容器输送装置及容器输送设备制造方法及图纸

支承体具备将小容器定位的第1定位部和将大容器定位的第2定位部。第1定位部具备将小容器支承的第1支承体和与第1被卡合部卡合的第1卡合体。第2定位部具备以大容器的底面位于比第1卡合体的上端靠上方的位置的高度支承大容器的第2支承体、装备在第1支承区域的外侧并与第2被卡合部卡合的第2卡合体、装备在第1支承区域的外侧并对大容器从侧方抵接的抵接体。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及具备将半导体基板收纳用的容器从下方支承的支承体和使支承体移动的移动机构的容器输送装置、以及具备该容器输送装置的容器输送设备。
技术介绍
在特开2003－072917号公报（专利文献1）中记载了上述那样的容器输送装置的一例。专利文献1的容器输送装置用于将容器相对于保管容器的保管设备入出库，具备将半导体基板收存用的容器从下方支承的支承体（升降体142）。在容器的底面上形成有3个被卡合部（嵌合部8），在支承体上具备与在容器的底面上具备的被卡合部卡合的3个定位销。升降体构成为，通过在使3个定位销卡合到容器的3个被卡合部上的状态下将容器从下方支承，能够将容器在定位于支承区域的状态下支承。以往，作为收纳半导体基板的容器，使用由半导体制程设备安全准则（SEMI，Semiconductor Equipment and Materials International）规格规定的前端开启式晶圆传送盒（FOUP，Front Opening Unified Pod）的情况较多。并且，被收存于这样的容器的半导体基板（晶片）中，直径为300mm的圆板形是主流。因此，在上述专利文献1的容器输送装置本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种容器输送装置，具备支承体和移动机构，前述支承体将半导体基板收纳用的容器从下方支承，前述移动机构使前述支承体移动，其特征在于，作为前述容器，至少包括小容器和大容器这两种，前述大容器的上下方向观察时的大小比前述小容器大，前述小容器在其底面上具备3个槽状的第1被卡合部，前述大容器在其底面上具备3个槽状的第2被卡合部，3个前述第1被卡合部分别以其长度方向沿着前述小容器的底面上的以第1基准位置为中心的放射方向的状态，形成在前述小容器的底面上，3个前述第2被卡合部分别以其长度方向沿着前述大容器的底面上的以第2基准位置为中心的放射方向的状态，形成在前述大容器的底面上，3个前述第2被卡合部的每一个与前述第...

【技术特征摘要】
2015.05.14 JP 2015-0989471.一种容器输送装置，具备支承体和移动机构，前述支承体将半导体基板收纳用的容器从下方支承，前述移动机构使前述支承体移动，其特征在于，作为前述容器，至少包括小容器和大容器这两种，前述大容器的上下方向观察时的大小比前述小容器大，前述小容器在其底面上具备3个槽状的第1被卡合部，前述大容器在其底面上具备3个槽状的第2被卡合部，3个前述第1被卡合部分别以其长度方向沿着前述小容器的底面上的以第1基准位置为中心的放射方向的状态，形成在前述小容器的底面上，3个前述第2被卡合部分别以其长度方向沿着前述大容器的底面上的以第2基准位置为中心的放射方向的状态，形成在前述大容器的底面上，3个前述第2被卡合部的每一个与前述第2基准位置的离开距离都比3个前述第1被卡合部的每一个与前述第1基准位置的离开距离中的最大距离长，前述支承体具备第1定位部和第2定位部，前述第1定位部将支承在前述支承体上的前述小容器在前述上下方向观察时定位在第1支承区域中，前述第2定位部将支承在前述支承体上的前述大容器在前述上下方向观察时定位在第2支承区域中，前述第2支承区域设定成，其一部分与前述第1支承区域重复，前述第1定位部具备第1支承体和第1卡合体，前述第1支承体将前述小容器从下方支承，前述第1卡合体与3个前述第1被卡合部中的至少两个从下方卡合，前述第2定位部具备第2支承体、第2卡合体、抵接体，前述第2支承体以前述大容器的底面位于比前述第1卡合体的上端靠上方的位置的高度支承前述大容器，前述第2卡合体在前述上下方向观察时装备在前述第1支承区域的外侧来与3个前述第2被卡合部的一个卡合，前述抵接体在前述上下方向观察时装备在前述第1支承区域的外侧，相对于位于前述第2支承区域中的前述大容器从与上下方向交叉的方向抵接。2.一种容器输送设备，具备第1载置体、第2载置体、权利要求1所述的容器输送装置，前述第1载置体以位置固定状态装备，将前述容器从下方支承，前述第2载置体以位置固定状态装备，将前述容器从下方支承，其特征在于，前述容器输送装置构成为，将前述容器从前述第1载置体向前述第2载置体输送或将前述容器从前述第2载置体向前述第1载置体输送。3.如权利要求2所述的容器输送设备，其特征在于，前述移动机构具备第1移动机构和第2移动机构，前述第1移动机构使前述支承体沿沿着水平方向的第1移动方向移动，前述第2移动机构使前述支承体沿沿着上下方向的第2移动方向移动，前述第1移动机构构成为，在使前述支承体沿着前述第2移动方向移动来在前述支承体与前述第1载置体之间移载前述容器的情况下，使前述支承体向在前述上下方向观察时前述支承体位于的第1位置移动，在使前述支承体沿着前述第2移动方向移动来在前述支承体与前述第2载置体之间移载前述容器的情况下，使前述支承体向在前述上下方向观察时前述支承体位于的第2位置移动，将在前述第1移动方向上前述第2载置体相对于前述第1载置体位于的方向设为第...

【专利技术属性】
技术研发人员：吉冈秀郎，山崎贵文，
申请(专利权)人：株式会社大福，
类型：发明
国别省市：日本;JP