【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种用以集尘在薄膜太阳电池等的制造过程时等对薄膜进行槽加工时所产生的粉尘的槽加工头的集尘机构及槽加工装置。
技术介绍
在集成型的薄膜太阳电池的制造步骤中，例如，如专利文献1所记载般，具有在基板上积层半导体薄膜并反复进行多次图案化的步骤。在该制造步骤中，在脆性材料基板上形成金属制的下部电极层，且作为图案化P1而利用激光束将电极层分割并划分成短条状。在其上形成P型光吸收层及缓冲层而制成积层型的半导体薄膜。其后，作为图案化P2，通过沿着自图案化P1的槽稍微偏移的线将缓冲层与P型光吸收层的一部分机械刻划而分割并划分成短条状。接下来，在缓冲层上形成包含金属氧化物的透明导电膜。接着，作为图案化P3，通过沿着自图案化P2的槽稍微偏移的线将透明导电膜，缓冲层及P型光吸收层的一部分机械刻划而划分成短条状。如此可制造薄膜的太阳电池。因此，需要使图案化P2，P3的线分别相对于图案化P1的线稍微偏移，且需要相对于1片基板而以例如5mm左右的间距形成百数十条平行的槽。在专利文献2，3中揭示有太阳电池用的刻划装置。在专利文献2中设置有在刻划头的基底上保持加工工具的工具...
【技术保护点】
一种槽加工头的集尘机构，具备：槽加工头；集尘罩，设置在所述槽加工头的下部；以及集尘机，自所述集尘罩经由管道抽吸空气；且所述槽加工头具有保持使刀尖位于下方的工具的工具保持器，所述集尘罩是上表面开放的壳体，且具有：开口，使所述槽加工头的工具突出；以及框状的隔断部，以与所述工具保持器之间隔开固定间隔的方式自所述开口部朝向上方设置；且以所述工具的前端自所述开口向下方突出的方式安装。
【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：片桐直树，
申请(专利权)人：三星钻石工业股份有限公司，
类型：发明
国别省市：日本;JP
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