一种新型芯片清洗装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种新型芯片清洗装置，包括作业柜，作业柜上设置酸槽和水槽，酸槽内设置第一升降置物装置，第一升降置物装置包括第一升降置物架、第一滑轨和第一丝杠，酸槽的底部设置排酸阀；水槽内设置第二升降置物装置，第二升降置物装置包括第二升降置物架、第二滑轨和第二丝杠，水槽的底部设置排水阀；还包括移动置物板和设置在酸槽上的推动装置，当第一升降置物架、第二升降置物架分别上升至酸槽、水槽顶端时，通过推动装置的推动，移动置物板可以由第一升降置物架移动至第二升降置物架上。本实用新型专利技术便于芯片的清洗，无需直接接触芯片和清洗液，提高操作安全性，同时，移动置物板的设置，便于若干个芯片的整体移动清洗，提高工作效率。

A new chip cleaning device

The utility model discloses a new chip cleaning device, including operation cabinet, operation cabinet set acid tank and water tank, acid tank arranged in the first holding device for lifting, lifting the first storage device includes a first lifting rack, first slide and the first screw groove is arranged at the bottom of the acid acid discharge valve; water tank set second lift the storage device and the storage device comprises second lifting second lifting racks, second slides and second screws arranged on the bottom of the tank drain valve; also includes a driving device of mobile storage plate and set in the acid bath, when the first lifting racks, second lifting racks were increased to acid trough, at the top of the tank, by drive device, mobile storage plate by the first lifting rack is moved to the second lift on the shelf. The utility model is convenient for cleaning the chip, without direct contact with the chip and the cleaning liquid, improve the safety, at the same time, the mobile storage plate is set up, which is convenient for cleaning a plurality of overall mobile chip, improve work efficiency.

【技术实现步骤摘要】
一种新型芯片清洗装置
本技术主要涉及微电子
，具体是一种新型芯片清洗装置。
技术介绍
在微电子科学与工程
中，芯片是制作微电子器件的基本元件，而在半导体芯片制作过程中，芯片清洗的好坏直接决定芯片的质量。在对芯片进行清洗时，首先需要将芯片浸泡在化学试剂中一定时间，使用化学试剂对芯片表面进行浸泡清洗，然后再将经化学试剂清洗过的芯片使用高纯水进行清洗，以置换掉残留化学试剂和杂质离子等。现有技术中在对芯片进行化学试剂清洗后拿出芯片时，需要借助其他工具一个一个的拿出芯片在放入水槽内进行清洗，浪费时间而且很不方便，操作时容易碰触到清洗液，对人体造成伤害，存在一定的危险。
技术实现思路
为了解决现有技术中的不足，本技术提供一种新型芯片清洗装置，通过推动装置可以将移动置物板由第一升降置物架直接移动至第二升降置物架上，无需直接接触芯片和清洗液，提高操作安全性，同时芯片是放置在移动置物板上的，无需一个一个的取出芯片进行水洗，便于若干个芯片的整体移动清洗，简单方便，提高工作效率。本技术为实现上述目的，通过以下技术方案实现：一种新型芯片清洗装置，包括作业柜，所述作业柜内部设置酸槽和水槽，所述酸槽内设置第一升降置物装置，所述第一升降置物装置包括第一升降置物架、第一滑轨和第一丝杠，所述第一滑轨竖直设置于靠近水槽一侧的酸槽内壁上，所述第一丝杠与第一滑轨平行，且位于酸槽内远离水槽的一侧，所述第一丝杠与酸槽转动连接，所述酸槽上设置带动第一丝杠转动的第一电机，所述第一升降置物架的两侧分别设有与第一滑轨相适应的第一滑块和与第一丝杠相适应的第一丝母，所述酸槽的底部设置排酸阀；所述水槽内设置第二升降置物装置，所述第二升降置物装置包括第二升降置物架、第二滑轨和第二丝杠，所述第二滑轨竖直设置于靠近酸槽一侧的水槽内壁上，所述第二丝杠与第二滑轨平行，且位于水槽内远离酸槽的一侧，所述第二丝杠与水槽转动连接，所述水槽上设置带动第二丝杠转动的第二电机，所述第二升降置物架的两侧分别设有与第二滑轨相适应的第二滑块和与第二丝杠相适应的第二丝母，所述水槽的底部设置排水阀；还包括移动置物板和设置在酸槽上的推动装置，所述移动置物板的底部设有漏液孔，当第一升降置物架、第二升降置物架分别上升至酸槽、水槽顶端时，通过推动装置的推动，移动置物板可以由第一升降置物架移动至第二升降置物架上。所述推动装置包括设置在酸槽上的液压杆。所述推动装置包括设置在酸槽上的滑动杆，所述滑动杆与酸槽滑动连接。所述第一升降置物架、第二升降置物架均包括框架，所述框架的顶部设有导向凸块，所述移动置物板的底部设有与导向凸块相适应的导向凹槽。所述框架为圆环形框架或者椭圆环形框架或者长方环形框架。所述第一升降置物架与第一滑块、第一丝母可拆卸连接，所述第二升降置物架与第二滑块、第二丝母可拆卸连接。所述作业柜上设置进水管，所述进水管位于水槽的上侧，所述进水管上设置喷头。对比现有技术，本技术有益效果在于：1、本技术通过推动装置可以将移动置物板由第一升降置物架直接移动至第二升降置物架上，无需直接接触芯片和清洗液，提高操作安全性，同时芯片是放置在移动置物板上的，无需一个一个的取出芯片进行水洗，便于若干个芯片的整体移动清洗，简单方便，提高工作效率。2、推动装置包括设置在酸槽上的液压杆，可以通过液压杆直接控制移动置物板的移动，简单方便。3、推动装置包括设置在酸槽上的滑动杆，滑动杆与酸槽滑动连接，通过手动推动滑动杆，即可实现移动置物板的移动，简单方便。4、第一升降置物架、第二升降置物架均包括框架，框架的顶部设有导向凸块，移动置物板的底部设有与导向凸块相适应的导向凹槽，通过导向凸块和导向凹槽的配合，使移动置物板在移动过程中不会发生偏移，便于移动置物板的移动。5、述第一升降置物架与第一滑块、第一丝母可拆卸连接，第二升降置物架与第二滑块、第二丝母可拆卸连接，便于第一升降置物架、第二升降置物架的更换。6、作业柜上进水管的设置，方便高纯水的直接使用，简单方便；进水管上喷头的设置，可以先对经过化学试剂处理的芯片进行喷水清洗，然后在使用高纯水浸泡，可以节约水资源，降低成本，还可以提高工作效率。附图说明附图1是本技术的结构示意图。附图2是框架的结构示意图。附图3是附图1中I的局部放大图。附图4是移动置物板的结构示意图。附图中所示标号：1、作业柜；11、进水管；12、喷头；2、酸槽；21、第一升降置物架；22、第一滑轨；23、第一丝杠；24、第一电机；25、第一滑块；26、第一丝母；27、排酸阀；28、框架；29、导向凸块；3、水槽；31、第二升降置物架；32、第二滑轨；33、第二丝杠；34、第二电机；35、第二滑块；36、第二丝母；37、排水阀；4、移动置物板；41、漏液孔；42、导向凹槽；43、凸缘挡板；5、滑动杆；51、滑槽。具体实施方式结合附图和具体实施例，对本技术作进一步说明。应理解，这些实施例仅用于说明本技术而不用于限制本技术的范围。此外应理解，在阅读了本技术讲授的内容之后，本领域技术人员可以对本技术作各种改动或修改，这些等价形式同样落于本申请所限定的范围内。一种新型芯片清洗装置，包括作业柜1，所述作业柜1上设置酸槽2和水槽3。所述酸槽2内设置第一升降置物装置，所述第一升降置物装置包括第一升降置物架21、第一滑轨22和第一丝杠23，所述第一滑轨22竖直设置于靠近水槽3一侧的酸槽2内壁上，所述第一丝杠23与第一滑轨22平行，且位于酸槽2内远离水槽3的一侧，所述第一丝杠23与酸槽2转动连接，所述酸槽2上设置带动第一丝杠23转动的第一电机24，具体的，可以在酸槽2的底部设置下安装座，在酸槽的顶部设置上安装座，第一丝杠23设置在下安装座和上安装座之间，且第一丝杠与下安装座、上安装座转动连接，第一电机24设置在上安装座上，同时第一电机24与第一丝杠23传动连接。所述第一升降置物架21的两侧分别设有与第一滑轨22相适应的第一滑块25和与第一丝杠23相适应的第一丝母26，通过第一电机24的运行带动第一丝杠23转动，从而实现第一丝母26在第一丝杠23上的上下移动，最终带动第一升降置物架21上下移动。所述酸槽2的底部设置排酸阀27，用于排出废液。所述水槽3内设置第二升降置物装置，所述第二升降置物装置包括第二升降置物架31、第二滑轨32和第二丝杠33，所述第二滑轨32竖直设置于靠近酸槽2一侧的水槽3内壁上，所述第二丝杠33与第二滑轨32平行，且位于水槽3内远离酸槽2的一侧，所述第二丝杠33与水槽3转动连接，所述水槽3上设置带动第二丝杠33转动的第二电机34，具体的，可以在水槽3的底部设置下安装座，在水槽的顶部设置上安装座，第二丝杠33设置在下安装座和上安装座之间，且第二丝杠33与下安装座、上安装座转动连接，第二电机34设置在上安装座上，同时第二电机34与第二丝杠33传动连接。所述第二升降置物架31的两侧分别设有与第二滑轨32相适应的第二滑块35和与第二丝杠33相适应的第二丝母36，通过第二电机34的运行带动第二丝杠33转动，从而实现第二丝母36在第二丝杠33上的上下移动，最终带动第二升降置物架31上下移动。所述水槽3的底部设置排水阀37，用于排出废液。还包括移动置物板4和设置在酸槽本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种新型芯片清洗装置，包括作业柜(1)，其特征是：所述作业柜(1)上设置酸槽(2)和水槽(3)，所述酸槽(2)内设置第一升降置物装置，所述第一升降置物装置包括第一升降置物架(21)、第一滑轨(22)和第一丝杠(23)，所述第一滑轨(22)竖直设置于靠近水槽(3)一侧的酸槽(2)内壁上，所述第一丝杠(23)与第一滑轨(22)平行，且位于酸槽(2)内远离水槽(3)的一侧，所述第一丝杠(23)与酸槽(2)转动连接，所述酸槽(2)上设置带动第一丝杠(23)转动的第一电机(24)，所述第一升降置物架(21)的两侧分别设有与第一滑轨(22)相适应的第一滑块(25)和与第一丝杠(23)相适应的第一丝母(26)，所述酸槽(2)的底部设置排酸阀(27)；所述水槽(3)内设置第二升降置物装置，所述第二升降置物装置包括第二升降置物架(31)、第二滑轨(32)和第二丝杠(33)，所述第二滑轨(32)竖直设置于靠近酸槽(2)一侧的水槽(3)内壁上，所述第二丝杠(33)与第二滑轨(32)平行，且位于水槽(3)内远离酸槽(2)的一侧，所述第二丝杠(33)与水槽(3)转动连接，所述水槽(3)上设置带动第二丝杠(33)转动的第二电机(34)，所述第二升降置物架(31)的两侧分别设有与第二滑轨(32)相适应的第二滑块(35)和与第二丝杠(33)相适应的第二丝母(36)，所述水槽(3)的底部设置排水阀(37)；还包括移动置物板(4)和设置在酸槽(2)上的推动装置，所述移动置物板(4)的底部设有漏液孔(41)，当第一升降置物架(21)、第二升降置物架(31)分别上升至酸槽(2)、水槽(3)顶端时，通过推动装置的推动，移动置物板(4)可以由第一升降置物架(21)移动至第二升降置物架(31)上。...

【技术特征摘要】
1.一种新型芯片清洗装置，包括作业柜(1)，其特征是：所述作业柜(1)上设置酸槽(2)和水槽(3)，所述酸槽(2)内设置第一升降置物装置，所述第一升降置物装置包括第一升降置物架(21)、第一滑轨(22)和第一丝杠(23)，所述第一滑轨(22)竖直设置于靠近水槽(3)一侧的酸槽(2)内壁上，所述第一丝杠(23)与第一滑轨(22)平行，且位于酸槽(2)内远离水槽(3)的一侧，所述第一丝杠(23)与酸槽(2)转动连接，所述酸槽(2)上设置带动第一丝杠(23)转动的第一电机(24)，所述第一升降置物架(21)的两侧分别设有与第一滑轨(22)相适应的第一滑块(25)和与第一丝杠(23)相适应的第一丝母(26)，所述酸槽(2)的底部设置排酸阀(27)；所述水槽(3)内设置第二升降置物装置，所述第二升降置物装置包括第二升降置物架(31)、第二滑轨(32)和第二丝杠(33)，所述第二滑轨(32)竖直设置于靠近酸槽(2)一侧的水槽(3)内壁上，所述第二丝杠(33)与第二滑轨(32)平行，且位于水槽(3)内远离酸槽(2)的一侧，所述第二丝杠(33)与水槽(3)转动连接，所述水槽(3)上设置带动第二丝杠(33)转动的第二电机(34)，所述第二升降置物架(31)的两侧分别设有与第二滑轨(32)相适应的第二滑块(35)和与第二丝杠(33)相适应的第二丝母(36)，所述水槽(3)的底部设置排水阀(37)；还包括移动置物板(4)和设置在酸槽(2)上的推...

【专利技术属性】
技术研发人员：邵甜，
申请(专利权)人：邵甜，
类型：新型
国别省市：浙江,33