本实用新型专利技术提供一种拆除工具，用于拆除贴附在光罩上的金属片，其中，所述拆除工具至少包括：电加热装置；所述电加热装置为主要由绕铰合轴彼此枢转的第一本体和第二本体构成的钳子结构，所述第一本体和所述第二本体在交叉范围内的一侧分别为第一钳嘴和第二钳嘴；所述第一钳嘴具有加热端头，用以电加热拆除所述金属片；所述第二钳嘴具有辅助端头，用以辅助所述加热端头钳住所述金属片。本实用新型专利技术的拆除工具采用钳子结构的电加热装置，加热时可以钳住金属片，使得电加热装置和金属片的接触更稳固、均匀，待胶水融化后，电加热装置可以将金属片稳稳钳住再移除出光罩，放到安全的收纳盒内，避免了移除金属片时烫坏地板或者烫伤操作人员。
【技术实现步骤摘要】
本技术涉及半导体
，特别是涉及一种拆除工具。
技术介绍
在光罩制作过程中，有时需要将贴附在光罩上的金属片拆除，贴附有金属片的光罩如图1所示。由于金属片通过胶水贴附在光罩上，因此拆除金属片时需要先将通电后的电烙铁附在金属片上，使金属片被加热，然后通过热传导原理使胶水融化，再通过刮蹭金属片表面将金属片从光罩上拆除。最后，用金属片将残留在光罩表面的胶水刮干净。在加热拆除这个过程中，由于现有技术都是采用单杆电烙铁，不仅在刮蹭金属片时操作不便，还可能由于操作人员操作失当而造成的光罩表面被电烙铁或者金属片刮伤。此外，在加热金属片时会产生大量的白烟，操作不当会依附在光罩表面产生白雾。并且金属片加热后非常烫，都是直接用单柄电烙铁通过刮蹭剔除到高架地板上，在烫坏地板的同时也有可能造成人员烫伤。因此，在整个拆除金属片和去除残胶的过程中，如果没有任何防护，很有可能出现刮蹭时光罩被刮伤的现象。并且，在整个拆除金属片的过程中，还存在着操作人员被烫伤以及吸入有害气体两大潜在危害。
技术实现思路
鉴于以上所述现有技术的缺点，本技术的目的在于提供一种拆除工具，用于解决现有技术中单柄电烙铁操作不便且光罩可能被刮伤的问题，以及操作人员可能被烫伤和吸入有害气体的问题。为实现上述目的及其他相关目的，本技术提供一种拆除工具，用于拆除贴附在光罩上的金属片，其中，所述拆除工具至少包括:电加热装置；所述电加热装置为主要由绕铰合轴彼此枢转的第一本体和第二本体构成的钳子结构，所述第一本体和所述第二本体在交叉范围内的一侧分别为第一钳嘴和第二钳嘴；所述第一钳嘴具有加热端头，用以电加热拆除所述金属片；所述第二钳嘴具有辅助端头，用以辅助所述加热端头钳住所述金属片。优选地，所述加热端头的长度长于所述辅助端头的长度。优选地，所述加热端头底面的面积略大于所述金属片的面积，所述加热端头的底面设有保护套，所述保护套具有与所述金属片的大小相适配的空缺区域，用以嵌入所述金属片，以在拆除所述金属片时保护所述光罩表面不被刮伤。优选地，所述保护套为特氟龙材质的保护套。优选地，所述拆除工具还包括:设置在所述电加热装置上方的抽风装置，用以抽走在电加热拆除所述金属片时产生的有害气体或烟雾。优选地，所述抽风装置具有抽风口，所述抽风口对准所述加热端头的上方。优选地，所述加热端头为在通电后能发热的电烙铁。优选地，所述第一本体和所述第二本体在交叉范围内的另一侧分别为与所述第一钳嘴相连的第一钳臂和与所述第二钳嘴相连的第二钳臂，以及分别与所述第一钳臂和所述第二钳臂相连的第一手柄和第二手柄。如上所述，本技术的拆除工具，具有以下有益效果:采用钳子结构的电加热装置，加热时可以钳住金属片，使得电加热装置和金属片的接触更稳固、均匀，从而使得金属片的受热更均匀，热传导效果也更好，胶水的融化速度更快；另外，待胶水融化后，电加热装置可以将金属片稳稳钳住再移除出光罩，放到安全的收纳盒内，且只需操作人员单手操作，大大提升了操作的方便度，避免了移除金属片时烫坏地板或者烫伤操作人员；另外，在电加热装置中的加热端头底面采用保护套，能够在拆除金属片时包住金属片，保证了在拆除金属片时光罩不会被刮伤；另外，可以额外加装一个抽风装置，抽走在拆卸金属片时产生的有害气体或者烟雾，避免了光罩表面的保护膜在拆除金属片的过程中遭到污染。【附图说明】图1显示为本技术现有技术的贴附有金属片的光罩的结构示意图。图2显示为本技术一个实施例的拆除工具的结构示意图。图3显示为本技术一个实施例的拆除工具中保护套的结构示意图。图4显不为本技术另一实施例的拆除工具的结构不意图。图5显不为本技术另一实施例的拆除工具的应用不意图。元件标号说明I电加热装置11铰合轴12-1第一钳嘴12-1-1 加热端头12-1-2 保护套12-1-3 空缺区域12-2第一钳臂12-3 第一手柄13-1第二钳嘴13-1-1 辅助端头13-2第二钳臂13-3 第二手柄2抽风装置21抽风口22固定杆3光罩4金属片【具体实施方式】以下由特定的具体实施例说明本技术的实施方式，熟悉此技术的人士可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本技术的其他优点及功效。请参阅图2至图5。须知，本说明书所附图式所绘示的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技术的人士了解与阅读，并非用以限定本技术可实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本技术所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本技术所揭示的
技术实现思路
得能涵盖的范围内。同时，本说明书中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”、“中间”及“一”等的用语，亦仅为便于叙述的明了，而非用以限定本技术可实施的范围，其相对关系的改变或调整，在无实质变更
技术实现思路
下，当亦视为本技术可实施的范畴。如图2所示，本技术的一个实施例涉及一种拆除工具，用于拆除图1中的贴附在光罩3上的金属片4。其中，拆除工具至少包括:电加热装置I。该电加热装置I为主要由绕铰合轴11彼此枢转的第一本体和第二本体构成的钳子结构，第一本体和第二本体在交叉范围内的一侧分别为第一钳嘴12-1和第二钳嘴13-1。第一钳嘴12-1具有加热端头12-1-1，用以电加热拆除金属片4，金属片4在受热后通过热传导原理融化光罩3和金属片4之间的胶水，从而拆分光罩3和金属片4 ;其中，加热端头12-1-1为在通电后能发热的电烙铁。并且，第二钳嘴13-1具有辅助端头13-1-1，用以辅助加热?而头12-1-1钥'住金属片4。在加热端头12-1-1加热金属片4时，辅助端头13-1-1可以协同加热端头12_1_1钳住金属片4，使得电加热装当前第1页1 2 本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种拆除工具，用于拆除贴附在光罩上的金属片，其特征在于，所述拆除工具至少包括：电加热装置；所述电加热装置为主要由绕铰合轴彼此枢转的第一本体和第二本体构成的钳子结构，所述第一本体和所述第二本体在交叉范围内的一侧分别为第一钳嘴和第二钳嘴；所述第一钳嘴具有加热端头，用以电加热拆除所述金属片；所述第二钳嘴具有辅助端头，用以辅助所述加热端头钳住所述金属片。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：朱怡华，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造北京有限公司，
类型：新型
国别省市：北京;11
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