【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于视频监控领域，更具体涉及一种基于快速响应湿度变化的视频监控设备。
技术介绍
视频监控是安全防范系统的重要组成部分，主要包括前端摄像机、传输线缆、视频监控平台等。近年来，随着计算机、网络及图像处理、传输技术的快速发展，视频监控技术也有了长足的发展。然而，现有的视频监控设备中，一般不存在对其环境湿度检测的能力，在使用过程中，其周边环境难免会出现湿度较大的情况，严重者会导致设备腐蚀、故障等，容易造成设备财产损失。
技术实现思路
本专利技术针对
技术介绍
存在的问题，提供一种基于快速响应湿度变化的视频监控设备。本专利技术的目的通过以下技术方案实现：一种基于快速响应湿度变化的视频监控设备，其特征在于，所述视频监控设备的外部安装有湿敏传感器模块，该湿敏传感器模块包括从下到上依次布设的重掺杂硅片、紧贴重掺杂硅片的SiO2层、碳纳米管层、位于SiO2层间的下电极和位于碳纳米管层上的上电极，所述碳纳米管层生长于SiO2层上；所述下电极上有金属薄膜，所述金属...
【技术保护点】
一种基于快速响应湿度变化的视频监控设备，其特征在于，所述视频监控设备的外部安装有湿敏传感器模块，该湿敏传感器模块包括从下到上依次布设的重掺杂硅片(1)、紧贴重掺杂硅片(1)的SiO2层(2)、碳纳米管层(4)、位于SiO2层(2)间的下电极(3)和位于碳纳米管层(4)上的上电极(5)，所述碳纳米管层(4)生长于SiO2层(2)上；所述下电极(3)为金属薄膜，所述金属薄膜从内到外依次为具有黏附性的Cr层、导电导热的Cu层和作为电极层的Au层，所述Cr层、Cu层和Au层的厚度依次为60nm、200nm和500nm；所述碳纳米管层(4)采用催化剂和/或光刻法实现其定域生长，生长后...
【技术特征摘要】
1.一种基于快速响应湿度变化的视频监控设备，其特征在于，所述视频监控设备的外部
安装有湿敏传感器模块，该湿敏传感器模块包括从下到上依次布设的重掺杂硅片(1)、紧贴
重掺杂硅片(1)的SiO2层(2)、碳纳米管层(4)、位于SiO2层(2)间的下电极(3)和位
于碳纳米管层(4)上的上电极(5)，所述碳纳米管层(4)生长于SiO2层(2)上；所述下
电极(3)为金属薄膜，所述金属薄膜从内到外依次为具有黏附性的Cr层、导电导热的Cu
层和作为电极层的Au层，所述Cr层、Cu层和Au层的厚度依次为60nm、200nm和500nm；
所述碳纳米管层(4)采用催化剂和/或光刻法实现其定域生长，生长后的所述碳纳米管层(4)
采用等离子体使其产生羟基修饰，碳纳米管层(4)在等离子体羟基修饰之前经过了加入微量
钨粉的醋酸和双氧水混合溶液的处理；所述金属薄膜的表面紧贴有感测细菌生长的细菌酶膜
层，该细菌酶膜层与金属薄膜一起形成感测水分的细菌湿敏感测器；所述下电极(3)和上电
极(5)上连接有一个用于和客户端通信连接的微控处理器。
2.根据权利要求1所述的一种基于快速响应湿度变化的视频监控设备，其特征在于，所
述湿敏传感器的制作包括以下步骤：
S1：SiO2层制作：取所述重掺杂硅片(1)，将其放入管式炉中，按照10℃/min的速率
升温到500℃，保温12h，然后自然冷却至室温，即可在重掺杂硅片(1)表面形成SiO2层
(2)；
S2：下电极制作：将步骤(1)中制得的有SiO2层(2)的重掺杂硅片(1)依次使用丙酮、
乙醇、去离子水清洗15min后烘干，在其表面旋涂光刻胶，使用下电极掩模版对其曝光，120℃
烘干2min后显影、烘干，在CHF3气氛下干法刻蚀SiO2层(2)，刻蚀30min，将刻蚀SiO2层(2)清洗后的重掺杂硅片(1)放入磁控溅射仪中，在低于1.5×10-3pa真空下依次磁控溅
射Cr层、Cu层和Au层；将磁控溅射好Cr层、Cu层和Au层的下电极(1)表面固定上细
菌酶膜，然后清洗光刻胶；所述重掺杂硅片(1)的尺寸大小为2cm×2cm；
S3：气喷催化剂薄膜，步骤如下：
a.使用Fe/Ni纳米粒子作为碳纳米管(4)生长的催化剂，首先，对带有下电极(3)的重
掺杂硅片(1)旋涂光刻胶，采用催化剂的定域掩模版对其进行曝光，然后经过显影，清洗备
用；
b.配制催化剂Fe/Ni的分散液：分别称取200mg、50mg的Fe纳米粒子和Ni纳米粒子，
将其加入60ml的98％H2SO4和40ml的69％的HNO3混合溶液中，在80℃水浴中超声3
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