The invention discloses a reference mirror deflection device, including adjusting bracket, adjusting bracket is arranged around the X axis X axis direction ornaments, the adjustment between the bracket and the X axial deflection member rotatably connected to each other through the rotary mechanism, wherein the adjusting bracket is provided with X axis drive X axial rotation drive motor and ornaments the return spring makes the X axis deflection reduction; the X axial deflection member with axial rotation around the Y Y axis ornaments, between Y and X axial deflection member axial deflection member mutually connected by rotating the rotary mechanism in X is provided with axial deflection member Y axis drive Y axial rotation ornaments driving motor. And the Y axial deflection member reset reset spring, Y axis of the driving motor and the X axis drive motor for linear reciprocating stepping motor, the Y axial deflection member provided with a reference mirror, which can greatly reduce the reference mirror automatically Adjust the structure cost and improve the stability and accuracy of interferometry.
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及干涉测量领域,更具体地说,它涉及一种参考镜偏摆装置。
技术介绍
干涉测量是通过两束相干光之间的相干特性产生的光程差产生的明亮条纹来测量高度数据的一种方法;光通过分光棱镜分为两束光,经过反射参考镜以及样品返回的光之间的光程差形成干涉条纹;而参考镜的角度的调整精度直接决定了测量的准确性及可靠性。但参考镜调节大多是通过手动的方式进行的、而现有自动调节通常采用压电陶瓷调节角度方式,成本较高,且断电后会恢复初始位置;需要时刻进行保持电压。而使用步进电机进行移位的成为了较为可行的一个办法,但步进电机移动的震动和偏移量会导致轴心的偏移、角度调节也并不精确,无法满足实际的使用需求。
技术实现思路
针对现有技术存在的不足,本专利技术的目的在于提供一种参考镜偏摆装置,能够大大降低参考镜自动调节结构成本并提升干涉测量的稳定性和准确性。为实现上述目的,本专利技术提供了如下技术方案:一种参考镜偏摆装置,包括调节支架,调节支架设置绕X轴旋转的X轴向偏摆件,所述调节支架与X轴向偏摆件之间通过旋转机构相互旋转连接,所述的调节支架设有推动X轴向偏摆件转动的X轴驱动电机以及使X轴偏摆复位的复位弹簧;所述的X轴向偏摆件设有绕Y轴旋转的Y轴向偏摆件,Y轴向偏摆件与X轴向偏摆件之间通过旋转机构相互旋转连接,在X轴向偏摆件上设有推动Y轴向偏摆件转动的Y轴驱动电机,以及使Y轴向偏摆件复位的复位弹簧,所述的Y轴驱动电机与X轴驱动电机均为直线往复步进电机,所述Y轴向偏摆件安装有参考镜。通过采用上述技术方案,调节支架上的X轴向偏摆件绕X轴旋转,设置与X轴向偏摆件上的Y轴向偏摆件绕Y轴偏摆,通过X ...
【技术保护点】
一种参考镜偏摆装置,其特征是:包括调节支架,调节支架设置绕X轴旋转的X轴向偏摆件,所述调节支架与X轴向偏摆件之间通过旋转机构相互旋转连接,所述的调节支架设有推动X轴向偏摆件转动的X轴驱动电机以及使X轴偏摆复位的复位弹簧;所述的X轴向偏摆件设有绕Y轴旋转的Y轴向偏摆件,Y轴向偏摆件与X轴向偏摆件之间通过旋转机构相互旋转连接,在X轴向偏摆件上设有推动Y轴向偏摆件转动的Y轴驱动电机,以及使Y轴向偏摆件复位的复位弹簧,所述的Y轴驱动电机与X轴驱动电机均为直线往复步进电机,所述Y轴向偏摆件安装有参考镜。
【技术特征摘要】
1.一种参考镜偏摆装置,其特征是:包括调节支架,调节支架设置绕X轴旋转的X轴向偏摆件,所述调节支架与X轴向偏摆件之间通过旋转机构相互旋转连接,所述的调节支架设有推动X轴向偏摆件转动的X轴驱动电机以及使X轴偏摆复位的复位弹簧;所述的X轴向偏摆件设有绕Y轴旋转的Y轴向偏摆件,Y轴向偏摆件与X轴向偏摆件之间通过旋转机构相互旋转连接,在X轴向偏摆件上设有推动Y轴向偏摆件转动的Y轴驱动电机,以及使Y轴向偏摆件复位的复位弹簧,所述的Y轴驱动电机与X轴驱动电机均为直线往复步进电机,所述Y轴向偏摆件安装有参考镜。2.根据权利要求1所述的参考镜偏摆装置,其特征是:所述的Y轴驱动电机以及X轴驱动电机的主轴端部均固定有套筒,在套筒的端部设置了滚动体。3.根据权利要求1所述的参考镜偏摆装置,其特征是:所述旋转机构包括第一转轴与第二转轴,所述的第一转轴的一端设置有螺帽,另一端设置有螺纹以及与螺纹啮合的锁紧螺母,所述的第一转轴与第二转轴同轴设置,所述的第一转轴或第二转轴通过转轴固定组件与调节支架或X轴向偏摆件固定。4.根据权利要求3所述的参考镜偏摆装置,其特征是:所述第一转轴带螺帽的一端套设有弹性垫片。...
【专利技术属性】
技术研发人员:周其,
申请(专利权)人:深圳市维度科技有限公司,
类型:发明
国别省市:广东;44
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。