一种光谱仪制造技术

本实用新型专利技术公开了一种光谱仪，包括入射光学单元、入射狭缝、对入射光进行色散的色散单元、用于接收色散光的阵列探测器；还包括宽波段探测器，所述宽波段探测器接收经色散单元衍射形成的零级次光束。通过对色散零级次光束的利用，不仅在一定程度上降低了光谱仪内部杂散光的水平，还进一步提高了光谱仪的测量精度。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于光辐射测量领域，具体涉及一种光谱仪。
技术介绍
现有的快速光谱仪(也称列阵光谱仪)一般由入射光学单元、入射狭缝、色散单元、成像单元和阵列探测器构成，结构如图1所示，光束经过入射光学单元从入射狭缝进入光谱仪内部，经色散单元将不同波长的色散光投射至阵列探测器的光敏面上，以实现光谱功率分布的测量。根据多缝衍射效应可知，光栅的零级次衍射光不发生色散，也称零级次光束，光谱仪的探测器实际测量的是光栅发生色散的非零级次衍射光谱，一般为一次衍射光。在现有技术中，零级次光束往往都被认为是光谱仪杂散光的重要来源之一，一直处于被“消灭”的负面地位，从来没有被得到有效利用。常见的做法有在常规的光学腔的腔体上涂覆黑色或低反射率的涂层，或者在零级次光束会聚处设置消光阱将此部分光束吸收。与此同时，快速光谱仪因采用了阵列型探测器，如CCD等，虽然灵敏度较高，但是大动态线性范围一般还是不及硅光电池好。
技术实现思路
针对上述技术问题，本专利技术克服了现有技术中对光栅衍射零级次光束的技术“偏见”，变废为宝，利用零级次光束中包含的光学信息对光谱仪的阵列探测器线性做校正，进一步提高光谱仪的测量准确度本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种光谱仪，包括入射狭缝、色散单元(1)、用于接收色散光的阵列探测器(2)，其特征在于，还包括宽波段探测器(3)，被测光束经过入射狭缝后由色散单元(1)分光，其中分光形成的非零级次光谱投射至阵列探测器(2)的光电转换元件上以实现光谱功率分布的测量，而分光形成的零级次光束则被宽波段探测器(3)接收。

【技术特征摘要】
1.一种光谱仪，包括入射狭缝、色散单元(1)、用于接收色散光的阵列探测器(2)，其特征在于，还包括宽波段探测器(3)，被测光束经过入射狭缝后由色散单元(1)分光，其中分光形成的非零级次光谱投射至阵列探测器(2)的光电转换元件上以实现光谱功率分布的测量，而分光形成的零级次光束则被宽波段探测器(3)接收。2.如权利要求1所述的光谱仪，其特征在于，所述宽波段探测器(3)的光电转换元件为光电池或者光电二极管。3.如权利要求1或2所述的光谱仪，其特征在于，所述宽波段探测器(3)的光电转换元件前...

【专利技术属性】
技术研发人员：潘建根，
申请(专利权)人：杭州远方光电信息股份有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江;33