一种蓝宝石窗口片碱性清洗工艺制造技术

本发明专利技术提供的一种蓝宝石窗口片碱性清洗工艺，先通过切割、研磨、抛光将蓝宝石工件制成双面抛光蓝宝石薄片，然后在对双面抛光蓝宝石薄片进行最终清洗，步骤简单，制备方便，整个清洗过程包括利用两次弱碱性环保清洗剂与五次超纯水进行清洗，较原有的清洗工艺而言，利用碱性清洗工艺进行清洗，更加环保、晶片洁净度好、安全性高，同时成本较低，及安全又环保。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及蓝宝石
，特别是涉及一种蓝宝石窗口片碱性清洗工艺。
技术介绍
蓝宝石晶体具有优良的光学性能、物理性能和稳定的化学性能，广泛应用于高亮度LED衬底材料、各种光学元器件、扫描仪窗口材料。蓝宝石窗口片用于光学窗口领域具有以下几个优良特征：1.高光学透射率，蓝宝石晶体有很好的透光性能，其透光范围为0.15～7.5微米，覆盖了紫外、可见、近红外、中红外等波段；2.高耐磨性，膨胀系数仅为5X10-6/度，熔点为2050°C，工作温度可达1900°C，具有优秀的耐热冲击和耐高温性能；3.很好的机械性能，其硬度可达莫氏9级，同时还有很好的抗压强度、压缩强度和弯曲强度，同时具有抗电磁干扰、电磁兼容性能，抗辐射性能、电绝缘性能。随着蓝宝石窗口片应用领域的发展，对蓝宝石产品规格种类越来越多，在蓝宝石加工过程中，晶片清洗大多采用硫酸清洗工艺，其化学危险性高，清洗过程中产生的硫不利于环保。
技术实现思路
本专利技术所要解决的问题是提供一种蓝宝石窗口片碱性清洗工艺，解决在蓝宝石加工过程中，晶片清洗大多采用硫酸清洗工艺，其化学危险性高，清洗过程中产生的硫不利于环保的问题。为解决以上问题本专利技术本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种蓝宝石窗口片碱性清洗工艺，其特征为，清洗工艺如下：（1）制片：先通过切割、研磨与抛光将蓝宝石工件制成双面抛光蓝宝石薄片，其中双面抛光蓝宝石薄片的厚度为0.5‑0.8mm；（2）第一次清洗：将所制成的双面抛光蓝宝石薄片放入第一弱碱性环保清洗剂清洗槽中进行清洗，清洗时间为20‑30min，每分钟上下抛动20‑40次，第一弱碱性环保清洗剂清洗槽内的温度为60℃‑80℃；（3）第二次清洗：将清洗后的双面抛光蓝宝石薄片放入第一超纯水清洗槽中进行清洗，清洗时间为15‑45min，每分钟上下抛动10‑30次，第一超纯水清洗槽内的温度为50℃‑90℃；（4）第三次清洗：将清洗后的双面抛光蓝宝石薄片放入第二...

【技术特征摘要】
1.一种蓝宝石窗口片碱性清洗工艺，其特征为，清洗工艺如下：（1）制片：先通过切割、研磨与抛光将蓝宝石工件制成双面抛光蓝宝石薄片，其中双面抛光蓝宝石薄片的厚度为0.5-0.8mm；（2）第一次清洗：将所制成的双面抛光蓝宝石薄片放入第一弱碱性环保清洗剂清洗槽中进行清洗，清洗时间为20-30min，每分钟上下抛动20-40次，第一弱碱性环保清洗剂清洗槽内的温度为60℃-80℃；（3）第二次清洗：将清洗后的双面抛光蓝宝石薄片放入第一超纯水清洗槽中进行清洗，清洗时间为15-45min，每分钟上下抛动10-30次，第一超纯水清洗槽内的温度为50℃-90℃；（4）第三次清洗：将清洗后的双面抛光蓝宝石薄片放入第二弱碱性环保清洗剂清洗槽中进行清洗，清洗时间为10-30min，每分钟上下抛动15-45次，第二弱碱性环保清洗剂清洗槽中进行清洗的温度为55℃-85℃；（5）第四次清洗：将清洗后的双面抛光蓝宝石薄片放入第二超纯水清洗槽中进行清洗，清洗时间为20-30min，每分钟上下抛动1...

【专利技术属性】
技术研发人员：胡孔林，孙敦陆，
申请(专利权)人：江苏吉星新材料有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32