测量回转曲面的方法技术
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及，特别是一种基于Taylor-Hobson触针式轮廓仪的装夹测量回转曲面 的方法。
技术介绍
光学元件的传统检测方法与技术已沿用了数十年。光学检测涉及被测元件材料、 口径、种类以及测试技术、仪器和设备等。被测元件的种类繁多，包括有平行平板、球面、非 球面、自由曲面、衍射光栅、锥镜、柱面透镜等，非球面中有特殊的非球面如抛物面、椭球面、 双曲面和除此以外的其它非球面。光学检测中常用的主要仪器可分为干涉仪类、表面轮廓 仪类、MTF测试仪类、精密球径仪类、焦距与偏心测试仪器类及其它仪器等。 国内外都在研制和发展各自的先进仪器。国内以南京理工大学和成都太科公司为 代表的干涉仪制造厂家，各类数字式干涉仪产品口径有Φ 25mm~Φ 600mm;进口以美国Zygo 公司为代表从口径4〃~32〃各类干涉仪;Zygo公司以3D干涉显微镜为基本原理发展的非接 触式表面轮廓仪，从早期Maxim 3D 5700到现代最新的Zemapper System等；英国Taylor-Hobson触针式轮廓仪;满足实际需求的三坐标测量仪、4D干涉仪等。 然而，在光学检测仪器和...
【技术保护点】
一种基于Taylor‑Hobson触针式轮廓仪的装夹测量回转曲面的方法，其特征在于，首先将首个被测曲面设置于夹紧机构上，夹紧机构设置于Taylor‑Hobson触针式轮廓仪上，然后以被测曲面水平方向最右端X2和最左端X1的差值为测量长度ΔX，调整高度方向上的坐标值以得到若干条轮廓线，找到最接近被测曲面中心点的轮廓线并保存数据，之后的被测曲面使用保存数据即可找到中心点。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：汤亮，
申请(专利权)人：上海现代先进超精密制造中心有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31
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