【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种节约冲洗体积的过滤装置。
技术介绍
随着半导体制程精度的提升，对化学品洁净度的要求也越来越高。为了去除电子化学品液体中的极微量的颗粒，过滤是最常用的方法。根据过滤处理的等级，需要选择不同精度的滤芯，处理等级越精细，滤芯的有效孔径就越小，液体经过滤芯的阻力就越大。在间歇生产时，一般情况下都需要先排放掉少量液体，用于冲洗管道、阀门、过滤器等，减少污染风险。当液体经过过滤器时，由于滤芯的阻力导致液体压力下降，冲洗效果也因此而降低。增加冲洗体积虽然可以增进冲洗效果，但要达到理想的冲洗效果，往往要消耗数倍于过滤器内容积的液体物料，带来制造成本的增加。而且半导体化学品普遍具有一定毒性，溶剂类还具有易燃、易爆等危险性，增加冲洗体积还会带来安全、环境等关联问题。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种具有冲洗消耗物料少，清洗效果优异等特点的节约冲洗体积的过滤装置。本技术的技术方案是，一种节约冲洗体积的过滤装置，包括过滤器、滤芯以及氮气管道，所述滤芯设置于过滤器内部，所述氮气管道设置于过滤器顶部，所述过滤器侧边设置有进液口，所述过滤器底部通过第一三通管连接有出料口和排液阀，所述过滤器顶部的开口端上设置有排气管，所述排气管上还设置有第二三通管和排气阀，所述氮气管道通过氮气软管设置于排气管上，所述氮气软管通过快速接头设置于第二三通管上。在本技术一个较佳实施例中，所述进液口上设置有进料阀。在本技术一个较佳实施例中，所述出料口上设置有出料阀。在本技术一个较佳实施例中，所述过滤器顶部的开口端上还设置有压力表。在本技术一个较佳实施例中，所述氮气管道与氮气软管之间还依次设置有氮气...
【技术保护点】
一种节约冲洗体积的过滤装置，包括过滤器、滤芯以及氮气管道，所述滤芯设置于过滤器内部，所述氮气管道设置于过滤器顶部，其特征在于：所述过滤器侧边设置有进液口，所述过滤器底部通过第一三通管连接有出料口和排液阀，所述过滤器顶部的开口端上设置有排气管，所述排气管上还设置有第二三通管和排气阀，所述氮气管道通过氮气软管设置于排气管上，所述氮气软管通过快速接头设置于第二三通管上。
【技术特征摘要】
1.一种节约冲洗体积的过滤装置，包括过滤器、滤芯以及氮气管道，所述滤芯设置于过滤器内部，所述氮气管道设置于过滤器顶部，其特征在于：所述过滤器侧边设置有进液口，所述过滤器底部通过第一三通管连接有出料口和排液阀，所述过滤器顶部的开口端上设置有排气管，所述排气管上还设置有第二三通管和排气阀，所述氮气管道通过氮气软管设置于排气管上，所述氮气软管通过快速接头设置于第二三通管上。2.根据权利要求1...
【专利技术属性】
技术研发人员：江磊，许良锐，金旭，
申请(专利权)人：富士胶片电子材料苏州有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32
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