一种超声扫描显微镜成像分辨力特性校准装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种超声扫描显微镜成像分辨力特性校准装置，包括光栅测量系统、超声扫描显微镜、直线位移自动平移机构和校准平台，其中，所述直线位移自动平移机构安装在校准平台上，在校准平台上还安装有光栅测量系统，所述超声扫描显微镜正对校准平台，所述超声扫描显微镜和光栅测量系统均与计算机连接；校准时通过超声扫描显微镜扫描标准试块上相邻两幅图像指定点的像素灰度差值，计算出相应的实际尺寸值，并与光栅测量系统测量的直线位移自动平移机构的相应位移量进行比对，即可完成成像分辨力特性校准；本实用新型专利技术解决了目前超声扫描显微镜成像分辨力测量特性校准时标准试块安装困难以及对成像分辨力测量特性评价不全面等问题。

【技术实现步骤摘要】
一种超声扫描显微镜成像分辨力特性校准装置
本技术涉及一种超声扫描显微镜成像分辨力特性校准装置，属于仪器设备校准

技术介绍
超声扫描显微镜主要用于物料检测（IQC）、失效分析（FA）、质量控制（QC）、质量保证及可靠性（QA/REL）、研发（R&D）等领域，可在不破坏物料电气性能和结构完整性的前提下进行检测，其量值准确与否直接关系到相关产品性能检测结果的准确性，扫描分辨力水平决定了超声扫描显微检测系统的检测能力，分辨力特性校准主要是用于验证检测系统的检测能力。通过对超声扫描显微检测系统成像分辨力特性和成像几何尺寸测量性能进行校准来进行检测系统的图像几何尺寸检测能力的验证，成像分辨力特性主要是研究检测系统的图像最小识别能力，因此，设计一种装夹、安装方便的校准装置，对成像分辨力特性的校准工装具有非常重要的现实意义。超声扫描显微镜成像分辨力特性的校准目前主要采用标准试块进行，使用时通过扫描标准试块横向截面图像来评价其成像分辨力测量特性，这种成像分辨力特性的校准存在如下问题：（1）标准试块数量有限，其测量数据样本量少，无法全面进行评价；（2）微小尺寸标准试块的加工及其困难，价本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种超声扫描显微镜成像分辨力特性校准装置，其特征在于：包括光栅测量系统（7）、超声扫描显微镜（8）、直线位移自动平移机构和校准平台（1），其中，所述直线位移自动平移机构安装在校准平台（1）上，在校准平台（1）上还安装有光栅测量系统（7），所述超声扫描显微镜（8）正对校准平台（1），所述超声扫描显微镜（8）和光栅测量系统（7）均与计算机（6）连接。

【技术特征摘要】
1.一种超声扫描显微镜成像分辨力特性校准装置，其特征在于：包括光栅测量系统（7）、超声扫描显微镜（8）、直线位移自动平移机构和校准平台（1），其中，所述直线位移自动平移机构安装在校准平台（1）上，在校准平台（1）上还安装有光栅测量系统（7），所述超声扫描显微镜（8）正对校准平台（1），所述超声扫描显微镜（8）和光栅测量系统（7）均与计算机（6）连接...

【专利技术属性】
技术研发人员：黎安兵，朱永晓，蒋劲松，
申请(专利权)人：贵州航天计量测试技术研究所，
类型：新型
国别省市：贵州,52