本发明专利技术公开了一种石墨舟清洗工艺，其具体步骤如下：(1).配置清洗液：在原液中加入氢氟酸，且氢氟酸的体积浓度为20％～25％，并加入体积浓度为1％的氨水。(2).将石墨舟用配制好的清洗液进行浸泡4-8小时，并通过氮气进行鼓泡。(3).用清水进行清洗；(4).用气枪将清洗后的石墨舟进行吹干；(5).烘干：将石墨舟放入到烘干箱中进行烘干，并且烘干箱中通入氮气。通过在清洗液中添加氨水来减轻清洗液对石墨舟的腐蚀，达到延长石墨舟的使用寿命和降低企业的生产成本的目的。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及晶硅体太阳能电池生产领域，具体涉及一种石墨舟清洗工艺。
技术介绍
目前商业化晶体硅太阳电池大多数是使用直接式的PECVD(即管式PE)，使用石墨舟作为硅片的载体，在生产过程中也会石墨舟的表面沉积氮化硅，随着使用次数的增加氮化硅累积，同时对硅片的镀膜均匀性也造成影响，因此石墨舟在使用150次后便需要对其清洗，以减少不良品的产生。而现有工艺只使用HF，初始配液浓度大概为10% -25%之间，对石墨舟进行清洗，此种清洗液每次清洗会对石墨舟产生一定的腐蚀，大大降低了石墨舟的使用寿命，也造成企业的生成成本的增加。
技术实现思路
为解决上述技术问题，本专利技术提出了石墨舟清洗工艺，以达到延长石墨舟的使用寿命和降低企业的生产成本的目的。为达到上述目的，本专利技术的技术方案如下:一种石墨舟清洗工艺，其具体步骤如下:(I).配置清洗液:在原液中加入氢氟酸，且氢氟酸的体积浓度为20%?25%，并加入体积浓度为I %的氨水。(2).将石墨舟用配制好的清洗液进行浸泡4-8小时，并通过氮气进行鼓泡。(3).用清水进行清洗；(4).用气枪将清洗后的石墨舟进行吹干；(5).烘干:将石墨舟放入到烘干箱中进行烘干，并且烘干箱中通入氮气。作为优选的，所述氨水、氢氟酸和纯水的体积比如下:氨水:氢氟酸:纯水=4L:100L ；280L,且所使用的氨水浓度为28%，所使用的氢氟酸浓度为40%。作为优选的，所述步骤(2)中氮气的压力不大于3公斤，并且每小时鼓泡5分钟。作为优选的，所述步骤(5)中烘干温度为120°C，时间为6小时，氮气流量为90L/min,超温开关为250摄氏度。通过上述技术方案，本专利技术通过在清洗液中添加氨水来减轻清洗液对石墨舟的腐蚀，达到延长石墨舟的使用寿命和降低企业的生产成本的目的。【具体实施方式】下面对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。本专利技术提供了石墨舟清洗工艺，其工作原理是通过在清洗液中添加一缓冲剂，减少清洗液对石墨舟的腐蚀，达到延长石墨舟的使用寿命和降低企业的生产成本的目的。下面结合实施例和【具体实施方式】对本专利技术作进一步详细的说明。一种石墨舟清洗工艺，其具体步骤如下:(I).配置清洗液:在原液中加入氢氟酸，且氢氟酸的体积浓度为20%?25%，并加入体积浓度为I %的氨水。(2).将石墨舟用配制好的清洗液进行浸泡4-8小时，并通过氮气进行鼓泡。(3).用清水进行清洗；(4).用气枪将清洗后的石墨舟进行吹干；(5).烘干:将石墨舟放入到烘干箱中进行烘干，并且烘干箱中通入氮气。值得注意的是，所述氨水、氢氟酸和纯水的体积比如下:氨水:氢氟酸:纯水=4L:100L ;280L，且所使用的氨水浓度为28%，所使用的氢氟酸浓度为40%。值得注意的是，所述步骤(2)中氮气的压力不大于3公斤，并且每小时鼓泡5分钟。值得注意的是，所述步骤(5)中烘干温度为120°C，时间为6小时，氮气流量为90L/min,超温开关为250摄氏度。通过以上的方式，本专利技术所提供的石墨舟清洗工艺，通过在清洗液中添加氨水来减轻清洗液对石墨舟的腐蚀，达到延长石墨舟的使用寿命、降低企业的生产成本和促进企业的发展的目的。以上所述的仅是本专利技术所公开的石墨舟清洗工艺的优选实施方式，应当指出，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本专利技术创造构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本专利技术的保护范围。【主权项】1.一种石墨舟清洗工艺，其特征在于，其具体步骤如下: (1).配置清洗液:在原液中加入氢氟酸，且氢氟酸的体积浓度为20%?25%，并加入体积浓度为I %的氨水。 (2).将石墨舟用配制好的清洗液进行浸泡4-8小时，并通过氮气进行鼓泡。 (3).用清水进行清洗； (4).用气枪将清洗后的石墨舟进行吹干； (5).烘干:将石墨舟放入到烘干箱中进行烘干，并且烘干箱中通入氮气。2.根据权利要求1所述的石墨舟清洗工艺，其特征在于，所述氨水、氢氟酸和纯水的体积比如下: 氨水:氢氟酸:纯水=4L:100L:280L ； 且所使用的氨水浓度为28 %，所使用的氢氟酸浓度为40 %。3.根据权利要求1中所述的石墨舟清洗工艺，其特征在于，所述步骤(2)中氮气的压力不大于3公斤，并且每小时鼓泡5分钟。4.根据权利要求1所述的石墨舟清洗工艺，其特征在于，所述步骤(5)中烘干温度为120°C，时间为6小时，氮气流量为90L/min，超温开关为250摄氏度。【专利摘要】本专利技术公开了一种石墨舟清洗工艺，其具体步骤如下：(1).配置清洗液：在原液中加入氢氟酸，且氢氟酸的体积浓度为20％～25％，并加入体积浓度为1％的氨水。(2).将石墨舟用配制好的清洗液进行浸泡4-8小时，并通过氮气进行鼓泡。(3).用清水进行清洗；(4).用气枪将清洗后的石墨舟进行吹干；(5).烘干：将石墨舟放入到烘干箱中进行烘干，并且烘干箱中通入氮气。通过在清洗液中添加氨水来减轻清洗液对石墨舟的腐蚀，达到延长石墨舟的使用寿命和降低企业的生产成本的目的。【IPC分类】B08B3/08, B08B13/00【公开号】CN104923518【申请号】CN201510203283【专利技术人】郭建东, 樊选东, 钱明星, 关统州 【申请人】中建材浚鑫科技股份有限公司【公开日】2015年9月23日【申请日】2015年4月24日本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种石墨舟清洗工艺，其特征在于，其具体步骤如下：(1).配置清洗液：在原液中加入氢氟酸，且氢氟酸的体积浓度为20％～25％，并加入体积浓度为1％的氨水。(2).将石墨舟用配制好的清洗液进行浸泡4‑8小时，并通过氮气进行鼓泡。(3).用清水进行清洗；(4).用气枪将清洗后的石墨舟进行吹干；(5).烘干：将石墨舟放入到烘干箱中进行烘干，并且烘干箱中通入氮气。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：郭建东，樊选东，钱明星，关统州，
申请(专利权)人：中建材浚鑫科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32
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