【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及蓝宝石晶体材料加工
,具体涉及一种蓝宝石衬底晶片清洗液。
技术介绍
蓝宝石单晶(Sapphire),又称白宝石,分子式为Al2O3,透明,与天然宝石具有相同的光学特性和力学性能,有着很好的热特性,极好的电气特性和介电特性,并且防化学腐蚀,对红外线透过率高,有很好的耐磨性,硬度仅次于金刚石,达莫氏9级,在高温下仍具有较好的稳定性,熔点为2030°C,所以被广泛应用于工业、国防、科研等领域,越来越多地用作固体激光、红外窗口、半导体芯片的衬底片、精密耐磨轴承等高
中零件的制造材料。作为继S1、GaAs之后的第三代半导体材料的GaN,其在器件上的应用被视为20世纪90年代后半导体最重大的事件,使得半导体发光二极管(LED)和激光器上了一个新的台阶。由于GaN是很难制备的材料,必须在其它衬底材料上生长薄膜。作为GaN的衬底材料有多种,包括蓝宝石、碳化硅、硅、氧化镁、氧化锌等,其中蓝宝石是最主要的衬底材料(90 % ),目前已能在蓝宝石上外延出高质量的GaN材料,并已研制出GaN基蓝色发光二极管及激光二极管。随着对LED发光性能要求不断提高 ...
【技术保护点】
一种蓝宝石衬底晶片清洗液,其特征在于,由以下重量份数的组分制成:去离子水75‑85份、表面活性剂4‑6份、纳米碳化钛1.5‑2.5份、二甲基酮肟4‑6份、纯碱2‑4份、大豆分离蛋白4‑6份、蛭石粉1‑2份、壬二酸4‑6份、紫甘薯花青素4‑6份、茶叶提取物1.5‑2.5份、乙二醇0.4‑0.6份、乙酸异戊酯3‑5份、羟丙基‑β‑环糊精1.5‑2.5份、叔丁醇5‑15份;所述表面活性剂是由以下重量份数的组分制成:石墨烯微片5份、尿素0.2份、硬脂酸0.5份、丙酮20份、荆芥油0.1份、二乙氨基乙醇0.5份、肉桂醛二乙缩醛3份;制备时,将原料一同送入反应釜中,在温度为40℃的釜温 ...
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:赫更民,
申请(专利权)人:安徽德诺化工有限公司,
类型:发明
国别省市:安徽;34
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