【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及功率超声键合领域,尤其是涉及一种粗铝丝键合超声换能器。
技术介绍
引线键合是半导体封装中芯片内部连线的主要技术。在现代的引线键合机里,超声系统作为键合设备的核心部件,对键合质量起着至关重要的作用。超声系统由超声发生器、超声换能器和键合工具组成,其中超声发生器负责产生超声频率的电信号,超声换能器负责电能到机械能的转换,键合工具负责固定引线、拉线弧、传递压力和超声能量等作用。在引线键合过程中,引线在热量、压力和超声能量的共同作用下,与焊盘金属发生原子间相互扩散达到键合的目的。引线键合根据引线不同,可分为金线、铜线、银线、合金线、铝丝等键合,其中铝丝键合又可分为细铝丝、粗铝丝、铝带等键合。由于粗铝丝和铝带能够承载较大的电流,因而这两种键合广泛应用于大功率器件的封装,并且这两种键合所需要的超声系统是一样的。粗铝丝主要用于封装大、中功率三极管、可控硅、场效应管、大电流二极管以及IGBT等半导体功率器件。和粗铝丝相比,铝带拥有更好的导电性能和更小的接触电阻,主要用于大电流、高频率的IGBT、FRED等模块产品。近几年,由于特斯拉工艺受到认可,粗铝丝键合工艺又被 ...
【技术保护点】
一种粗铝丝键合超声换能器,其特征在于:包括设有键合工具的变幅杆、安装环以及超声马达,所述安装环安装在变幅杆上,用来把超声换能器安装在机器上,所述的变幅杆与超声马达相连,变幅杆把超声马达的机械振动的振幅放大并把振动转给键合工具,键合工具进一步放大机械振动的振幅,键合工具的尖端则把振动直接作用在粗铝丝或铝带上进行键合。
【技术特征摘要】
1.一种粗铝丝键合超声换能器,其特征在于:包括设有键合工具的变幅杆、安装环以及超声马达,所述安装环安装在变幅杆上,用来把超声换能器安装在机器上,所述的变幅杆与超声马达相连,变幅杆把超声马达的机械振动的振幅放大并把振动转给键合工具,键合工具进一步放大机械振动的振幅,键合工具的尖端则把振动直接作用在粗铝丝或铝带上进行键合。2.根据权利要求1所述的粗铝丝键合超声换能器,其特征在于:所述超声马达包括前盖板、压电片、铜片、后盖板以及螺栓,所述前盖板用于连接变幅杆,压电片和铜片相间装配在前盖板和后盖板之间,并用螺栓压紧固定。3.根据权利要求2所述的粗铝丝键合超声换能器,其特征在于:所述变幅杆和前盖板是一个整体,且前盖板为圆形,直径在12.0-15.0mm之间。4.根据权利要求2所述的粗铝丝键合超声换能器,其特征在于:所述压电片的数量为六,厚度在2.0-2.5mm之间,外径在12.0-15.0mm之...
【专利技术属性】
技术研发人员:李相超,
申请(专利权)人:上海相友超声科技有限公司,
类型:发明
国别省市:上海;31
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