基于三个或更多个状态的功率和频率的调节制造技术

本发明专利技术涉及基于三个或更多个状态的功率和频率的调节，具体描述了用于根据三个或更多个状态调节功率和频率的系统和方法。所述方法中的一个包括：接收具有多个状态的脉冲信号。通过多个射频(RF)产生器接收所述脉冲信号。当接收到具有第一状态的所述脉冲信号时，由第一RF产生器产生具有预先设定的功率电平的RF信号以及由第二RF产生器产生具有预先设定的功率电平的RF信号。此外，当接收到具有第二状态的所述脉冲信号时，由所述第一和第二射频产生器产生具有预先设定的功率电平的RF信号。此外，当接收到具有第三状态的所述脉冲信号时，由所述第一和第二射频产生器产生具有预先设定的功率电平的RF信号。

【技术实现步骤摘要】
基于三个或更多个状态的功率和频率的调节本申请是申请号为201310422704.3、申请日为2013年9月16日、专利技术名称为“基于三个或更多个状态的功率和频率的调节”的专利技术专利申请的分案申请。
本专利技术的实施方式涉及改善对等离子体阻抗的改变的响应时间，更具体地涉及用于基于三个或更多个状态的功率和频率调节的装置、方法和计算机程序。
技术介绍
在等离子体处理系统中，多个射频(RF)信号被提供给等离子体室中的一或多个电极。RF信号帮助在等离子体室内产生等离子体。该等离子体被用于各种操作，例如，清洁位于下电极上的衬底、蚀刻该衬底，等等。在这一背景下，出现了本公开中所描述的实施方式。
技术实现思路
本公开的实施方式供应了用于基于三个或更多个状态的功率和频率调节的装置、方法和计算机程序。应当知道的是，这些实施方式可被实现为多种形式，例如，工序、装置、系统、设备或计算机可读介质上的方法。下面将描述若干实施方式。本专利技术提供了一种等离子体系统，其被配置用于使用多个状态的操作，所述等离子体系统包括：主射频(RF)产生器，其用于接收脉冲信号，所述脉冲信号具有三个或更多个状态，所述三个或更多个状态包括第一状态、第二状态和第三状态，所述主射频产生器经由阻抗匹配电路耦合到等离子体室，从射频产生器，其用于接收所述脉冲信号，所述从射频产生器经由所述阻抗匹配电路耦合到所述等离子体室，所述主射频产生器和所述从射频产生器中的每个被配置为判定所述脉冲信号是否处于所述第一状态或所述第二状态或所述第三状态，所述主射频产生器被配置为响应于所述脉冲信号处于所述第一状态的判定将具有第一主量化电平的第一射频信号提供给所述阻抗匹配电路，所述从射频产生器被配置为响应于所述脉冲信号处于所述第一状态的判定将具有第一从量化电平的第二射频信号提供给所述阻抗匹配电路，所述主射频产生器被配置为响应于所述脉冲信号处于所述第二状态的判定将具有第二主量化电平的所述第一射频信号提供给所述阻抗匹配电路，所述从射频产生器被配置为响应于所述脉冲信号处于所述第二状态的判定将具有第二从量化电平的所述第二射频信号提供给所述阻抗匹配电路，所述主射频产生器被配置为响应于所述脉冲信号处于所述第三状态的判定将具有第三主量化电平的所述第一射频信号提供给所述阻抗匹配电路，所述从射频产生器被配置为响应于所述脉冲信号处于所述第三状态的判定将具有第三从量化电平的所述第二射频信号提供给所述阻抗匹配电路。其中，所述第一状态在与所述第二状态的发生的时间段相等的时间段期间发生。其中，所述第一状态在与所述第二状态的发生的时间段不相等的时间段期间发生。其中，所述第二状态在与所述第三状态的发生的时间段相等的时间段期间发生。其中，所述第二状态在与所述第三状态的发生的时间段不相等的时间段期间发生。其中，所述第一主量化电平、所述第二主量化电平、所述第三主量化电平、所述第一从量化电平、所述第二从量化电平和所述第三从量化电平中的每个是功率电平。其中，所述第一主量化电平、所述第二主量化电平、所述第三主量化电平、所述第一从量化电平、所述第二从量化电平和所述第三从量化电平中的每个是频率电平。一种等离子体系统，其配置成根据多个状态来操作，所述等离子体系统包括：主射频(RF)产生器，其用于接收脉冲信号，所述脉冲信号具有三个或更多个状态，所述三个或更多个状态包括第一状态、第二状态和第三状态，所述主射频产生器经由阻抗匹配电路耦合到等离子体室，所述主射频产生器用于判定所述脉冲信号是否处于所述第一状态或所述第二状态或所述第三状态，所述主射频产生器被配置为响应于所述脉冲信号处于所述第一状态的判定将具有第一主量化电平的第一射频信号提供给所述阻抗匹配电路，所述主射频产生器被配置为响应于所述脉冲信号处于所述第二状态的判定将具有第二主量化电平的所述第一射频信号提供给所述阻抗匹配电路，所述主射频产生器被配置为响应于所述脉冲信号处于所述第三状态的判定将具有第三主量化电平的所述第一射频信号提供给所述等离子体室，从射频产生器，其经由所述阻抗匹配电路耦合到所述等离子体室，所述从射频产生器用于判定与所述等离子体相关联的参数是否超过第一阈值，所述从射频产生器被配置为响应于与所述等离子体相关联的所述参数不超过所述第一阈值的判定提供具有第一从量化电平的第二射频信号，所述从射频产生器被配置为响应于与所述等离子体相关联的所述参数超过所述第一阈值的判定提供具有第二从量化电平的所述第二射频信号。其中，所述从射频产生器用于判定所述脉冲信号是否从所述第三状态渡越到所述第一状态，当从所述第三状态到所述第一状态的所述渡越发生时，所述从射频产生器用于判定与所述等离子体相关联的所述参数是否超过所述第一阈值。其中，所述从射频产生器用于判定所述脉冲信号是否从所述第一状态渡越到所述第二状态，当从所述第一状态到所述第二状态的所述渡越发生时，所述从射频产生器用于判定与所述等离子体相关联的所述参数是否超过第二阈值，所述从射频产生器被配置为响应于与所述等离子体相关联的所述参数不超过所述第二阈值的判定提供具有所述第二从量化电平的所述第二射频信号，所述从射频产生器被配置为响应于与所述等离子体相关联的所述参数超过所述第二阈值的判定提供具有第三从量化电平的射频信号。其中，所述从射频产生器用于判定所述脉冲信号是否从所述第二状态渡越到所述第三状态，当从所述第二状态到所述第三状态的所述渡越发生时，所述从射频产生器用于判定与所述等离子体相关联的所述参数是否超过第三阈值，所述从射频产生器被配置为响应于与所述等离子体相关联的所述参数不超过所述第三阈值的判定提供具有所述第三从量化电平的射频信号，所述从射频产生器被配置为响应于与所述等离子体相关联的所述参数超过所述第三阈值的判定提供具有所述第一从量化电平的射频信号。其中，所述第一主量化电平、所述第二主量化电平和所述第三主量化电平是功率电平。其中，所述第一主量化电平、所述第二主量化电平和所述第三主量化电平是频率电平。其中，在与所述第二状态的发生的时间段相等的时间段期间发生所述第一状态。其中，在与所述第二状态的发生的时间段不相等的时间段期间发生所述第一状态。其中，与所述等离子体相关联的所述参数包括所述等离子体的阻抗的变化、或与所述等离子体相关联的伽马值、或与所述等离子体相关联的电压驻波比、或它们的组合。一种等离子体处理方法，其包括：接收脉冲信号，其中，接收所述脉冲信号是通过主处理器执行的，接收所述脉冲信号，其中，接收所述脉冲信号是通过从处理器执行的，判定所述脉冲信号是否处于第一状态或第二状态或第三状态，其中，判定是通过所述主处理器执行的；判定所述脉冲信号是否处于所述第一状态或第二状态或第三状态，其中，判定是通过所述从处理器执行的；响应于所述脉冲信号处于所述第一状态的判定将第一射频信号的第一主量化电平提供给主功率源，其中，所述第一主量化电平的提供是通过所述主处理器执行的；响应于所述脉冲信号处于所述第一状态的判定将第二射频信号的第一从量化电平提供给从功率源，其中，所述第一从量化电平的提供是通过所述从处理器执行的；响应于所述脉冲信号处于所述第二状态的判定将所述第一射频信号的第二主量化电平提供给所述主功率源，其中，所述第二主量化电平的提供是通过所述主处理器执行的；响应于所述脉冲信号处于本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种等离子体系统，其被配置用于使用多个状态的操作，所述等离子体系统包括：主射频(RF)产生器，其用于接收脉冲信号，所述脉冲信号具有三个或更多个状态，所述三个或更多个状态包括第一状态、第二状态和第三状态，所述主射频产生器经由阻抗匹配电路耦合到等离子体室，从射频产生器，其用于接收所述脉冲信号，所述从射频产生器经由所述阻抗匹配电路耦合到所述等离子体室，所述主射频产生器和所述从射频产生器中的每个被配置为判定所述脉冲信号是否处于所述第一状态或所述第二状态或所述第三状态，所述主射频产生器被配置为响应于所述脉冲信号处于所述第一状态的判定将具有第一主量化电平的第一射频信号提供给所述阻抗匹配电路，所述从射频产生器被配置为响应于所述脉冲信号处于所述第一状态的判定将具有第一从量化电平的第二射频信号提供给所述阻抗匹配电路，所述主射频产生器被配置为响应于所述脉冲信号处于所述第二状态的判定将具有第二主量化电平的所述第一射频信号提供给所述阻抗匹配电路，所述从射频产生器被配置为响应于所述脉冲信号处于所述第二状态的判定将具有第二从量化电平的所述第二射频信号提供给所述阻抗匹配电路，所述主射频产生器被配置为响应于所述脉冲信号处于所述第三状态的判定将具有第三主量化电平的所述第一射频信号提供给所述阻抗匹配电路，所述从射频产生器被配置为响应于所述脉冲信号处于所述第三状态的判定将具有第三从量化电平的所述第二射频信号提供给所述阻抗匹配电路。...

【技术特征摘要】
2012.09.14 US 61/701,574;2013.09.03 US 14/016,8411.一种等离子体系统，其被配置用于使用多个状态的操作，所述等离子体系统包括：主射频(RF)产生器，其用于接收脉冲信号，所述脉冲信号具有三个或更多个状态，所述三个或更多个状态包括第一状态、第二状态和第三状态，所述主射频产生器经由阻抗匹配电路耦合到等离子体室，从射频产生器，其用于接收所述脉冲信号，所述从射频产生器经由所述阻抗匹配电路耦合到所述等离子体室，所述主射频产生器和所述从射频产生器中的每个被配置为判定所述脉冲信号是否处于所述第一状态或所述第二状态或所述第三状态，所述主射频产生器被配置为响应于所述脉冲信号处于所述第一状态的判定将具有第一主量化电平的第一射频信号提供给所述阻抗匹配电路，所述从射频产生器被配置为响应于所述脉冲信号处于所述第一状态的判定将具有第一从量化电平的第二射频信号提供给所述阻抗匹配电路，所述主射频产生器被配置为响应于所述脉冲信号处于所述第二状态的判定将具有第二主量化电平的所述第一射频信号提供给所述阻抗匹配电路，所述从射频产生器被配置为响应于所述脉冲信号处于所述第二状态的判定将具有第二从量化电平的所述第二射频信号提供给所述阻抗匹配电路，所述主射频产生器被配置为响应于所述脉冲信号处于所述第三状态的判定将具有第三主量化电平的所述第一射频信号提供给所述阻抗匹配电路，所述从射频产生器被配置为响应于所述脉冲信号处于所述第三状态的判定将具有第三从量化电平的所述第二射频信号提供给所述阻抗匹配电路。2.根据权利要求1所述的等离子体系统，其中，所述第一状态在与所述第二状态的发生的时间段相等的时间段期间发生。3.根据权利要求1所述的等离子体系统，其中，所述第一主量化电平、所述第二主量化电平、所述第三主量化电平、所述第一从量化电平、所述第二从量化电平和所述第三从量化电平中的每个是功率电平。4.一种等离子体系统，其配置成根据多个状态来操作，所述等离子体系统包括：主射频(RF)产生器，其用于接收脉冲信号，所述脉冲信号具有三个或更多个状态，所述三个或更多个状态包括第一状态、第二状态和第三状态，所述主射频产生器经由阻抗匹配电路耦合到等离子体室，所述主射频产生器用于判定所述脉冲信号是否处于所述第一状态或所述第二状态或所述第三状态，所述主射频产生器被配置为响应于所述脉冲信号处于所述第一状态的判定将具有第一主量化电平的第一射频信号提供给所述阻抗匹配电路，所述主射频产生器被配置为响应于所述脉冲信号处于所述第二状态的判定将具有第二主量化电平的所述第一射频信号提供给所述阻抗匹配电路，所述主射频产生器被配置为响应于所述脉冲信号处于所述第三状态的判定将具有第三主量化电平的所述第一射频信号提供给所述等离子体室，从射频产生器，其经由所述阻抗匹配电路耦合到所述等离子体室，所述从射频产生器用于判定与所述等离子体相关联的参数是否超过第一阈值，所述从射频产生器被配置为响应于与所述等离子体相关联的所述参数不超过所述第一阈值的判定提供具有第一从量化电平的第二射频信号，所述从射频产生器被配置为响应于与所述等离子体相关联的所述参数超过...

【专利技术属性】
技术研发人员：约翰·C·小瓦尔考，布拉德福德·J·林达克，
申请(专利权)人：朗姆研究公司，
类型：发明
国别省市：美国,US