一种硅料生产用坩埚装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术创造提供了一种硅料生产用坩埚装置，包括石墨坩埚、石英坩埚和阻气环，所述石英坩埚设置在石墨坩埚内，该石英坩埚顶部高出石墨坩埚，该石英坩埚锅帮和石墨坩埚锅帮间存在间隙，在该间隙内设有支撑结构，所述支撑结构设有和外界相通的气道，所述阻气环套装在石英坩埚顶部外侧，该阻气环底面和石墨坩埚顶面间留有排气空间。本实用新型专利技术创造所述的一种硅料生产用坩埚装置中，在石英坩埚锅帮和石墨坩埚锅帮间设置了支撑结构，支撑结构设有和外界相通的气道，一方面减少了石英坩埚埚帮与石墨坩埚埚帮的接触面积，进而较少了CO的产生量；同时改变了生产过程中CO气流的流向，减少其进入硅液的几率，最终达到降低单晶硅中碳含量的目的，降碳效果明显。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术创造属于硅生产领域，尤其是涉及一种硅料生产用坩埚装置。
技术介绍
直拉单晶硅的制备是在单晶炉中使用石墨加热器将硅原料熔化，采用直拉法将熔体硅生长为单晶硅的过程。为防止外界对硅料的污染，采用高纯石英坩埚作为装硅料的器具，其外部为石墨埚帮做为支撑，生产中，硅料熔点1420℃，在此高温下石墨与石英发生反应，其化学反应有：SiO2+2C＝SiC+CO2↑CO2↑+C＝2CO↑，部分CO会熔入硅液中随单晶硅的生长进入单晶硅中，导致单晶硅中碳含量升高，因此影响单晶硅的质量。
技术实现思路
有鉴于此，本专利技术创造旨在提出一种硅料生产用坩埚装置，以解决现在硅生产中CO进入硅液中影响硅的结晶质量的问题。为达到上述目的，本专利技术创造的技术方案是这样实现的：一种硅料生产用坩埚装置，包括石墨坩埚、石英坩埚和阻气环，所述石英坩埚设置在石墨坩埚内，该石英坩埚顶部高出石墨坩埚顶部，该石英坩埚锅帮和石墨坩埚锅帮间存在间隙，在该间隙内设有支撑结构，所述石墨坩埚锅帮和石英坩埚锅帮通过支撑结构连接，所述支撑结构设有和外界相通的气道，所述阻气环套装在石英坩埚顶部外侧，该阻气环和石英坩埚在连接处密封连接，所述阻气本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种硅料生产用坩埚装置，其特征在于：包括石墨坩埚(1)、石英坩埚(2)和阻气环(3)，所述石英坩埚(2)设置在石墨坩埚(1)内，该石英坩埚(2)顶部高出石墨坩埚(1)顶部，该石英坩埚锅帮(21)和石墨坩埚锅帮(11)间存在间隙，在该间隙内设有支撑结构，所述石墨坩埚锅帮(11)和石英坩埚锅帮(21)通过支撑结构连接，所述支撑结构设有和外界相通的气道(4)，所述阻气环(3)套装在石英坩埚(2)顶部外侧，该阻气环(3)和石英坩埚(2)在连接处密封连接，所述阻气环(3)外径大于石墨坩埚(1)顶部内径，该阻气环(3)底面和石墨坩埚(1)顶面间留有排气空间。

【技术特征摘要】
1.一种硅料生产用坩埚装置，其特征在于：包括石墨坩埚(1)、石英坩埚(2)和阻气环(3)，所述石英坩埚(2)设置在石墨坩埚(1)内，该石英坩埚(2)顶部高出石墨坩埚(1)顶部，该石英坩埚锅帮(21)和石墨坩埚锅帮(11)间存在间隙，在该间隙内设有支撑结构，所述石墨坩埚锅帮(11)和石英坩埚锅帮(21)通过支撑结构连接，所述支撑结构设有和外界相通的气道(4)，所述阻气环(3)套装在石英坩埚(2)顶部外侧，该阻气环(3)和石英坩埚(2)在连接处密封连接，所述阻气环(3)外径大于石墨坩埚(1)顶部内径，该阻气环(3)底面和石墨坩埚(1)顶面间留有排气空间。2.根据权利要求1所述的一种硅料生产用坩埚装置，其特征在于：石英坩埚锅帮(21)和石墨坩埚锅帮(11)间间隙为3-10mm。3.根据权利要求1所述的一种硅料生产用坩埚装置，其特征在于：所述阻气环(3)底面和石墨坩埚(1)顶面间距离为5-30mm。4.根据权利要求1所述的一种硅料生产用坩埚装置，其特征在于：所述石英坩埚锅帮(21...

【专利技术属性】
技术研发人员：王军磊，
申请(专利权)人：内蒙古中环光伏材料有限公司，
类型：新型
国别省市：内蒙古;15