用于真空处理单元的闸室设备及其操作方法技术

本发明专利技术涉及一种多级闸室设备，具有至少两个、优选的是两个或三个闸室、主要用于排空第一闸室的第一泵组（Ｐ１）和主要用于排空第二闸室的第二泵组（Ｐ２、Ｐ３），第一泵组（Ｐ１）可以排空第一和第二闸室、或将二者共同排空，第一泵组还可用作第二泵组的前置泵站。预见到集成第三泵组（Ｐ４），其可用作第二泵组和／或第一泵组的前置抽吸站。或者，提供至少一个缓冲单元，其缓冲体积用来利用压强平衡在闸室内部产生压强的迅速减小。有可能根据不同闸室的需要，在可变的基础上调整所有泵组的抽吸容量，以便分别获得缩短的时钟周期或循环时间，或者在进气或出气过程的给定时钟周期或循环时间处降低通过压强。

Lock chamber device for vacuum treatment unit and its operating method

The invention relates to a multi chamber device, has at least two, preferably two or three chambers, mainly for the first pump group first emptying chamber (P1) and is mainly used for second pump emptying second chamber (P2, P3), the first pump group (P1) can be evacuated first and second chamber or, the two common emptying, first pump group can be used as a pre pump second pump group. It is foreseen that the integrated third pump unit (P4) can be used as the pre suction station of the second pump group and / or the first pump group. Or, at least one buffer unit, the buffer volume decreases rapidly to produce pressure in the internal chamber with pressure balance. May according to the needs of different chamber, adjust all pumps suction capacity on a variable basis, so as to shorten respectively clock cycle and cycle time, or in the intake or outlet of a given clock cycle or cycle time decreases by pressure.

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种分别根据权利要求1和14的前序部分的闸室(lockchamber)设备，并且涉及一种用于操作多级闸室设备的方法。
技术介绍
例如，在真空涂覆厂内，在高真空条件下，以在5×10-4hPa到1×10-2hPa范围内，特别是在3×10-3hPa范围内的压强来涂覆玻璃板，以进行溅射处理。为了增大工厂的生产率数字(figure)以及避免必须为每个基板抽空整个装置特别是高真空部件，将充入(load)和排放(unload)闸(lock)用于基板。为了提高材料流动速率(flux rate)并增大生产率数字，在现代化的联机(in-line)涂覆厂内，使用分离的充入和排放闸室。简单的所谓三室涂覆单元由充入闸和排放闸组成，其中，在充入闸中，将基板从大气压强抽吸为后续真空涂覆部件(过程室)的例如P＝5E-2hPa的足够的转换压强(transition pressure)，在排放闸中，通过通气(ventilation)，所述基板被再次调整为大气压强的等级。闸室的任务是尽可能快地排空(evacuate)到处理范围内的足够且最低的可能的转变压强。虽然通气可以在几秒内发生而不使用泵，但是出于排本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于真空处理厂、特别是连续操作的联机玻璃涂覆厂的闸室设备，其具有：至少两个、优选的是两个或三个按顺序布置的闸室（ＥＫ１、ＥＫ２），用于执行两级或多级压强平衡过程；第一泵组（Ｐ１），用于排空第一闸室；以及第二泵组（Ｐ２、Ｐ３），用于排空第二闸室，其特征在于，所述第一泵组（Ｐ１）通过可封闭的管道（１、２）与第一（ＥＫ１）和第二（ＥＫ２）闸室连接，使得第一泵组可以排空第一或第二或全部闸室。

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员：托马斯格布尔，于尔根亨里希，曼弗雷德韦曼，
申请(专利权)人：应用材料两合公司，
类型：发明
国别省市：DE[德国]