【技术实现步骤摘要】
本技术属于靶材制造领域，具体涉及一种靶材生产用的烘干箱。
技术介绍
镀膜靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源。其中基板经过制粉、煅烧、烧结之后，制成基板毛料，基板毛料经过平面磨床抛光打磨之后进行溅射镀膜，目前所采用的烘干箱在使用时，由于箱门与箱体为密封结构，所以烘干时内部气压变化较大，在箱门开启时存在危险。
技术实现思路
本技术为了解决上述现有技术中存在的问题，本技术提供了一种靶材生产用的烘干箱，能够避免烘干箱内外压力差过大，保证烘干箱开启时的安全。本技术采用的具体技术方案是：一种靶材生产用的烘干箱，包括箱体，箱体设置有密封门，密封门与箱体侧边铰接呈转动结构，所述的箱体内还设置有烘干架，箱体内侧壁设置有电热丝，箱体外侧装设有温度表，所述的箱体侧壁设置有缓冲气道，箱体内外侧借助缓冲气道连接相通，缓冲气道套装在降温水箱内，缓冲气道在降温水箱内呈螺旋盘绕设置。所述的缓冲气道的末端还设置有放气阀所述的烘干架借助伸缩滑道安装在箱体内，所述的伸缩滑道包括固定滑道及移动滑道，固定滑道安装固定在箱体底面上，固定滑道呈槽体结构，移动滑道套装在固定滑道内并形成滑动配合，烘干架安装在移动滑道上。所述的箱体侧壁上还设置有压力表。所述的箱体后侧安装有送风筒，送风筒与箱体之间还设置有抽拉挡板，抽拉挡板与箱体的侧壁形成密封配合。<...
【技术保护点】
一种靶材生产用的烘干箱，包括箱体(1)，箱体(1)设置有密封门(2)，密封门(2)与箱体(1)侧边铰接呈转动结构，所述的箱体(1)内还设置有烘干架，箱体(1)内侧壁设置有电热丝，箱体(1)外侧装设有温度表(3)，其特征在于：所述的箱体(1)侧壁设置有缓冲气道(4)，箱体(1)内外侧借助缓冲气道(4)连接相通，缓冲气道(4)套装在降温水箱(5)内，缓冲气道(4)在降温水箱(5)内呈螺旋盘绕设置。
【技术特征摘要】
1.一种靶材生产用的烘干箱，包括箱体(1)，箱体(1)设置有密封门(2)，密封门(2)与箱体(1)侧边铰接呈转动结构，所述的箱体(1)内还设置有烘干架，箱体(1)内侧壁设置有电热丝，箱体(1)外侧装设有温度表(3)，其特征在于：所述的箱体(1)侧壁设置有缓冲气道(4)，箱体(1)内外侧借助缓冲气道(4)连接相通，缓冲气道(4)套装在降温水箱(5)内，缓冲气道(4)在降温水箱(5)内呈螺旋盘绕设置。
2.根据权利要求1所述的一种靶材生产用的烘干箱，其特征在于：所述的缓冲气道(4)的末端还设置有放气阀(6)。
3.根据权利要求1所述的一种靶材生产用的烘干箱，其特征在于：所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：崔娜，朱辉，闫丽娜，张卫，康林杰，郄奕，
申请(专利权)人：河北东同光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：河北;13
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