使用分步重复方式的压印技术的结构体的制造方法技术

本发明专利技术提供能将转印于树脂层的微细图案的形状稳定性的影响降低到最小限度，同时可抑制掩模内固化侵蚀的结构体的制造方法。本发明专利技术提供一种结构体的制造方法，具备如下工序：层叠体形成工序，形成在透明基材上具备树脂层的层叠体，所述树脂层由压印用光固化性树脂组合物构成，所述压印用光固化性树脂组合物含有光聚合性单体和相对于所述单体100质量份分别为0.1质量份以上的光引发剂及阻聚剂；被覆工序，将面积比所述树脂层小且具有微细图案的模具的所述微细图案按压于所述树脂层，并且以所述树脂层中被模具按压的区域的至少一部分成为露出区域的方式，用遮光掩模（5）被覆所述层叠体；固化工序，对所述树脂层照射固化光，使所述树脂层中位于所述露出区域的部分固化；以及重复工序，使所述模具移动至所述树脂层的未固化部分，将所述被覆工序和所述固化工序重复进行1次以上。

Method of manufacturing structure using step by step imprint technique

The present invention provides a method for producing a structural body capable of reducing the influence of the shape stability of a fine pattern transferred to the resin layer to a minimum, while inhibiting the corrosion of the mask. The present invention provides a method for manufacturing a structure that has the following steps: laminate forming process, formed with laminate resin layer on a transparent substrate, the resin layer by imprint photocurable resin composition, the imprint photocurable resin composition containing light polymerizable monomers and with respect to the the monomer is 100 phr respectively less than 0.1 parts by mass of initiator and inhibitor; coating process, mold area has a fine pattern than the resin layer and the fine pattern of the press in the resin layer, and the resin layer is at least a part of the mould pressing the region has become exposed region and with shading mask (5) coating the multilayer body; curing process of the resin layer, radiation curing light, the resin layer is positioned on the exposed portion of the curing region The process is repeated, and the mold is moved to the uncured portion of the resin layer, and the coating process and the curing process are repeated more than 1 times.

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及使用分步重复方式(Step-and-repeat)的压印技术(Imprinttechnology)的结构体的制造方法。
技术介绍
所谓压印技术是：将具有微细图案(Micropattern)的模具(Mold)，按压于基板上的液状树脂等树脂层，由此将模具的图案转印到树脂层的精细加工技术。作为微细图案，小至10nm水平的纳米级图案，大到100μm左右的图案，应用于半导体材料、光学材料、存储介质(Storagemedia)、微机械、生物、环境等各种领域。但是，表面具有纳米级微细图案的模具因图案的形成花费时间，所以价格非常高昂。因此，难以实现表面具有纳米级微细图案的模具的大型化(大面积化)。因此，专利文献1中记载了：使用小模具，以加工区域不重叠的方式将模具的位置错开，同时反复进行压印，由此可实现大面积的压印(分步重复方式)。【现有技术文献】【专利文献】【专利文献1】日本特开2013-000944号公报
技术实现思路
【专利技术要解决的课题】...

【技术保护点】
一种结构体的制造方法，其特征在于，具备如下工序：层叠体形成工序，形成在透明基材上具备树脂层的层叠体，所述树脂层由压印用光固化性树脂组合物构成，所述压印用光固化性树脂组合物含有光聚合性单体和相对于所述单体100质量份分别为0.1质量份以上的光引发剂及阻聚剂；被覆工序，将面积比所述树脂层小且具有微细图案的模具的所述微细图案按压于所述树脂层，并且以所述树脂层中被模具按压的区域的至少一部分成为露出区域的方式，用遮光掩模被覆所述层叠体；固化工序，对所述树脂层照射固化光，使所述树脂层中位于所述露出区域的部分固化；重复工序，使所述模具移动至所述树脂层的未固化部分，将所述被覆工序和所述固化工序重复进行1次以上...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2013.11.22 JP 2013-2421571.一种结构体的制造方法，其特征在于，具备如下工序：
层叠体形成工序，形成在透明基材上具备树脂层的层叠体，所述树脂层由压印用光固化性树
脂组合物构成，所述压印用光固化性树脂组合物含有光聚合性单体和相对于所述单体100质
量份分别为0.1质量份以上的光引发剂及阻聚剂；
被覆工序，将面积比所述树脂层小且具有微细图案的模具的所述微细图案按压于所述树脂
层，并且以所述树脂层中被模具按压的区域的至少一部分成为露出区域的方式，用遮光掩模
被覆所述层叠体；
固化工序，对所述树脂层照射固化光，使所述树脂层中位于所述露出区域的部分固化；
重复工序，使所述模具移动至所述树脂层的未固化部...

【专利技术属性】
技术研发人员：宮泽幸大，
申请(专利权)人：综研化学株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP