电透析装置、排水处理方法及氟处理系统制造方法及图纸

电透析装置具备具有阳极（２）的阳极室（１０）和具有阴极（３）的阴极室（５０）。电透析装置具备：脱盐室（４０），从被供给的排水中除去氟离子，从而生成处理水；浓缩室（３０），将从脱盐室（４０）转移的排水中的氟离子浓缩，从而生成浓缩水；缓冲室（２０），进行隔断，以使排水中的氟离子不会从浓缩室（３０）直接流入到阳极室（１０）中。此外，电透析装置具有将纯水供给到阳极室（１０）中的路径、和将从阳极室（１０）出来的流出水供给到缓冲室（２０）中的路径。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及电透析装置，特别涉及将例如以下含有氟的液体作为处 理对象的电透析装置(1)来自有关半导体制造、液晶制造或电子部件 制造的装置的排水或将该排水进行了前处理后的排水、(2)将在半导体制造、液晶制造或电子部件制造中使用的PFC气体用除害装置分解而生成的气体通过水或碱水清洗而产生的排水或将该排水进行了前处理后的排水、(3)弗里昂类破坏业中用弗里昂类破坏设施分解弗里昂而生 成的气体通过水或碱水清洗而产生的排水或将该排水进行了前处理后 的排水、(4)作为将水溶液中的氟作为氟化钙(CaF2)回收的氟再资源 化装置的处理水的排水或将该排水进行了前处理后的排水等。此外，本 专利技术涉及使用了该电透析装置的排水处理方法。进而，本专利技术涉及使用 该电透析装置来处理氟的氟处理系统。
技术介绍
开发能够减小从各种工序中作为副产物或废弃物排出的排水中含 有的中性盐、废酸、废碱带来的环境负荷、并且能够将副产物或废弃物 中的有用成分回收再利用的技术是各种工厂中的较大的课题。此外，如 果能够将在从排水中除去给环境带来负荷的物质时得到的处理水在工 厂内再利用，当然是更优选的。例如，从半导体、液晶或电子本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种电透析装置，其具备：阳极室，其具有阳极；阴极室，其具有阴极；脱盐室，从被供给的被处理水中除去对象离子，从而生成降低了该对象离子的浓度的处理水；浓缩室，将从所述脱盐室转移的所述被处理水中的对象离子浓缩，从而生成提高了该对象离子的浓度的浓缩水；将纯水供给到所述阳极室中的路径；将从所述阳极室出来的流出水的至少一部分供给到所述浓缩室中的路径。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：赤堀晶二，中川创太，佐佐木悠二，
申请(专利权)人：株式会社荏原制作所，
类型：发明
国别省市：JP[]