用于验证设计的计算机实现方法及系统技术方案

根据本发明专利技术的一个实施例，用于验证设计的计算机实现方法包括：当计算机被调用以验证设计时，使用所述计算机生成表示设计的第一图形，并且使用混合演进算法利用计算机将第一图形分解成至少三个集合，以形成着色图形。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】【专利说明】 相关申请的夺叉引用 本申请要求根据35U.S.C. § 119(e)的、于2013年2月22日提交的美国临时申请 No. 61/768, 365 的、名称为 "Hybrid Evolutionary Algorithm For Triple-Patterning" 的优先权，通过引用方式将其全部内容并入本文中。本申请与Yonchan Ban等人的、名称为 "Method and Apparatus For Determining Mask Layouts For a Spacer-Is-Dielectric Self-Aligned Double-Patterning Process" 的美国专利 8, 312, 394 以及 Tsu-Jae King Liu 的、名称为"Patterning a Single Integrated Circuit Layer Using Multiple Masks and Multiple Masking Layers"的美国专利7, 560, 201有关，通过引用方式将其全部内容 并入本文中。
本专利技术涉及电子设计自动化（EDA)，且更具体地，涉及用于使用三重曝光技术来验 证掩膜布局的方法和系统。
技术介绍
通过半导体制造技术的对应改进在很大程度上实现了半导体集成密度的改进。因 为半导体制造技术进入了深亚微米时代，所以半导体行业正在考虑许多新技术，例如极紫 外（EUV)光刻和巨大并行电子束光刻。可惜，这些技术至今仍未准备好用于生产。 工艺技术的改进可以增加超越在本时代光刻印刷中可实现的集成密度。例如，双 重曝光技术已经用于制造具有比使用给定一代制造工艺由光刻法直接可打印来限制的那 些图案密度更高的图案密度的设计意图。双重曝光技术使用两个不同的掩膜来在设计意图 中产生比由仅使用一个掩膜而可实现的那样的更高的曝光密度。然而，由于设计意图验证 的困难，所以双重曝光技术不能处理具有需要使用三重或更多重曝光技术来打印的更复杂 和更高图案密度的设计意图。 因此，存在使用三重或更多重曝光技术来验证设计意图的需要。
技术实现思路
根据本专利技术的一个实施例，用于验证设计的计算机实现方法包括：当计算机被调 用以验证设计时，使用所述计算机生成表示设计的第一图形，并且使用混合演进算法利用 计算机将第一图形分解成至少三个集合，以形成着色图形。 根据一个实施例，所述着色图形包括至少三种颜色。根据一个实施例，所述设计包 括集成电路。 根据一个实施例，所述第一图形包括多个顶点。所述方法还包括：使用所述计算机 从所述第一图形生成多个子图形；使用混合演进算法利用计算机将多个子图形中的第一子 集合中的每一个分解成至少三个集合；并且使用计算机合并至少三个集合来生成用于多个 顶点中的每一个顶点的至少三种颜色中的一种。 根据一个实施例，使用图形简化算法来执行从第一图形生成多个子图形。根据一 个实施例，图形简化算法选自由连接的分量分解、双向连接的分量分解和具有小于至少三 的度的顶点的隐藏组成的组。 根据一个实施例，所述设计包括多个形状。多个顶点中的每一个与多个形状中的 不同的一个相关联。 根据一个实施例，所述设计包括多个形状。第一图形包括多个顶点和多个边缘。根 据一个实施例，多个边缘中的每一个与多个形状中的不同的对相关联，多个形状中的所述 对与设计规则违反相关联。 根据一个实施例，当多个边缘中的一个处于使用相同颜色着色的多个顶点中的一 对之间时检测冲突。根据一个实施例，所述设计包括多个形状，所述方法还包括：在分解之 后当未检测到冲突时，使用计算机将多个形状中的每一个分配给至少三个掩膜中的不同的 一个。至少三个掩膜中的每一个掩膜与至少三个集合中的不同的一个相关联。 根据一个实施例，所述方法还包括：在检测冲突之后，使用计算机来生成表示设计 的第二图形，所述第二图形与所述第一图形不同；并且使用混合演进算法利用计算机将第 二图形分解成至少三个集合，以形成包括至少三种颜色的第二着色图形。根据一个实施例， 第二图形包括多个顶点，所述方法还包括：使用计算机从所述第二图形生成第二多个子图 形；使用混合演进算法利用计算机将第二多个子图形中的第二子集合的每一个分解成至少 三个集合；并且使用计算机合并至少三个集合来生成用于第二图形的多个顶点中的每一个 顶点的至少三种颜色中的一种，所述着色第二图形表示所述设计。 根据一个实施例，所述方法还包括：在检测到至少一个冲突和停止条件之后，通过 对设计进行重做来形成重做设计以解决冲突；使用计算机来生成表示重做设计的第二图 形，所述第二图形与第一图形不同；并且使用混合演进算法利用计算机将第二图形分解成 至少三个集合，以形成包括至少三种颜色的第二着色图形。根据一个实施例，所述停止条件 选自由验证执行时间以及与通过分解第一图形输出的至少一个冲突的数量对应的数值所 组成的组。 根据一个实施例，所述设计包括多个形状，并且对设计进行重做包括移动多个形 状中的至少一个。根据一个实施例，所述设计包括多个形状，并且对设计进行重做包括改变 多个形状中的至少一个。 根据一个实施例，分解包括：通过使用随机化图形着色启发法分配用于第一子集 合的多个顶点中的每一个顶点的至少三种颜色中的一种来利用计算机创建用于第一子集 合的第一着色。分解还包括：当冲突存在时，使用随机化第一局部搜索算法利用计算机来修 改第一着色，以降低与至少一个冲突的数量的数量相关联的数值，来完成第二着色方案。分 解还包括：当满足由第一成本函数定义的条件时，使用计算机返回第二着色方案作为多个 子图形的分解的第一子集合。 根据一个实施例，第一成本函数包括冲突边缘的数量、冲突顶点的数量和颜色的 分布中的至少一个。根据一个实施例，随机化图形着色启发法包括：递归最大第一算法、饱 和度（DSATUR)算法、连续顶点着色算法或者与多项式时间复杂度的着色算法中的至少一 个。根据一个实施例，随机化第一局部搜索算法包括：禁忌搜索算法或者模拟退火算法中的 至少一个。 根据一个实施例，随机化图形着色启发法使用超过三种颜色来对第一子集合的多 个顶点中的每一个进行着色。根据一个实施例，所述方法还包括：向具有大于3的颜色的顶 点随机分配来自最初三个颜色的颜色。 根据一个实施例，分解还包括：使用计算机来创建第一多个候选着色方案。分解还 包括：根据成本函数利用计算机在第一多个候选着色方案上迭代地应用混合演进算法，以 创建第二多个候选着色方案直到满足停止标准为止。分解还包括：根据第二成本函数从第 二多个候选着色方案中选择着色方案。分解还包括：使用计算机返回选定的着色方案作为 多个子图形的分解的第一子集。根据一个实施例，所述停止标准包括超过预先确定的计数 的迭代计数或者直到没有检测到着色冲突为止中的至少一个。 根据一个实施例，混合演进算法包括：使用计算机来从第一多个候选着色方案中 选择多个父母。分解还包括：通过从多个父母中合并多个颜色类来利用计算机从多个父母 中创建至少一个子孙。分解还包括：使用计算机来完成至少一个子孙的着色。分解还包括： 根据第二成本函数使用计算机来将第二局部搜索应用于至少一个子孙。分解还包括：使用 第三成本函数利用计算机由至少一个子孙来本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于验证设计的计算机实现方法，所述方法包括：当计算机被调用以验证设计时，使用所述计算机生成表示设计的第一图形；并且使用混合演进算法利用计算机将第一图形分解成至少三个集合，以形成着色图形。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：埃德姆·奇林吉尔，斯利尼·阿里卡提，
申请(专利权)人：新思科技有限公司，
类型：发明
国别省市：美国;US