液刀清洁装置及液刀制造方法及图纸

本发明专利技术提供了一种液刀清洁装置及液刀，所述液刀清洁装置包括：一用于设置在所述液刀上，并能够沿所述刀口的延伸方向进行往复移动的架体；一用于伸入所述液刀的刀口内，并能够在所述架体带动下在所述刀口内往复移动，以清洁所述刀口的清洁刮片，所述清洁刮片设置在所述架体上；以及，一用于使得所述架体在所述液刀上沿所述刀口的延伸方向往复移动的移动机构，所述架体与所述移动机构连接。本发明专利技术所提供的液刀清洁装置，可以代替以往的手动清洁，清洁液刀的刀口，可减少液帘分叉出现的概率，从而减少此类显影MURA出现的概率，提高了设备的稼动，也避免不连续流片产生的其他问题。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及显示
，尤其涉及一种液刀清洁装置及液刀。
技术介绍
TFT-LCD(tin film transistor-liquid crystal display，薄膜晶体管液晶显不器)中彩膜工厂主要目的是在玻璃基板上涂布不同颜色的光刻胶，经曝光、显影、后烘等工艺来制作不同颜色的图形。彩膜工厂显影工艺的目的是去除基板上未曝光的光刻胶，保留已曝光的光刻胶图形，通过稀释后的氢氧化钾(KO)溶液冲洗曝光后的玻璃基板，再通过纯净水清洗，去除KO残液。显影设备显影段和清洗段连接区域添加液刀装置快速清除基板表面的KO残留液体和显影残渣，减少清洗段过滤器(filter)阻塞。但是，液刀长时间不间断生产经常会出现水帘分叉现象，主要原因是显影残渣或其他异物掉入液刀的刀口阻碍了水流方向。液刀内部残留异物易形成的分叉液帘易造成显影不良，产生显影不良(Mura)等品质不良。为了解决上述问题，传统做法为停机后手动清洁液帘，主要动作为将薄片塞入显影机液刀的刀口内部，按照一定的速度自动来回数次的清洁液刀的刀口内部，按照一定的频率定期清洁液刀内部的残留异物，确认清洁OK后复线。但是，这样影响了设本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种液刀清洁装置，用于清洁液刀，所述液刀上具有刀口；其特征在于，所述液刀清洁装置包括：一用于设置在所述液刀上，并能够沿所述刀口的延伸方向进行往复移动的架体；一用于伸入所述液刀的刀口内，并能够在所述架体带动下在所述刀口内往复移动，以清洁所述刀口的清洁刮片，所述清洁刮片设置在所述架体上；以及，一用于使得所述架体在所述液刀上沿所述刀口的延伸方向往复移动的移动机构，所述架体与所述移动机构连接。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：姚亮，黄林，周伟，杨玉，林己燮，陈而论，袁晨，徐立铭，谢呈男，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，合肥鑫晟光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：北京;11