一种He-Ne精校准方法技术

本发明专利技术公开一种He-Ne的精校准方法，属于固体激光技术领域。本发明专利技术在借助小孔光阑标定泵浦光路，对He-Ne激光器进行初步校准的基础上，利用平-平腔对参考光的位置偏差不敏感而对参考光的传播角度敏感的特性，将He-Ne激光的对准偏差分离为角度偏差和位置偏差，利用平-平腔和平-凹腔对He-Ne角度和位置分别校准，从而实现He-Ne的精校准，获得与泵浦光路严格共路的参考He-Ne光束。本发明专利技术的有益效果是：采用腔最优化的方法，分别对He-Ne的位置和角度进行调整，达到精校准的状态。可以为谐振腔的调节提供高精度的参考光路，极大缩短谐振腔调节时间，提高调节效率。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及固体激光器领域，特别涉及一种He-Ne精校准方法。技术背景半导体泵浦全固态激光器（DPSS）自从与20世纪80年代末出现以来，因其具有转换效率高、增益介质内热负荷密度低，功率提升空间大、系统寿命长、可靠性好等方面的应用优势，迅速成为激光器发展的主流方向。目前，它已经逐渐渗透到工业、科研、军事等领域的方方面面，例如：激光通讯和光存储、材料加工（焊接、切割、退火、钻孔等等）与光刻、仪表与传感、激光光谱学、激光诱导核聚变及军用激光制导、激光对抗等。半导体泵浦全固态激光器在这些领域的成功应用，极大的推动了相应产业的发展和技术革新。作为DPSS的核心组件，激光谐振腔的调节是搭建半导体泵浦固态激光器的核心部分。无论是输入镜、增益介质、输出镜均需要严格与光轴垂直，且泵浦光路也需要与激光光路最大限度的匹配才能实现最佳的激光性能。由于作为泵浦源的半导体激光阵列出射的光斑通常具有较大的尺寸，在泵浦增益介质时需要有效聚焦，因此泵浦光通常具有较大的发散角，在很短距离内即发散至较大光斑，不能用来校准谐振腔的腔镜。通常采用的做法是设置一束He-Ne激光作为参考本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种He‑Ne的精校准方法，半导体泵浦源（1）出射的泵浦光经泵浦聚焦系统（2）聚焦后，进入增益介质（3），校准He‑Ne光使得与泵浦光精确共路；其特征在于，包括以下步骤：步骤1：在泵浦聚焦系统（2）后设置两个小孔光阑（8）、（9），每一个小孔光阑标定对应位置处泵浦光的中心点，调整He‑Ne激光器（7）的位置与角度使其出射光束同时经过两个小孔光阑（8）、（9），实现与泵浦光的反向共路，初步校准He‑Ne激光器（7）；步骤2：以步骤1所确定的He‑Ne激光器（7）的光路为参考光路，搭建平‑平腔，平‑平腔由平面输入镜（4）和平面输出镜（5）组成，调节平面输入镜（4）和平面输出镜（5）的角度使出射激光...

【技术特征摘要】
1.一种He-Ne的精校准方法，半导体泵浦源（1）出射的泵浦光经泵浦聚焦系统（2）聚焦后，进入增益介质（3），校准He-Ne光使得与泵浦光精确共路；其特征在于，包括以下步骤：
步骤1：在泵浦聚焦系统（2）后设置两个小孔光阑（8）、（9），每一个小孔光阑标定对应位置处泵浦光的中心点，调整He-Ne激光器（7）的位置与角度使其出射光束同时经过两个小孔光阑（8）、（9），实现与泵浦光的反向共路，初步校准He-Ne激光器（7）；
步骤2：以步骤1所确定的He-Ne激光器（7）的光路为参考光路，搭建平-平腔，平-平腔由平面输入镜（4）和平面输出镜（5）组成，调节平面输入镜（4）和平面输出镜（5）的角度使出射激光功率达到最大；以此时的平面输出镜（5）为基准，对He-Ne激光器（7）的角度进行精校准；
步骤3：以上述两步确定的光路为参考光路，用平凹输出镜（6）替换平面输出镜（5），搭建平-凹腔；保持平凹输出镜（6）的角度不变，调节凹面镜的位置使其出射功率最大化；以此时的平凹输出镜（6）为基准，对He-Ne激光器（7）的位置进行精校准。
2.根据权利要求1所述的一种He-Ne精校准方法，其特征在于：所述的步骤1中调整He-Ne激光器（7）的位置与角度需根据小孔光阑（9）调节其位置，根据小孔光阑（8）调节其角度，并反复多次直到其出射光束同时经过两个小孔光阑（8）、（9）。
3.根据权利要求1所述的一种He-Ne精校准方法，其特征在于：所述步骤2中，依次调节平面输入镜（4）和平面输出镜（5）的角度并反复多次，将腔调节到功率...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘翩，黄海涛，刘玄，金琳，陈浩，沈德元，
申请(专利权)人：江苏师范大学，
类型：发明
国别省市：江苏;32