流量运算装置、流量运算方法和流量控制装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及流量运算装置、流量运算方法和流量控制装置，提高流量的计测精度，实现高精度的流量控制。将根据与阀芯(14)结合的阀轴(17)的旋转位置检测出的阀芯的阀开度θpv作为阀开度测量值，并将作为阀芯(14)的初级侧的流体的压力P1与次级侧的流体的压力P2的压力差而检测出的阀芯的前后差压ΔP作为差压检测值，根据该阀开度测量值θpv和差压检测值ΔP来求出与此时的阀轴(17)的扭转量对应的校正值α，使用该校正值α来校正阀开度测量值θpv，根据经校正的阀开度θpv’和差压检测值ΔP，计算在管路(13)中流过的流体的流量。将该计算出的流体的流量作为计测流量Qpv，控制阀轴(17)的旋转量，以使计测流量Qpv与设定流量Qsp一致。

Flow calculation device, flow calculation method and flow control device

The invention relates to a flow calculation device, a flow calculation method and a flow control device, so as to improve the measuring accuracy of flow rate and realize high-precision flow control. According to (14) and spool valve shaft combination (17) to detect the rotational position of the spool valve opening of the valve opening as the theta PV measurements, and will serve as a spool (14) fluid pressure P1 and the secondary side of the primary side of the fluid pressure differential pressure valve and P2 detection the differential pressure before and after P as differential pressure detection value, the valve opening according to the measured value of PV and differential detection value of theta Delta P to calculate and the valve shaft (17) corresponding to the amount of twist correction value, using the correction value to correct the alpha valve opening according to the measured value of 0 PV correction of the valve opening and the differential detection value of PV 'theta Delta P calculation in the pipeline (13) fluid flowing through the flow. The calculated flow of the fluid is used as a measured flow Qpv to control the rotation of the valve shaft (17) so that the measured flow rate Qpv is consistent with the set flow Qsp.

【技术实现步骤摘要】
流量运算装置、流量运算方法和流量控制装置
本专利技术涉及对在通过阀芯来调节其开闭量的流路中流过的流体的流量进行运算的流量运算装置、流量运算方法以及使用所运算出的流量来控制在流路中流过的流体的流量的流量控制装置。
技术介绍
以往，在配管路中配置流量计和阀这两者，根据通过流量计计测出的流量来控制阀的开度(阀开度)。但是，在这样的方法中，必须配置流量计和阀这两者，成本也上升。因此，期望具备流量计测功能和阀开度的控制功能这两种功能的流量控制阀，并得到实用化(例如，参照专利文献1、2)。该流量控制阀具备：具备形成流体流过的流路的管路以及调节在该管路中流过的流体的流量(流路的开闭量)的阀芯的阀主体；以及安装于该阀主体并控制阀芯的阀开度的致动器。致动器具备使与阀芯结合的阀轴旋转的马达。另外，在致动器中搭载有CPU、存储器。在阀主体中，设置有计测阀芯的上游侧的流体压力P1的第1压力传感器、计测阀芯的下游侧的流体压力P2的第2压力传感器以及根据阀轴的旋转位置检测阀芯的阀开度θ的阀开度传感器。致动器的CPU取得作为来自第1压力传感器的流体压力P1与来自第2压力传感器的流体压力P2的压力差而被检测出的阀芯本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种流量运算装置，其特征在于，具备：阀开度校正部，其将根据与调节流体流过的流路的开闭量的阀芯结合的阀轴的旋转位置检测出的所述阀芯的阀开度作为阀开度测量值，并将作为所述阀芯的初级侧的流体的压力与次级侧的流体的压力的压力差而被检测出的所述阀芯的前后差压作为差压检测值，根据该阀开度测量值和差压检测值中的至少一方求出与此时的所述阀轴的扭转量对应的校正值，使用该校正值来校正所述阀开度测量值；以及流量计算部，其根据通过所述阀开度校正部校正了的阀开度和所述差压检测值，计算在所述流路中流过的流体的流量。

【技术特征摘要】
2015.09.30 JP 2015-1927701.一种流量运算装置，其特征在于，具备：阀开度校正部，其将根据与调节流体流过的流路的开闭量的阀芯结合的阀轴的旋转位置检测出的所述阀芯的阀开度作为阀开度测量值，并将作为所述阀芯的初级侧的流体的压力与次级侧的流体的压力的压力差而被检测出的所述阀芯的前后差压作为差压检测值，根据该阀开度测量值和差压检测值中的至少一方求出与此时的所述阀轴的扭转量对应的校正值，使用该校正值来校正所述阀开度测量值；以及流量计算部，其根据通过所述阀开度校正部校正了的阀开度和所述差压检测值，计算在所述流路中流过的流体的流量。2.一种流量运算方法，其特征在于，包括：阀开度取得步骤，取得根据与调节流体流过的流路的开闭量的阀芯结合的阀轴的旋转位置检测出的所述阀芯的阀开度来作为阀开度测量值；差压取得步骤，取得作为所述阀芯的初级侧的流体的压力与次级侧的流体的压力的压力差而被检测出的所述阀芯的前后差压来作为差压检测值；阀开度校正步骤，根据通过所述阀开度取得步骤取得的阀开度测量值和通过所述差压取得步骤取得的差压检测值中的至少一方，求出与此时的所述阀轴的扭转量对应的校正值，使用该校正值来校正所述阀开度测量值；以及流量计算步骤，根据通过所述阀开度校正步骤校正了的阀开度和通过所述差压取得步骤取得的差压检测值，计算在所述流路中流过的流体的流量。3.一种流量控制装置，其特征在于，具备：阀开度校正部，其将根据与调节流体流过的流路的开闭量的阀芯结合的阀轴的旋转位置检测出的所述阀芯的阀开度作为阀开度测量值，并将作为所述阀芯的初级侧的流体的压力与次级侧的流体的压力的压力差而被检测出的所述阀芯的前后差压作为差压检测值，根据该阀开度测量值和差压检测值中的至少一方求出与此时的所述阀轴的扭转量对应的校正值，使用该校正值来校正所述阀开度测量值；流量计算部，其根据通过所述阀开度校正部校正了的阀开度和所述差压检测值，计算在所述流路中流过的流体的流量；以及阀开度控制部，其将通过所述流量计算部计算出的流体的流量作为计测流量，控制所述阀轴的旋转量，以使该计测流量与设定流量一致。4.根据权利要求1所述的流量运算装置，其特征在于，具备校正表格存储部，该校正表格存储部存储校正表格，在该校正表格中，与所述阀芯的阀开度和所述阀芯的前后差压的组合对应地确定了与此时的所述阀轴的扭转量对应的校正值，所述阀开度校正部从所述校正表格取得与所述阀开度测量值和所述差压检测值的组合对应的校正值，使用该取得的校正值来校正所述阀开度测量值。5.根据权利要求1所述的流量运算装置，其特征在于，所述阀开度校正部根据所述阀开度测量值和所述差压检测值求出在所述阀轴产生的转矩值，将该转矩值代入规定的运算式而求出与此时的所述阀轴的扭转量对应的校正值，使用该求出的校正值来校正所述阀开度测量值。6.一种流量运算装置，其特征在于，具备：阀开度校正部，其针对根据与调节流体流过的流路的开闭量的阀芯结合的阀轴的旋转位置检测出的所述阀芯的阀开度，利用被确定为与所述阀轴的扭转量对应的校正值的恒定值来进行校正；以及流量计算部，其根据通过所述阀开度校正部校正了的阀开度以及作为所述阀芯的初级侧的流体的压力与次级侧的流体的压力的压力差而被检测出的所述阀芯的前后差压，计算在所述流路中流过的流体的流量。7.一种流量运算装置，其特征在于，具备：阀开度校正部，其将根据与调节流体流过的流路的开闭量的阀芯结合的阀轴的旋转位置检测出的所述阀芯的阀开度设为阀开度测量值...

【专利技术属性】
技术研发人员：大桥智文，染谷秀明，
申请(专利权)人：阿自倍尔株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP