【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及，属于高精度运动控制系统的信号采集与数据通信
技术介绍
如今电子设备走入了千家万户，而且越来越趋向于小型化、微型化，这就要求制造电子芯片的机器一一光刻机达到更高的精度，纳米级精度已经成为了研制光刻机需要达到的一个普遍标准，要达到如此高的控制精度，超高精度的传感器和效果更好的控制算法必不可少，同时，整个系统采集数据的同步性和实时性也显得尤为重要。比如承载硅片的掩膜台微动台，它将承载着娃片一起进行纳米级精度的运动，使得光刻形成在娃片上，最终得到合格的芯片，它的运动控制指标直接影响了芯片的质量。由于该微动台是一个拥有六自由度的运动台体，至少需要六路传感器数据才能获得整个台体的位置和姿态，而且获得的必须是同一时刻所有传感器的测量值，才能确定该时刻微动台的位置速度等信息，以便还原被测物体的实际运动情况，因此数据的同步性必须得到保障。而现有技术读取多路电容器数据无法保证其同步性，导致控制精度差。
技术实现思路
本专利技术目的是为了解决现有技术读取多路电容器数据无法保证其同步性，导致微动台控制精度差的问题，提供了一种。本专利技术所述，该方法涉及...
【技术保护点】
多板卡同步读取电容传感器的实现方法，其特征在于，该方法涉及的读取装置为：在VME总线(2)上挂接同步触发卡(3)和n块运动控制卡(1)，同步触发卡(3)通过VME总线(2)向n块运动控制卡(1)发送同步触发信号，每块运动控制卡(1)同时采集三个电容传感器(4)的信号并存储；同步触发卡(3)和运动控制卡(1)的结构相同；运动控制卡(1)以DSP模块(1‑1)作为算法处理模块，以FPGA模块(1‑2)为主要的信号处理模块，CPLD芯片(1‑3)为电平转换模块，并基于RS422串口通信协议，设置了三个串口(1‑7)和串口电平转换电路(1‑6)，并在FPGA中设计了串口收发的信号处...
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：陈兴林，刘洋，宋法质，王一光，陈震宇，何良辰，宋跃，张常江，万勇利，韩记晓，赵为志，
申请(专利权)人：哈尔滨工业大学，
类型：发明
国别省市：黑龙江;23
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。