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一种大口径凹镜面面形的测量装置制造方法及图纸

技术编号:12962002 阅读:102 留言:0更新日期:2016-03-03 04:20
本实用新型专利技术公开了一种大口径凹镜面面形的测量装置。两个显示屏、合光器件、分束器、待测大口径凹镜面与彩色相机形成共光路结构,显示屏和彩色相机均置于待测镜面的焦平面处,彩色相机聚焦于待测镜面;图像输出器将沿两个正交方向分别编码的红色和蓝色双频条纹图像分别传输至两个对应的显示屏上同步显示,显示信号经合光器件输出彩色双频条纹图,由分束器反射至待测镜面表面;待测镜面反射的目标变形条纹图通过分束器后由彩色相机接收,传输至目标图像处理器,经数据处理,得到待测镜面的三维面形分布。本实用新型专利技术提供的测量装置,系统结构简单紧凑,无中心遮拦,对表面变化复杂的大口径凹镜面物体的三维面形能实现快速、准确的测量。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种大口径凹镜面面形的测量装置,特别涉及一种基于彩色双频 条纹反射的测量装置,属光学检测

技术介绍
作为天文望远镜中的核心部件,大口径光学镜面的面形精度直接影响望远镜的工 作性能,因而对其检测精度的高低往往决定了加工成型效果的优劣。在传统天文望远镜中, 光学镜面多为平面、球面或二次曲面。随着光学元件特别是大口径光学镜面加工技术的迅 猛发展,多种形状复杂的非球面/自由曲面部件在天文望远镜中得到了应用。这些元件在 减少系统光学组件数量的同时能够显著提升望远镜的性能,实现光学系统的轻量化、紧凑 化以及高透过率。然而,此类镜面面形的复杂程度(如非旋转对称性、较大的非球面度等)却 使传统面形检测方法面临困难,并逐步成为天文望远镜技术发展的瓶颈之一。 目前,对于天文望远镜面形,传统而直接的检测手段为接触/非接触式的三坐标 机和轮廓仪。然而其点或线扫的工作方式,使得整个检测过程较长,尤其是对于较大口径的 自由曲面光学(类)镜面元件,检测效能不高,且精度有限。虽然基于补偿器(如计算制全息 图元件一一CGH)的非球面干涉术可达到纳米量级的检测精度,但针对不同面形的光学本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种大口径凹镜面面形的测量装置,其特征在于:它包括两个显示屏、合光器件、分束器、彩色相机、图像输出器和目标图像处理器;所述的两个显示屏分别位于合光器件的两个端面;两个显示屏、合光器件、分束器、待测大口径凹镜面与彩色相机形成共光路结构,显示屏和彩色相机均位于待测镜面的焦平面位置,彩色相机聚焦于待测镜面;所述的图像输出器将沿两个正交方向分别编码的红色和蓝色双频条纹图像分别传输至两个对应的显示屏上同步显示,显示屏上的显示信号经合光器件输出彩色双频条纹图,由分束器反射至待测镜面表面;待测镜面反射的目标变形条纹图通过分束器后由彩色相机接收,传输至目标图像处理器。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:马锁冬李博
申请(专利权)人:苏州大学
类型:新型
国别省市:江苏;32

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