Preparation and use of nitrogen dilution system and a phosphine, preparation and use of nitrogen dilution system and the phosphine gas source, nitrogen source, nitrogen purity tester, pressure sensor, phosphine generator, phosphine concentration detector, a connecting pipeline and a control valve, alarm and protection circuit; the nitrogen source gas outlet in connection with the phosphine generator inlet, can be injected into the pure nitrogen to the phosphine generator, for concentration of phosphine gas dilution phosphine generator.
【技术实现步骤摘要】
磷化氢气体的制取与使用和氮气稀释系统(一)
本专利技术涉及一种磷化氢气体的制取与使用装置和稀释装置,具体涉及磷化氢发生器和氮气稀释辅助系统。(二)
技术介绍
目前市场上磷化氢发生器使用时都需要二氧化碳气体来稀释产生的磷化氢气体的浓度,以达到安全生产的目的。(三)
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题在于,针对现有磷化氢发生器使用时都需要二氧化碳气体来稀释产生的磷化氢气体的浓度的现状,提供一种容易制取、价廉,非燃烧气体来稀释磷化氢气体的浓度的方法。本专利技术的一种磷化氢气体的制取与使用和氮气稀释系统,所述磷化氢气体的制取与使用和氮气稀释系统包括电源、磷化氢发生器、氮气源(各种制氮机,小型制氮机,高压氮气瓶或罐)、连接管路及控制阀、压力传感器、氮气纯度检测仪、磷化氢浓度检测仪、报警器和保护电路;所述磷化氢发生器提供磷化铝药剂与水反应产生的磷化氢气体;所述氮气源(各种制氮机,小型制氮机,高压氮气瓶或罐)提供纯度高于98.5%的氮气;所述连接管路和控制阀用于连接氮气源、磷化氢发生器和粮库环流熏蒸系统。优选地,所述磷化氢发生器可以见碎块计数与控制系统,专利号201210374239.6。其具有控制磷化铝单位时间投料数量的功能。本专利技术的有益效果在于:(1)氮气通常不易燃烧且不支持燃烧,符合作为稀释气体的条件,起到安全生产的作用。(2)氮气的制取比二氧化碳容易,这是因为大气中氮(N2)约占78%,二氧化碳(CO2)约占0.03%。(3)制氮机可以小型化。(4)氮气的制取比同体积二氧化碳制取大大减少能耗,减少污染物排放,对空气净化做出贡献。(5)系统操作安全,并且造 ...
【技术保护点】
一种磷化氢气体的制取与使用和氮气稀释系统,其特征在于:所述磷化氢气体的制取与使用和氮气稀释系统包括电源、磷化氢发生器、氮气源(各种制氮机,小型制氮机,高压氮气瓶或罐)、连接管路、控制阀、压力传感器及报警器、氮气纯度检测仪及报警器、磷化氢气体浓度检测仪及报警器和保护电路;所述电源与氮气源、磷化氢发生器连接,用于提供电能;所述氮气源出气口与磷化氢发生器进气口连接,可向磷化氢发生器内注入纯氮气,用于稀释磷化氢发生器产生的磷化氢气体的浓度;所述压力传感器及报警器与制氮机的氮气储气罐连接,用于检测氮气储气罐内的压力值;所述氮气纯度检测仪及报警器与氮气源的出口管路连接,用于检测氮气的浓度值;所述磷化氢浓度检测仪及报警器与磷化氢发生器的出口管路连接,用于检测磷化氢气体的浓度值;所述连接管路及控制阀与氮气源、磷化氢发生器、氮气纯度检测仪及报警器、磷化氢浓度检测仪及报警器和环流熏蒸回路连接,构造氮气、磷化氢气体和环流熏蒸回路之间的气体通道;所述磷化氢气体的制取与使用和氮气稀释系统运行过程中当制氮机的储气罐压力小于0.05Mpa时压力传感器的报警器将会报警,同时相关的保护电路使磷化氢发生器停止运行,待制氮 ...
【技术特征摘要】
1.一种磷化氢气体的制取与使用和氮气稀释系统,其特征在于:所述磷化氢气体的制取与使用和氮气稀释系统包括电源、磷化氢发生器、氮气源(各种制氮机,小型制氮机,高压氮气瓶或罐)、连接管路、控制阀、压力传感器及报警器、氮气纯度检测仪及报警器、磷化氢气体浓度检测仪及报警器和保护电路;所述电源与氮气源、磷化氢发生器连接,用于提供电能;所述氮气源出气口与磷化氢发生器进气口连接,可向磷化氢发生器内注入纯氮气,用于稀释磷化氢发生器产生的磷化氢气体的浓度;所述压力传感器及报警器与制氮机的氮气储气罐连接,用于检测氮气储气罐内的压力值;所述氮气纯度检测仪及报警器与氮气源的出口管路连接,用于检测氮气的浓度值;所述磷化氢浓度检测仪及报警器与磷化氢发生器的出口管路连接,用于检测磷化氢气体的浓度值;所述连接管路及控制阀与氮气源、磷化氢发生器、氮气纯度检测仪及报警器、磷化氢浓度检测仪及报警器和环流熏蒸回路连接,构造氮气、磷化氢气体和环流熏蒸回路之间的气体通道;所述磷化氢气体的制取与使用和氮气稀释系统运行过程中当制氮机的储气罐压力小于0.05Mpa时压力传感器的报警器将会报警,同时相关...
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