【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种多级式气体输送装置，包括输送主气体的罗茨泵（1）和存放掺杂气体的钢瓶（2），罗茨泵（1）连接有输气管路（3），其特征在于：所述罗茨泵（1）的第一出气管路（4）与钢瓶（2）的第二出气管路（5）平行设置，第一出气管路（4）和第二出气管路（5）之间设置有直线形的液压回路，液压回路包括串联连接的第一油缸（6）和第二油缸（7），第一油缸（6）的内径大于第二油缸（7）的内径，第一出气管路（4）的侧壁设置有柔性囊膜（8），柔性囊膜（8）连接有第一活塞（9），第一活塞（9）位于第一油缸（6）内，第二出气管路（5）的侧壁设置有中空限流柱（10），中空限流柱（10）通过密封圈（11）与第二出气管路（5）活动相接，中空限流柱（10）内活动设置有第二活塞（12），第二活塞（12）与中空限流柱（10）的内壁密封接触，第二活塞（12）的另一端同时位于第二油缸（7）内，中空限流柱（10）与第二活塞（12）之间设置有复位弹簧（13）。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：陈建锋，陈建军，卢月风，张国兵，张杰，
申请(专利权)人：南京诚创科技系统有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32
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