半导体行业的冷凝式异丙醇回收系统技术方案

本实用新型专利技术公开了一种半导体行业的冷凝式异丙醇回收系统，包括异丙醇气体压缩装置、制冷装置和异丙醇储液罐；异丙醇气体压缩装置包括半封闭螺杆式增压压缩机、控制柜和储气罐，制冷装置包括半封闭螺杆式制冷压缩机、油分离器、风冷冷凝器、电子膨胀阀和壳管式蒸发器；半封闭螺杆式增压压缩机的吸气阀与待回收异丙醇气体出气口相连，半封闭螺杆式增压压缩机的排气阀与储气罐的进气口相连，储气罐的出气口与壳管式蒸发器的进气口相连，壳管式蒸发器的出液口与异丙醇储液罐相连。本实用新型专利技术将异丙醇气体通过异丙醇气体压缩装置进行压缩后再进入制冷装置的蒸发器进行液化，液化温度大幅提高，简化了制冷装置的结构，降低了回收系统的初投资和运行费用。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种半导体行业的冷凝式异丙醇回收系统，属于异丙醇液化

技术介绍
半导体行业挥发性有机废气主要来源于光刻、显影、刻蚀及扩散等工序，在这些工序中要用异丙醇等有机溶液对晶片表面进行清洗，异丙醇的挥发是半导体制造业的主要污染源。常用的异丙醇治理方式主要有:催化氧化、吸附、膜分离、冷凝等。目前冷凝法采用常压冷凝，因回收气体中异丙醇浓度较低，回收系统的制冷机中需要提供_60°C的低温来实现回收气体中异丙醇的液化，存在能效比较低，系统运行费用高的问题。
技术实现思路
专利技术目的:针对现有技术的不足，本技术提供一种新型的半导体行业的冷凝式异丙醇回收系统，以提高系统能效比，降低制冷要求，降低系统运行费用。技术方案:为实现上述专利技术目的，本技术采用如下技术方案:一种半导体行业的冷凝式异丙醇回收系统，包括异丙醇气体压缩装置、制冷装置和异丙醇储液罐；所述异丙醇气体压缩装置包括半封闭螺杆式增压压缩机、控制柜和储气罐，所述制冷装置包括半封闭螺杆式制冷压缩机、油分离器、风冷冷凝器、电子膨胀阀和壳管式蒸发器；半封闭螺杆式增压压缩机的吸气阀与待回收异丙醇气体出气口相连，半封闭螺杆式增压压本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种半导体行业的冷凝式异丙醇回收系统，其特征在于，包括异丙醇气体压缩装置、制冷装置和异丙醇储液罐；所述异丙醇气体压缩装置包括半封闭螺杆式增压压缩机、控制柜和储气罐，所述制冷装置包括半封闭螺杆式制冷压缩机、油分离器、风冷冷凝器、电子膨胀阀和壳管式蒸发器；半封闭螺杆式增压压缩机的吸气阀与待回收异丙醇气体出气口相连，半封闭螺杆式增压压缩机的排气阀与储气罐的进气口相连，储气罐的出气口与壳管式蒸发器的进气口相连，壳管式蒸发器的出液口与异丙醇储液罐相连。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：朱志平，查志雄，
申请(专利权)人：南京都乐制冷设备有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32