立式球面干涉拼接测量装置及其调整方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种立式球面干涉拼接测量装置及其调整方法。装置包括干涉仪、球面波转换镜、三维调整机构A、三维调整机构B、二维调整机构、PC机、被测球面、支架；调整方法用于对上述的球面干涉拼接测量装置进行调整。本装置能过方便、快速、准确的调整球面被测件以满足测量的要求，有效的解决了被测球面零件在测量中安装和调整的问题，能够通过调整被测件位置解决大数值孔径的球面被测件的子孔径拼接测量，实现全孔径检测。

Vertical spherical interference splicing measuring device and adjusting method thereof

The invention relates to a vertical spherical interference splicing measuring device and an adjusting method thereof. Device comprises an interferometer, spherical mirror, three-dimensional wave conversion adjustment mechanism A, 3D B and 2D adjusting mechanism adjusting mechanism, PC machine, the measured spherical surface, the spherical support; stitching interferometry device for adjusting adjustment method. The device can adjust the spherical convenient fast and accurate measurement is to meet the measurement requirements, effectively solve the measurement of spherical parts installed in the measurement and adjustment problems, can be measured by adjusting the position of solving large numerical aperture spherical measured subaperture stitching measurement, achieve full aperture detection.

【技术实现步骤摘要】
立式球面干涉拼接测量装置及其调整方法
本专利技术涉及一种立式球面干涉拼接测量装置及其调整方法，属于干涉拼接测量领域。
技术介绍
随着科技和工业的日益发展，现代工业对于光学元件的精度要求越来越高，特别是近几年对于大数值孔径球面光学元件的精度提出了较高的要求。采用传统的方法对大数值孔径球面光学元件进行测量，需要大孔径的干涉仪和参考镜，成本较高，而采用拼接测量就可以解决这个问题。在拼接测量的过程中，对于被测球面的安装和调整就成为了决定测量精度的关键。现有的干涉拼接测量系统中，主要采用卧式的测量装置，如“子孔径拼接干涉检测光学非球面面形的装置”（200910217903.4）中提出的卧式测量系统，这种测量系统的需要通过调整干涉仪的位置来进行测量，增大了调整误差。如“球面干涉拼接测量装置及其调整方法”（201510739697.9）中提出的一种测量系统，这种测量系统的调整机构包含了调整台轴向的自由度，增加了调整难度。
技术实现思路
本专利技术的目的在于针对现有的调整技术存在的问题，提出了一种立式球面干涉拼接测量装置及其调整方法，通过调整被测球面的位置完成拼接测量数值孔径较大的球面光学元件，以此解决本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种立式球面干涉拼接测量装置，其特征在于，包括干涉仪（1）、球面波转换镜（2）、三维调整机构A（3）、三维调整机构B（4）、二维调整机构（5）、PC机（6）、被测球面（7）、支架（8）；所述干涉仪（1）安装在支架（8）的顶部，所述球面波转换镜（2）安装在干涉仪（1）的底部，所述二维调整机构（5）上部安装有三维调整机构B（4），三维调整机构B（4）上部安装有三维调整机构A（3），组成调整机构；所述被测球面（7）安装在三维调整机构A（3）上，通过调整机构的调整，使被测球面（7）的球心与球面波转换镜（2）的球心重合，并使被测球面（7）的球心与三维调整机构A（3）中的弧摆台的球心重合；所述干涉仪（1）...

【技术特征摘要】
1.一种立式球面干涉拼接测量装置，其特征在于，包括干涉仪（1）、球面波转换镜（2）、三维调整机构A（3）、三维调整机构B（4）、二维调整机构（5）、PC机（6）、被测球面（7）、支架（8）；所述干涉仪（1）安装在支架（8）的顶部，所述球面波转换镜（2）安装在干涉仪（1）的底部，所述二维调整机构（5）上部安装有三维调整机构B（4），三维调整机构B（4）上部安装有三维调整机构A（3），组成调整机构；所述被测球面（7）安装在三维调整机构A（3）上，通过调整机构的调整，使被测球面（7）的球心与球面波转换镜（2）的球心重合，并使被测球面（7）的球心与三维调整机构A（3）中的弧摆台的球心重合；所述干涉仪（1）与PC机（6）连接。2.根据权利要求1所述的立式球面干涉拼接测量装置，其特征在于，所述三维调整机构A（3）是一个360°转动平台固定在垂直调整机构上，垂直调整机构固定在弧摆台上，以满足被测球面（7）自转以及绕着其圆心摆动一定角度的自由度调节。3.根据权利要求1所述的立式球面干涉拼接测量装置，其特征在于，所述三维调整机构B（4）是一个二维直动平台固定在一个垂直调整机构上，以满足被测球面（7）在XYZ方向三个自由度的调节。4.根据权利要求1所述的立式球面干涉拼接测量装置，其特征在于，所述二维调整机构（5）是两个弧摆台相互正交连接在一起，以满足被测球面（7）两个自由度摆动的调整需求。5.一种立式球面干涉拼接测量装置的调整方法，用于对权利要求1所述的立式球面干...

【专利技术属性】
技术研发人员：牟柯冰，于瀛洁，胡瑞祥，陈鼎夫，
申请(专利权)人：上海大学，
类型：发明
国别省市：上海,31