一种运动平台及光路安装调节的装置和方法制造方法及图纸

本发明专利技术属于光学技术领域，公开了一种运动平台及光路安装调节的装置和方法，其中，装置包括：基准器件、运动平台、调节件、螺纹副、固定件、第一反射镜、第二反射镜、第三反射镜、第四反射镜；方法为：固定基准器件；在基准器件的下方放置运动平台；通过样品台沿旋转轴和直线轴的运动，结合样品台上的特征点在CCD中的成像，以基准点为参照物进行判断，通过调节螺纹副推进调节件，实现对运动平台安装位置的调节；通过样品台沿Z轴方向上下移动，结合入射光束在CCD中的成像，以基准点为参照物进行判断，通过调节反射镜实现对光路进行调节。本发明专利技术实现了运动平台及光路安装位置的精细调节。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及光学
，尤其涉及一种运动平台及光路安装调节的装置和方法。
技术介绍
要保证运动平台能够实现周期可调结构光合成并保证搭载被测样片沿结构光垂直方向运动，首先需要保证运动平台和光路中的光束方向之间的相对位置是能够被观测和调节的，其次要保证运动平台在动态移动过程中的方向和光路之间几何关系的精度，这些均为运动平台的安装增加了难度，使得系统搭建以及仪器装调中运动平台的放置安装成为重点及难点。
技术实现思路
本申请实施例通过提供一种运动平台及光路安装调节的装置和方法，实现了运动平台及光路安装位置的精细调节，确保了运动平台直线轴的运动方向与入射平面相垂直，同时确保了入射光束在同一平面中，且该平面垂直于样品表面。本申请实施例提供一种运动平台及光路安装调节的装置，包括：基准器件，所述基准器件内置连接CCD；运动平台，所述运动平台位于所述基准器件的下方；所述运动平台包括样品台；所述样品台为圆形；其中，所述样品台可以沿直线轴运动，所述直线轴经过所述样品台的圆心并平行于所述运动平台的长轴方向；所述样品台可以沿旋转轴运动；所述样品台可以沿Z轴方向上下移动；调节件，所述调节件位于所述运动平台的长轴的两侧；螺纹副，所述螺纹副位于所述调节件的远离所述运动平台的一侧，所述螺纹副推动所述调节件对所述运动平台的安装位置进行调节；固定件，所述固定件锁紧所述运动平台；第一反射镜，所述第一反射镜接收第一入射光束；第二反射镜，所述第二反射镜接收经过所述第一反射镜反射后的所述第一入射光束，并将所述第一入射光束反射至所述样品台上；第三反射镜，所述第三反射镜接收第二入射光束；第四反射镜，所述第四反射镜接收经过所述第三反射镜反射后的所述第二入射光束，并将所述第二入射光束反射至所述样品台上。优选的，所述螺纹副的最小位移为0.4um。优选的，所述螺纹副的最小调节角度为0.15arcsec。优选的，所述第一反射镜、所述第二反射镜、所述第三反射镜、所述第四反射镜的最小进给量为7nm。优选的，所述第一入射光束、所述第二入射光束照射至所述样品台上的光斑位置调节精度为100nm。本申请的另一方面，提供一种运动平台及光路安装调节的方法，固定基准器件；所述基准器件内置连接CCD；所述基准器件的基准轴在所述CCD上的成像点为基准点，所述基准点位于所述CCD成像的中心；在所述基准器件的下方放置运动平台；所述运动平台包括样品台；所述样品台可以沿直线轴运动，所述直线轴经过所述样品台的圆心并平行于所述运动平台的长轴方向；所述样品台可以沿旋转轴运动；所述样品台可以沿Z轴方向上下移动；所述运动平台的长轴的两侧设置有调节件；所述调节件的远离所述运动平台的一侧设置有螺纹副；通过所述样品台沿所述旋转轴和沿所述直线轴的运动，结合所述样品台上的特征点在所述CCD中的成像，以所述基准点为参照物进行判断，通过交替反复地调节所述螺纹副来推进所述调节件，实现对所述运动平台的安装位置的调节，调节完成后通过固定件锁紧所述运动平台；通过所述样品台沿Z轴方向上下移动，结合入射光束在所述CCD中的成像，以所述基准点为参照物进行判断，通过调节反射镜实现对所述光路的调节，调节完成后锁定所述反射镜。优选的，所述特征点位于第一样片上，所述样品台搭载所述第一样片，所述特征点的连线是通过所述样品台圆心的直线；所述样品台沿所述旋转轴运动，使得所述样品台上的所述特征点的连线与所述运动平台直线轴的方向平行；所述样品台沿所述直线轴运动，同时观察所述特征点在所述CCD上的成像，通过交替反复调节所述螺纹副，使所述特征点依次通过所述基准点。优选的，所述入射光束包括第一入射光束和第二入射光束；所述反射镜包括第一反射镜、第二反射镜、第三反射镜、第四反射镜。优选的，所述样品台搭载第二样片，所述第二样片包含至少一条直线；所述直线平行于所述运动平台的短轴，并在CCD成像中通过所述基准点；所述第一入射光束经所述第一反射镜和所述第二反射镜反射后，照射至所述样品台上；所述样品台带着所述第二样片沿Z轴方向上下移动；通过反复调节所述第一反射镜和所述第二反射镜，使所述第一入射光束在所述CCD上的成像点始终沿着所述第二样片上的所述直线移动。优选的，所述样品台搭载第二样片，所述第二样片包含至少一条直线；所述直线平行于所述运动平台的短轴，并在CCD成像中通过所述基准点；所述第二入射光束经所述第三反射镜和所述第四反射镜反射后，照射至所述样品台上；所述样品台带着所述第二样片沿Z轴方向上下移动；通过反复调节所述第三反射镜和所述第四反射镜，使所述第二入射光束在所述CCD上的成像点始终沿着所述第二样片上的所述直线移动。本申请实施例中提供的一个或多个技术方案，至少具有如下技术效果或优点：在本申请实施例中，提供的一种运动平台及光路安装调节的装置和方法能够保证运动平台和几何光路中的光束方向之间的相对位置是能够被观测和调节的。进一步的，在本申请实施例中，提供的一种运动平台及光路安装调节的装置和方法能够快速、精准地调节好运动平台以及光路的相对位置。进一步的，在本申请实施例中，提供的一种运动平台及光路安装调节的装置和方法能够方便快捷地监测、调节两个入射光束是否共面。附图说明为了更清楚地说明本实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作一简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本专利技术的一个实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本专利技术实施例提供的一种运动平台及光路安装调节的装置的结构图。其中，10-基准器件、20-运动平台、21-样品台、30-调节件、40-螺纹副、50-固定件、60-第一反射镜、70-第二反射镜、80-第三反射镜、90-第四反射镜。具体实施方式本申请实施例通过提供一种运动平台及光路安装调节的装置和方法，实现了运动平台及光路安装位置的精细调节，确保了运动平台直线轴的运动方向与入射平面相垂直，同时确保了入射光束在同一平面中，且该平面垂直于样品表面。本申请实施例的技术方案为解决上述技术问题，总体思路如下：一种运动平台及光路安装调节的装置，包括：基准器件，所述基准器件内置连接CCD；CCD为电荷耦合元件；运动平台，所述运动平台位于所述基准器件的下方；所述运动平台包括样品台；所述样品台为圆形；其中，所述样品台可以沿直线轴运动，所述直线轴经过所述样品台的圆心并平行于所述运动平台的长轴方向；所述样品台可以沿旋转轴运动；所述样品台可以沿Z轴方向上下移动；调节件，所述调节件位于所述运动平台的长轴的两侧；螺纹副，所述螺纹副位于所述调节件的远离所述运动平台的一侧，所述螺纹副推动所述调节件对所述运动平台的安装位置进行调节；固定件，所述固定件锁紧所述运动平台；第一反射镜，所述第一反射镜接收第一入射光束；第二反射镜，所述第二反射镜接收经过所述第一反射镜反射后的所述第一入射光束，并将所述第一入射光束反射至所述样品台上；第三反射镜，所述第三反射镜接收第二入射光束；第四反射镜，所述第四反射镜接收经过所述第三反射镜反射后的所述第二入射光束，并将所述第二入射光束反射至所述样品台上。本申请的另一方面，提供一种运动平台及光路安装调节的方法，固定基准器件；所述基准器件内置连接CCD；所述基准器件的基准轴在所述C本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种运动平台及光路安装调节的装置，其特征在于，包括：基准器件，所述基准器件内置连接CCD；运动平台，所述运动平台位于所述基准器件的下方；所述运动平台包括样品台；所述样品台为圆形；其中，所述样品台可以沿直线轴运动，所述直线轴经过所述样品台的圆心并平行于所述运动平台的长轴方向；所述样品台可以沿旋转轴运动；所述样品台可以沿Z轴方向上下移动；调节件，所述调节件位于所述运动平台的长轴的两侧；螺纹副，所述螺纹副位于所述调节件的远离所述运动平台的一侧，所述螺纹副推动所述调节件对所述运动平台的安装位置进行调节；固定件，所述固定件锁紧所述运动平台；第一反射镜，所述第一反射镜接收第一入射光束；第二反射镜，所述第二反射镜接收经过所述第一反射镜反射后的所述第一入射光束，并将所述第一入射光束反射至所述样品台上；第三反射镜，所述第三反射镜接收第二入射光束；第四反射镜，所述第四反射镜接收经过所述第三反射镜反射后的所述第二入射光束，并将所述第二入射光束反射至所述样品台上。

【技术特征摘要】
1.一种运动平台及光路安装调节的装置，其特征在于，包括：基准器件，所述基准器件内置连接CCD；运动平台，所述运动平台位于所述基准器件的下方；所述运动平台包括样品台；所述样品台为圆形；其中，所述样品台可以沿直线轴运动，所述直线轴经过所述样品台的圆心并平行于所述运动平台的长轴方向；所述样品台可以沿旋转轴运动；所述样品台可以沿Z轴方向上下移动；调节件，所述调节件位于所述运动平台的长轴的两侧；螺纹副，所述螺纹副位于所述调节件的远离所述运动平台的一侧，所述螺纹副推动所述调节件对所述运动平台的安装位置进行调节；固定件，所述固定件锁紧所述运动平台；第一反射镜，所述第一反射镜接收第一入射光束；第二反射镜，所述第二反射镜接收经过所述第一反射镜反射后的所述第一入射光束，并将所述第一入射光束反射至所述样品台上；第三反射镜，所述第三反射镜接收第二入射光束；第四反射镜，所述第四反射镜接收经过所述第三反射镜反射后的所述第二入射光束，并将所述第二入射光束反射至所述样品台上。2.如权利要求1所述的运动平台及光路安装调节的装置，其特征在于，所述螺纹副的最小位移为0.4um。3.如权利要求1所述的晶圆检测装置中运动平台及光路安装调节的装置，其特征在于，所述螺纹副的最小调节角度为0.15arcsec。4.如权利要求1所述的运动平台及光路安装调节的装置，其特征在于，所述第一反射镜、所述第二反射镜、所述第三反射镜、所述第四反射镜的最小进给量为7nm。5.如权利要求1所述的运动平台及光路安装调节的装置，其特征在于，所述第一入射光束、所述第二入射光束照射至所述样品台上的光斑位置调节精度为100nm。6.一种运动平台及光路安装调节的方法，其特征在于，固定基准器件；所述基准器件内置连接CCD；所述基准器件的基准轴在所述CCD上的成像点为基准点，所述基准点位于所述CCD成像的中心；在所述基准器件的下方放置运动平台；所述运动平台包括样品台；所述样品台可以沿直线轴运动，所述直线轴经过所述样品台的圆心并平行于所述运动平台的长轴方向；所述样品台可以沿旋转轴运动；所述样品台可以沿Z轴方向上下移动；所述运动平台的长轴的两侧设置有调节件；所述调节件的远离所述运动平台的一侧...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈鲁，张朝前，刘虹遥，杨乐，马砚忠，路鑫超，
申请(专利权)人：中国科学院嘉兴微电子仪器与设备工程中心，
类型：发明
国别省市：浙江;33