印刷轨迹的位置来决定调整参数;以及基于调整参数执行后续印刷操作。所述设备包括至少一个检查单元和计算机可读介质,所述计算机可读介质包含处理器执行一种用于印刷的方法的指令,所述方法包含:(i)识别印刷轨迹部分的位置;(ii)通过比较印刷轨迹部分的位置与预定印刷轨迹的位置来决定调整参数;以及(iii)基于调整参数执行后续印刷操作。

Method and apparatus for printing patterns on a substrate

The present invention includes methods and apparatus for printing patterns on a substrate. The method comprises the following steps of: collecting an image of a substrate surface with multiple printing tracks; and identifying the position of a printed track portion on a plurality of printing tracks. The method further includes determining the adjustment parameter by comparing the position of the printed track portion with the position of the predetermined printed track; and performing subsequent printing operations based on the adjustment parameters. The device includes at least one inspection unit and a computer readable medium, the computer readable medium contains a processor executes instructions for printing method, the method includes: (I) recognition of printed part of the track position; (II) decided to adjust the parameters by comparing the trajectory of the printing position and book printing track position; and (III) to adjust the parameters of printing operation based on the following.

【技术实现步骤摘要】
在衬底上印刷图案的方法和设备本申请是申请日为“2013年8月30日”、申请号为“201310390629.7”、题为“在衬底上印刷图案的方法和设备”的分案申请。专利技术背景
本专利技术的实施例涉及用于例如使用硅或氧化铝基在衬底上印刷导电材料的方法和设备,所述方法和设备用以形成光伏(PV)电池或绿带型(green-tapetype)电路。
技术介绍
太阳能电池是将太阳光直接转换成为电力的PV装置。在制造商业上可行的太阳能电池以制造PV装置时的一个主要因素在于,通过提高装置产量和增加衬底生产量来降低形成太阳能电池所需的制造成本。用于生产太阳能电池和将太阳能电池配置一个或多个p-n结的方法是公知的。每一p-n结包含在半导体材料之内的两个不同区域,其中一侧被表示为p型区且另一侧被表示为n型区。当太阳能电池的p-n结暴露于太阳光时,太阳光通过PV效应直接转换为电力。太阳能电池产生特定量的电力,并且太阳能电池被制造且布置在太阳能模块中,所述太阳能模块件被确定大小以传递所需量的系统功率。太阳能模块使用特定框架和连接器相连成为面板。太阳能电池通常在硅衬底上形成,所述硅衬底可以是单晶或多晶硅衬底。典型本文档来自技高网...
在衬底上印刷图案的方法和设备

【技术保护点】
一种在衬底上印刷图案的方法,所述方法包含:采集具有印刷在衬底上的多个印刷轨迹的所述衬底的表面区域的图像;借助于所述图像识别在所述多个印刷轨迹上的印刷轨迹部分相对于所述衬底的至少一个侧面的位置;通过比较所述印刷轨迹部分的所述位置与预定印刷轨迹的位置来决定调整参数;以及基于所述调整参数执行后续印刷操作。

【技术特征摘要】
2012.08.31 IT UD2012A000149;2013.01.11 US 61/751,71.一种在衬底上印刷图案的方法,所述方法包含:采集具...

【专利技术属性】
技术研发人员:M·佳利亚佐A·沃尔坦A·卡萨林
申请(专利权)人:应用材料意大利有限公司
类型:发明
国别省市:意大利,IT

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