用于激光雷达的低漂移参考制造技术

激光雷达系统包括被配置为关于目标表面扫描测量光束的五棱镜。聚焦光学组件包括被用于调整测量光束的焦点的角隅棱镜。基于返回光束和本振光束之间的外差频率估计目标距离。本振光束被配置为在与返回光束混合之前向聚焦光学组件来回传播。在一些示例中，使用具有被固定至锂铝硅酸盐玻璃陶瓷管的镜子的法布里-珀罗干涉仪关于目标距离校准外差频率。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

【技术保护点】
一种校准设备，包括：支撑结构；第一反射光学表面，被固定至所述支撑结构，第一反射面限定具有基于所述支撑结构的光路长度的循环光路，其中，所述第一反射面被配置为引入光束以沿所述循环光路传播；参考光电探测器，被配置为接收具有基于所述光路长度的相对延迟的至少两个光束并产生输出信号；以及信号处理器，被配置为将输出信号特性与所述光路长度相关联。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：A·R·斯朗特文斯基，M·A·里兹克，
申请(专利权)人：尼康计量公众有限公司，
类型：发明
国别省市：比利时;BE