【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种感应式测量探头,所述测量探头具有设置成能运动的探测元件和传感器,所述传感器具有至少一个线圈和能相对于线圈移动地设置的、与探测元件连接的芯部,本专利技术还涉及一种用于操作感应式测量探头的方法。
技术介绍
感应式测量探头例如在工业制造、质量保证、过程控制、机器人技术、航空和航天技术、汽车工业以及在液压和气动应用中用于长度测量。除了长度和路程以外,这种装置还可以确定能够由路程导出的量,例如物体的形状。测量范围覆盖从纳米级直至米级的范围。这种长度测量的原理的基础在于,探测元件与一个芯部连接,所述芯部设置成能相对于一个线圈系统移动。芯部相对于线圈系统的移动使得线圈系统的电感发生变化。感应式测量探头的具有线圈的测量装置特别是可以构造成感应式半桥、全桥或构造成差分变压器。用正弦激励电压馈电的主线圈这里通过磁作用的芯部与一个或两个次级线圈耦合。主线圈、次级线圈和磁作用的芯部这里集成在测量探头中。与探测元件连接的芯部在长度测量时改变其位置,从而这对于主线圈和次级线圈之间的磁耦合产生影响。这里在次级线圈中感应生成的电压与运动的芯部的位置线性相关。次级线圈的电压因此构成度量探测元件位置变化的尺度。此外,电感的改变也会影响振荡回路的幅值。芯部的位置变化因此还会导致幅值变化,这种幅值变化是可验证的并且构成要测量的路程的尺度。已经证明不利的是,特别是在微米级范围和纳米级范围进行测量时,传感器、驱动装 ...
【技术保护点】
一种感应式测量探头,该感应式测量探头具有:可运动地设置的探测元件,传感器(1),所述传感器具有线圈系统(14)和能相对于线圈系统(14)移动地设置的、与探测元件连接的芯部(15),所述传感器(1)将探测元件的偏移转换成模拟的测量信号,电的基准器件(2),所述基准器件将模拟的输入电压转换成模拟的输出电压,驱动装置,所述驱动装置对于传感器(1)和基准器件(2)产生相同的模拟的输入电压,处理装置,所述处理装置由基准器件(2)的模拟的输出电压确定与干扰效应相关的修正值或与干扰效应相关的修正函数,并且所述处理装置由所述测量信号和所述修正值或修正函数确定测量结果,电路布置,所述电路布置包括所述传感器(1)、所述基准器件(2)、所述驱动装置和所述处理装置。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2013.11.26 DE 102013113073.91.一种感应式测量探头,该感应式测量探头具有:
可运动地设置的探测元件,
传感器(1),所述传感器具有线圈系统(14)和能相对于线圈系统(14)
移动地设置的、与探测元件连接的芯部(15),所述传感器(1)将探测元件
的偏移转换成模拟的测量信号,
电的基准器件(2),所述基准器件将模拟的输入电压转换成模拟的输出
电压,
驱动装置,所述驱动装置对于传感器(1)和基准器件(2)产生相同的
模拟的输入电压,
处理装置,所述处理装置由基准器件(2)的模拟的输出电压确定与干
扰效应相关的修正值或与干扰效应相关的修正函数,并且所述处理装置由所
述测量信号和所述修正值或修正函数确定测量结果,
电路布置,所述电路布置包括所述传感器(1)、所述基准器件(2)、所
述驱动装置和所述处理装置。
2.根据权利要求1所述的感应式测量探头,其特征在于,所述基准器
件(2)是变压器。
3.根据权利要求2所述的感应式测量探头,其特征在于,所述变压器
是等效变压器。
4.根据上述权利要求之一所述的感应式测量探头,其特征在于,基准
器件(2)的电感基本上与传感器(1)在规定的基准点处的电感相同。
5.根据上述权利要求之一所述的感应式测量探头,其特征在于,处理
\t装置配备有用于传感器(1)的测量信号的放大器(7)和用于基准器件(2)
的输出电压的放大器(8)。
6.根据权利要求5所述的感应式测量探头,其特征在于,用于传感器
(1)的测量信号的放大器(7)和用于基准器件(2)的输出电压的放大器
(8)基本上相同。
7.根据权利要求5或6所述的感应式测量探头,其特征在于,所述放
大器(7、8)是低噪声的运算放大器。
8.根据上述权利要求之一所述的感应式测量探头,其特征在于,处理
装置配备有用于传感器(1)的测量信号的滤波器(9)和用于基准器件(2)
的输出电压的滤波器(10)。
9.根据权利要求8所述的感应式测量探头,其特征在于,用于传感器
(1)的测量信号的滤波器(9)和用于基准器件(2)的输出电压的滤波器
(10)基本上是相同的。
10.根据权利要求7或8所述的感应式测量探头,其特征在于,所述滤
波器(9、10)是低噪声的。
11.根据上述权利要求之一所述的感应式测量探头,其特征在于,处理
装置装备有用于传感器(1)的模拟的测量信...
【专利技术属性】
技术研发人员:JL·索勒,R·奥尔曼,
申请(专利权)人:阿迪达塔公司,
类型:发明
国别省市:德国;DE
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